የሲሲ ሴራሚክ ትሪ የመጨረሻ ውጤት ዋፈር አያያዝ ብጁ-የተሰራ አካላት
የሲሲ ሴራሚክ እና አልሙኒየም ሴራሚክ ብጁ አካላት አጭር መግለጫ
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) የሴራሚክ ብጁ አካላት
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) የሴራሚክ ብጁ ክፍሎች ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው የኢንዱስትሪ ሴራሚክ ቁሶች ለእነርሱ የታወቁ ናቸው.እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬ ፣ ምርጥ የሙቀት መረጋጋት ፣ ልዩ የዝገት መቋቋም እና ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ. የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) የሴራሚክ ብጁ ክፍሎች መዋቅራዊ መረጋጋትን ለመጠበቅ ያስችላሉከጠንካራ አሲድ፣ አልካላይስ እና የቀለጠ ብረቶች የአፈር መሸርሸርን በሚቋቋምበት ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት ያላቸው አካባቢዎች።. ሲሲ ሴራሚክስ በመሳሰሉት ሂደቶች ነው የሚመረቱት።ጫና የሌለበት መጠላለፍ፣ ምላሽ መስጠት ወይም የሙቅ-ፕሬስ መጣመርእና ሜካኒካል ማህተም ቀለበቶችን፣ ዘንግ እጅጌዎችን፣ አፍንጫዎችን፣ የምድጃ ቱቦዎችን፣ ዋፈር ጀልባዎችን እና መልበስን የሚቋቋሙ ሳህኖችን ጨምሮ ወደ ውስብስብ ቅርጾች ሊበጁ ይችላሉ።
አሉሚኒየም የሴራሚክ ብጁ ክፍሎች
አሉሚኒየም (አል₂O₃) የሴራሚክ ብጁ ክፍሎች አጽንዖት ይሰጣሉከፍተኛ መከላከያ, ጥሩ የሜካኒካዊ ጥንካሬ እና የመልበስ መከላከያ. በንጽህና ደረጃዎች (ለምሳሌ፣ 95%፣ 99%)፣ Alumina (Al₂O₃) የሴራሚክ ብጁ ክፍሎች ከትክክለኛ ማሽን ጋር ተመድበው ወደ ኢንሱሌተሮች፣ ተሸካሚዎች፣ የመቁረጫ መሳሪያዎች እና የህክምና ተከላዎች እንዲሰሩ ያስችላቸዋል። አሉሚኒየም ሴራሚክስ በዋነኝነት የሚመረቱት በደረቅ መጫን, መርፌ መቅረጽ, ወይም isostatic በመጫን ሂደቶች, ወደ መስታወት አጨራረስ ሊበጠር የሚችል ወለል ያለው።
XKH በ R&D እና በብጁ ምርት ላይ ያተኮረ ነው።ሲሊኮን ካርቦራይድ (ሲሲ) እና አልሙና (አል₂O₃) ሴራሚክስ. የሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖችን (ለምሳሌ ዋፈር ጀልባዎች፣ ታንኳዎች ቀዘፋዎች፣ የምድጃ ቱቦዎች) እንዲሁም በሙቀት መስክ ክፍሎች እና ከፍተኛ-ደረጃ ማኅተሞች ለአዳዲስ የኢነርጂ ሴክተሮች የሚሸፍኑ የሲሲ ሴራሚክ ምርቶች ከፍተኛ ሙቀት ባለው፣ ከፍተኛ ልብስ እና ብስባሽ አካባቢዎች ላይ ያተኩራሉ። የአሉሚኒየም ሴራሚክ ምርቶች የኤሌክትሮኒካዊ ንጣፎችን ፣ የሜካኒካል ማህተም ቀለበቶችን እና የህክምና ተከላዎችን ጨምሮ ሙቀትን ፣ ማተምን እና ባዮሜዲካል ባህሪያትን ያጎላሉ። እንደ ቴክኖሎጂዎች አጠቃቀምisostatic pressing፣ ግፊት የሌለው መገጣጠሚያ እና ትክክለኛ ማሽነሪሴሚኮንዳክተሮች ፣ ፎቶቮልቲክስ ፣ ኤሮስፔስ ፣ ሜዲካል እና ኬሚካዊ ማቀነባበሪያን ጨምሮ ለኢንዱስትሪዎች ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን ብጁ መፍትሄዎችን እናቀርባለን።
የሲሲ ሴራሚክ ተግባራዊ ችኮች እና ሲኤምፒ መፍጨት ዲስኮች መግቢያ
ሲሲ ሴራሚክ ቫክዩም ቹክስ
ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሴራሚክ ቫክዩም ቹክስ ከፍተኛ አፈጻጸም ካለው የሲሊኮን ካርቦዳይድ (ሲሲ) ሴራሚክ ማቴሪያል የተሰሩ ከፍተኛ ትክክለኛ የማስተዋወቂያ መሳሪያዎች ናቸው። በተለይ እንደ ሴሚኮንዳክተር፣ የፎቶቮልታይክ እና ትክክለኛ የማምረቻ ኢንዱስትሪዎች ያሉ ከፍተኛ ንጽህናን እና መረጋጋትን ለሚጠይቁ መተግበሪያዎች የተነደፉ ናቸው። ዋና ጥቅሞቻቸው የሚያጠቃልሉት፡- በመስታወት ደረጃ የተወለወለ ወለል (ጠፍጣፋ በ0.3-0.5 μm ውስጥ ቁጥጥር የሚደረግበት)፣ እጅግ በጣም ከፍተኛ ግትርነት እና ዝቅተኛ የሙቀት መጠን መስፋፋት (የናኖ ደረጃ ቅርፅ እና የቦታ መረጋጋትን ማረጋገጥ)፣ እጅግ በጣም ቀላል ክብደት ያለው መዋቅር (የእንቅስቃሴ አለመቻልን በከፍተኛ ሁኔታ የሚቀንስ) እና ጠንካራነት 9 ከብረት ቺኮች የህይወት ዘመን እጅግ የላቀ) . እነዚህ ንብረቶች በተለዋዋጭ ከፍተኛ እና ዝቅተኛ የሙቀት መጠኖች ፣ ጠንካራ ዝገት እና ከፍተኛ ፍጥነት ያለው አያያዝ ባሉበት አካባቢ የተረጋጋ ሥራን ያስችላሉ ፣ ይህም የማቀነባበሪያውን ምርት እና የምርት ቅልጥፍናን በማሻሻል እንደ ዋፈርስ እና ኦፕቲካል ኤለመንቶች ለትክክለኛ አካላት።
ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ቡምፕ ቫኩም ቹክ ለሥነ-ልክ እና ምርመራ
ለዋፈር ጉድለት ፍተሻ ሂደቶች የተነደፈ፣ ይህ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የማስተዋወቂያ መሳሪያ የሚመረተው ከሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሴራሚክ ቁሳቁስ ነው። ልዩ የወለል ንጣፉ አወቃቀሩ ከዋፋው ጋር ያለውን ግንኙነት በመቀነስ ላይ እያለ ኃይለኛ የቫኩም ማስታዎቂያ ኃይልን ይሰጣል፣ በዚህም በቫፈር ወለል ላይ ጉዳት ወይም ብክለትን ይከላከላል እና በምርመራ ወቅት መረጋጋት እና ትክክለኛነትን ያረጋግጣል። ችኩ ልዩ የሆነ ጠፍጣፋነት (0.3-0.5 μm) እና በመስታወት የተወለወለ ላዩን፣ እጅግ በጣም ቀላል ክብደት እና ከፍተኛ ጥንካሬን በማጣመር በከፍተኛ ፍጥነት በሚንቀሳቀስበት ጊዜ መረጋጋትን ያረጋግጣል። እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት ቅንጅት በሙቀት መለዋወጥ ውስጥ የመጠን መረጋጋትን ያረጋግጣል ፣ እና አስደናቂ የመልበስ መቋቋም የአገልግሎት እድሜን ያራዝመዋል። ምርቱ የተለያየ መጠን ያላቸውን የፍተሻ ፍላጎቶች ለማሟላት በ6፣ 8 እና 12 ኢንች ዝርዝሮች ውስጥ ማበጀትን ይደግፋል።
ቺፕ ቦንዲንግ ቻክን ይግለጡ
የፍሊፕ ቺፕ ቦንድንግ ቻክ በከፍተኛ ፍጥነት እና ትክክለኛ ትስስር ስራዎች ወቅት መረጋጋትን ለማረጋገጥ በተለይ ለትክክለኛ ውህዶች ዋይፋሮች የተነደፈ በቺፕ ፍሊፕ-ቺፕ ትስስር ሂደቶች ውስጥ ዋና አካል ነው። ወጥ የሆነ የቫኩም ማስታመም ኃይልን ለማግኘት በመስታወት የተወለወለ ወለል (ጠፍጣፋ/ ትይዩ ≤1 μm) እና ትክክለኛ የጋዝ ቻናል ጉድጓዶችን ያሳያል። ከፍተኛ ግትርነቱ እና እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት (ከሲሊኮን ማቴሪያል ጋር ቅርበት ያለው) ከፍተኛ ሙቀት ባለው ትስስር አካባቢዎች ውስጥ የመጠን መረጋጋትን ያረጋግጣል ፣ ከፍተኛ መጠን ያለው ቁሳቁስ (ለምሳሌ ፣ ሲሊኮን ካርቦይድ ወይም ልዩ ሴራሚክስ) የጋዝ ዝቃጭን በተሳካ ሁኔታ ይከላከላል ፣ የረጅም ጊዜ የቫኩም አስተማማኝነትን ይጠብቃል። እነዚህ ባህርያት የማይክሮ-ደረጃ ትስስር ትክክለኛነትን ይደግፋሉ እና የቺፕ ማሸጊያ ምርትን በእጅጉ ያሳድጋሉ።
የሲሲ ማስያዣ ቹክ
የሲሊኮን ካርቦዳይድ (ሲሲ) ማያያዣ chuck በከፍተኛ ሙቀት እና ከፍተኛ ግፊት ትስስር ሁኔታዎች ውስጥ እጅግ የተረጋጋ አፈፃፀምን የሚያረጋግጥ በቺፕ ትስስር ሂደቶች ውስጥ ዋና አካል ነው ፣ በተለይም በትክክል ለመገጣጠም እና ዌፈርዎችን ለመጠበቅ የተነደፈ። ከፍተኛ ጥግግት ካለው ሲሊኮን ካርቦዳይድ ሴራሚክ (porosity <0.1%)፣ በናኖሜትር-ደረጃ መስታወት ማጥራት (የገጽታ ሻካራነት ራ <0.1 μm) እና ትክክለኛ የጋዝ ቻናል ጉድጓዶች (የቀዳዳ ዲያሜትር፡ 5-50) ወይም የቦታ መበላሸትን ይከላከላል። እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት (4.5×10⁻⁶/℃) ከሲሊኮን ዋፈር ጋር በቅርበት ይዛመዳል፣ ይህም የሙቀት ጭንቀትን የሚያስከትል ጦርነትን ይቀንሳል። ከከፍተኛ ግትርነት (የላስቲክ ሞጁል>400 ጂፒኤ) እና ≤1 μm ጠፍጣፋ/ትይዩነት ጋር ተዳምሮ የመተሳሰሪያ አሰላለፍ ትክክለኛነትን ያረጋግጣል። በሴሚኮንዳክተር ማሸጊያ፣ 3D ቁልል እና ቺፕሌት ውህደት በስፋት ጥቅም ላይ የዋለ፣ ከፍተኛ ደረጃ ያላቸው የማምረቻ አፕሊኬሽኖችን ይደግፋል ናኖስኬል ትክክለኛነት እና የሙቀት መረጋጋት።
CMP መፍጨት ዲስክ
የሲኤምፒ መፍጨት ዲስክ የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ (ሲኤምፒ) መሳሪያዎች ዋና አካል ነው ፣ በተለይም በከፍተኛ ፍጥነት በሚጸዳበት ጊዜ ቫፈርን በአስተማማኝ ሁኔታ ለመያዝ እና ለማረጋጋት የተነደፈ ፣ ናኖሜትር-ደረጃ ዓለም አቀፍ እቅድ ማውጣትን ያስችላል። ከከፍተኛ ግትርነት፣ ከፍተኛ ጥግግት ቁሶች (ለምሳሌ፣ ሲሊከን ካርቦዳይድ ሴራሚክስ ወይም ልዩ ውህዶች) የተገነባው ወጥ የሆነ የቫኩም ማስተዋወቅን በትክክለኛ ምህንድስና በተሰራ የጋዝ ቻናል ቦይ ያረጋግጣል። በመስታወት የተወለወለ ላዩን (ጠፍጣፋ/ትይዩ ≤3 μm) ከውጥረት ነፃ የሆነ ከዋፈር ጋር መገናኘትን ያረጋግጣል፣ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ (ከሲሊኮን ጋር የሚዛመድ) እና የውስጥ ማቀዝቀዣ ቻናሎች የሙቀት ለውጥን በተሳካ ሁኔታ ይከላከላሉ። ከ 12 ኢንች (750 ሚሜ ዲያሜትር) ዋይፋዎች ጋር ተኳሃኝ ፣ ዲስኩ የስርጭት ትስስር ቴክኖሎጂን በመጠቀም እንከን የለሽ ውህደት እና የረጅም ጊዜ የባለብዙ ሽፋን መዋቅሮች በከፍተኛ ሙቀት እና ግፊት ውስጥ አስተማማኝነት ለማረጋገጥ የ CMP ሂደትን ተመሳሳይነት እና ምርትን በከፍተኛ ሁኔታ ያሳድጋል።
የተበጁ የተለያዩ የሲሲ ሴራሚክስ ክፍሎች መግቢያ
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ካሬ መስታወት
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ስኩዌር መስታወት ከላቁ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ የተሰራ ከፍተኛ ጥራት ያለው የኦፕቲካል አካል ነው, በተለይም ለከፍተኛ-ደረጃ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች እንደ ሊቶግራፊ ማሽኖች. እጅግ በጣም ቀላል ክብደት እና ከፍተኛ ግትርነት (የላስቲክ ሞጁል>400 ጂፒኤ) በቀላል ክብደት መዋቅራዊ ንድፍ (ለምሳሌ ከኋላ የማር ወለላ ቀዳዳ) ይደርሳል፣ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት (≈4.5×10⁻⁻/℃ መረጋጋት) የሙቀት መጠንን ያረጋግጣል። የመስታወቱ ወለል፣ ከትክክለኛነት በኋላ፣ ≤1 μm ጠፍጣፋ/ ትይዩነት ያገኛል፣ እና ልዩ የመልበስ መቋቋም (Mohs hardness 9.5) የአገልግሎት እድሜን ያራዝመዋል። እጅግ በጣም ከፍተኛ ትክክለኛነት እና መረጋጋት ወሳኝ በሆኑበት በሊቶግራፊ ማሽን ሥራ ጣቢያዎች፣ ሌዘር አንጸባራቂዎች እና የጠፈር ቴሌስኮፖች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል።
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) የአየር ተንሳፋፊ መመሪያዎች
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) የአየር ተንሳፋፊ መመሪያዎች ንክኪ ያልሆነ የኤሮስታቲክ ተሸካሚ ቴክኖሎጂን ይጠቀማሉ፣ የተጨመቀ ጋዝ ማይክሮን-ደረጃ የአየር ፊልም ይፈጥራል (በተለምዶ 3-20μm) ከግጭትና ከንዝረት ነፃ የሆነ ለስላሳ እንቅስቃሴ። የናኖሜትሪክ እንቅስቃሴ ትክክለኛነት (የተደጋገመ የአቀማመጥ ትክክለኛነት እስከ ± 75nm) እና ንዑስ-ማይክሮን ጂኦሜትሪ ትክክለኛነት (ቀጥታ ± 0.1-0.5μm፣ ጠፍጣፋ ≤1μm) በዝግ-loop የግብረመልስ ቁጥጥር ከትክክለኛ ፍርግርግ ሚዛኖች ወይም ሌዘር ኢንተርፌሮሜትሮች ጋር የነቃ ይሰጣሉ። ዋናው የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ቁሳቁስ (አማራጮች Coresic® SP/Marvel Sic ተከታታይን ያካትታሉ) እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬን (የላስቲክ ሞጁል>400 ጂፒኤ) ፣ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት (4.0-4.5 × 10⁻⁶/K ፣ ተዛማጅ ሲሊኮን) እና 0% ከፍተኛ ጥንካሬ ይሰጣል። ክብደቱ ቀላል ንድፉ (እፍጋቱ 3.1ግ/ሴሜ³፣ ከአሉሚኒየም ቀጥሎ ሁለተኛ) እንቅስቃሴን ያለመንቀሳቀስ ይቀንሳል፣ ልዩ የመልበስ መቋቋም (Mohs hardness 9.5) እና የሙቀት መረጋጋት በከፍተኛ ፍጥነት (1 ሜ/ሰ) እና በከፍተኛ ፍጥነት (4ጂ) ሁኔታዎች የረጅም ጊዜ አስተማማኝነትን ያረጋግጣሉ። እነዚህ መመሪያዎች በሴሚኮንዳክተር ሊቶግራፊ፣ የዋፈር ፍተሻ እና እጅግ በጣም ትክክለኛ በሆነ ማሽነሪ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ።
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ተሻጋሪ ምሰሶዎች
ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ክሮስ-ቢምስ ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች እና ለከፍተኛ ደረጃ የኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች የተነደፉ ዋና የእንቅስቃሴ ክፍሎች ናቸው ፣ በዋነኛነት የሚሠሩት ዋፈር ደረጃዎችን ለመሸከም እና ለከፍተኛ ፍጥነት ፣ እጅግ በጣም ትክክለኛ እንቅስቃሴ በተገለጹ አቅጣጫዎች ላይ ለመምራት ነው። ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የሲሊኮን ካርቦዳይድ ሴራሚክ (አማራጮች Coresic® SP ወይም Marvel Sic seriesን ያካትታሉ) እና ቀላል ክብደት ያለው መዋቅራዊ ንድፍ በመጠቀም እጅግ በጣም ቀላል ክብደትን በከፍተኛ ጥንካሬ (ላስቲክ ሞጁል>400 ጂፒኤ)፣ ከሙቀት ማስፋፊያ (≈4.5) ጋር በመሆን እጅግ በጣም ዝቅተኛ ኮፊሸንት (≈⁄⁁×) ጥግግት (porosity <0.1%)፣ በሙቀት እና በሜካኒካዊ ጭንቀቶች ውስጥ የናኖሜትሪክ መረጋጋትን (ጠፍጣፋ/ትይዩ ≤1μm) ማረጋገጥ። የተዋሃዱ ንብረቶቻቸው ከፍተኛ ፍጥነት ያለው እና ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ኦፕሬሽንን (ለምሳሌ 1ሜ/ሰ፣ 4ጂ) ይደግፋሉ፣ ይህም ለሊቶግራፊ ማሽኖች፣ ለዋፈር ፍተሻ ስርዓቶች እና ለትክክለኛ ማምረቻዎች ምቹ ያደርጋቸዋል፣ ይህም የእንቅስቃሴ ትክክለኛነት እና ተለዋዋጭ ምላሽ ውጤታማነትን በእጅጉ ያሳድጋል።
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) እንቅስቃሴ አካላት
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) የእንቅስቃሴ ክፍሎች ለከፍተኛ-ትክክለኛ ሴሚኮንዳክተር እንቅስቃሴ ስርዓቶች የተነደፉ ወሳኝ ክፍሎች ናቸው፣ ከፍተኛ መጠጋጋት ያላቸው የሲሲ ቁሳቁሶችን (ለምሳሌ፣ Coresic® SP ወይም Marvel Sic series፣ porosity<0.1%) እና ቀላል ክብደት ያለው መዋቅራዊ ዲዛይን ከፍተኛ ግትርነት ጋር ለመድረስ። > 0. እጅግ በጣም ዝቅተኛ በሆነ የሙቀት መስፋፋት (≈4.5×10⁻⁶/℃) በሙቀት መለዋወጥ ውስጥ የናኖሜትሪክ መረጋጋትን (ጠፍጣፋ/ትይዩ ≤1μm) ያረጋግጣሉ። እነዚህ የተቀናጁ ንብረቶች ከፍተኛ ፍጥነት ያለው እና ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ስራዎችን (ለምሳሌ 1ሜ/ሰ፣ 4ጂ) ይደግፋሉ፣ ይህም ለሊቶግራፊ ማሽኖች፣ ለዋፈር ፍተሻ ስርዓቶች እና ለትክክለኛ ማምረቻዎች ምቹ ያደርጋቸዋል፣ ይህም የእንቅስቃሴ ትክክለኛነትን እና ተለዋዋጭ ምላሽን በእጅጉ ያሳድጋል።
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) የኦፕቲካል ዱካ ሰሌዳ
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ኦፕቲካል ፓዝ ፕሌት በዋፈር ፍተሻ መሳሪያዎች ውስጥ ለሁለት-ኦፕቲካል-መንገድ ስርዓቶች የተነደፈ ዋና መድረክ ነው። ከፍተኛ አፈጻጸም ካለው የሲሊኮን ካርቦዳይድ ሴራሚክ የተሰራው እጅግ በጣም ቀላል ክብደት (እፍጋቱ ≈3.1 ግ/ሴሜ³) እና ከፍተኛ ጥንካሬን (ላስቲክ ሞጁል>400 ጂፒኤ) በቀላል መዋቅራዊ ዲዛይን ያገኛል፣ (≈4.5×10⁻⁶/℃) እና ከፍተኛ መጠጋጋት (porosity <0.1%)፣ በሙቀት እና በሜካኒካል ውጣ ውረድ ውስጥ ናኖሜትሪክ መረጋጋትን (ጠፍጣፋ/ትይዩ ≤0.02ሚሜ) ማረጋገጥ። በትልቅ ከፍተኛ መጠን (900×900ሚሜ) እና ልዩ የሆነ አጠቃላይ አፈጻጸም ለኦፕቲካል ሲስተሞች የረዥም ጊዜ የተረጋጋ የመጫኛ መነሻ መስመርን ይሰጣል፣ ይህም የፍተሻ ትክክለኛነትን እና አስተማማኝነትን በእጅጉ ያሳድጋል። በሴሚኮንዳክተር ሜትሮሎጂ ፣ በኦፕቲካል አሰላለፍ እና ከፍተኛ-ትክክለኛ ምስል ስርዓቶች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል።
ግራፋይት + ታንታለም ካርቦይድ የተሸፈነ መመሪያ ቀለበት
ግራፋይት + ታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ያለው መመሪያ ቀለበት በተለይ ለሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ነጠላ ክሪስታል ማደግ መሳሪያዎች የተነደፈ ወሳኝ አካል ነው። ዋናው ተግባራቱ ከፍተኛ ሙቀት ያለው የጋዝ ፍሰት በትክክል መምራት ነው ፣ ይህም በምላሽ ክፍሉ ውስጥ የሙቀት እና ፍሰት መስኮችን ተመሳሳይነት እና መረጋጋትን ማረጋገጥ ነው። ከከፍተኛ ንፅህና የግራፋይት ንጥረ ነገር (ንፅህና> 99.99%) በሲቪዲ-የተቀማጭ ታንታለም ካርቦዳይድ (ታሲ) ሽፋን (የርኩሰት ይዘት <5 ፒፒኤም) ፣ ልዩ የሙቀት መቆጣጠሪያን ያሳያል (≈120 W/m·K) እና ከፍተኛ የሙቀት መጠንን የመቋቋም ችሎታ ያሳያል። 2200 ° ሴ) ፣ የሲሊኮን ትነት ዝገትን በተሳካ ሁኔታ ይከላከላል እና የንጽሕና ስርጭትን ያስወግዳል። የሽፋኑ ከፍተኛ ተመሳሳይነት (ልዩነት <3% ፣ የሙሉ ቦታ ሽፋን) ወጥ የሆነ የጋዝ መመሪያ እና የረጅም ጊዜ አገልግሎት አስተማማኝነትን ያረጋግጣል ፣ ይህም የሲሲ ነጠላ ክሪስታል እድገትን ጥራት እና ምርትን በእጅጉ ያሳድጋል።
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) እቶን ቱቦ ማጠቃለያ
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ቀጥ ያለ ምድጃ ቱቦ
ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ቀጥ ያለ እቶን ቱቦ ከፍተኛ ሙቀት ላለው የኢንዱስትሪ መሣሪያዎች የተነደፈ ወሳኝ አካል ነው ፣ በዋነኝነት እንደ ውጫዊ መከላከያ ቱቦ በምድጃው ውስጥ አንድ ወጥ የሆነ የሙቀት ስርጭትን ለማረጋገጥ ፣ እና የተለመደው የሙቀት መጠን 1200 ° ሴ አካባቢ ነው። በ3-ል ማተሚያ የተቀናጀ የአፈፃፀም ቴክኖሎጂ የተሰራ፣ የመሠረታዊ የቁስ ርኩሰት ይዘት <300 ppm ፣ እና እንደአማራጭ በሲቪዲ ሲሊከን ካርቦይድ ሽፋን (የሽፋን ቆሻሻ <5 ppm)) መታጠቅ ይችላል። ከፍተኛ የሙቀት አማቂ conductivity (≈20 W/m·K) እና ልዩ የሙቀት ድንጋጤ መረጋጋት (የሙቀት ቅልመት>800 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ መቋቋም) በማጣመር እንደ ሴሚኮንዳክተር ሙቀት ሕክምና, photovoltaic ቁሳዊ sintering, እና ትክክለኛነትን የሴራሚክስ ምርት, ጉልህ መሣሪያዎች እና የረጅም ጊዜ አስተማማኝነት ማሻሻል ያሉ ከፍተኛ ሙቀት ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል.
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) አግድም እቶን ቱቦ
የሲሊኮን ካርቦራይድ (ሲሲ) አግድም እቶን ቱቦ ለከፍተኛ ሙቀት ሂደቶች የተነደፈ ዋና አካል ነው ፣ በከባቢ አየር ውስጥ የሚሠራ የሂደት ቱቦ ሆኖ የሚያገለግል ኦክስጅን (ምላሽ ጋዝ) ፣ ናይትሮጅን (መከላከያ ጋዝ) እና ሃይድሮጂን ክሎራይድ ፣ የተለመደው የሙቀት መጠን 1250 ° ሴ አካባቢ ነው። በ3-ል ማተሚያ የተቀናጀ የአፈፃፀም ቴክኖሎጂ የተሰራ፣ የመሠረታዊ የቁስ ርኩሰት ይዘት <300 ppm ፣ እና እንደአማራጭ በሲቪዲ ሲሊከን ካርቦይድ ሽፋን (የሽፋን ቆሻሻ <5 ppm)) መታጠቅ ይችላል። ከፍተኛ የሙቀት አማቂ conductivity (≈20 W/m·K) እና ልዩ የሙቀት ድንጋጤ መረጋጋት (የሙቀት ቅልመት>800°C) በማጣመር ሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖችን እንደ ኦክሳይድ፣ ስርጭት እና ስስ-ፊልም ማስቀመጥ፣ መዋቅራዊ ታማኝነትን እና የረዥም ጊዜ የአየር ንፅህናን ማረጋገጥ።
የሲሲ ሴራሚክ ፎርክ ክንዶች መግቢያ
ሴሚኮንዳክተር ማምረት
በሴሚኮንዳክተር ዋፈር ማምረቻ፣ የሲሲ ሴራሚክ ሹካ ክንዶች በዋነኝነት የሚጠቀመው ዋፈርን ለማስተላለፍ እና ለማስቀመጥ ነው፡
- የዋፈር ማቀነባበሪያ መሳሪያዎች፡- እንደ ዋፈር ካሴቶች እና የሂደት ጀልባዎች፣ ከፍተኛ ሙቀት ባለው እና በመበስበስ ሂደት ውስጥ በተረጋጋ ሁኔታ የሚሰሩ።
- ሊቶግራፊ ማሽኖች፡- ከፍተኛ ግትርነታቸው እና ዝቅተኛ የሙቀት መበላሸት የናኖሜትር ደረጃ የእንቅስቃሴ ትክክለኛነት የሚያረጋግጡ እንደ ደረጃዎች፣ መመሪያዎች እና ሮቦቲክ ክንዶች ባሉ ትክክለኛ ክፍሎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ።
- የማሳከክ እና የማሰራጨት ሂደቶች፡- ለሴሚኮንዳክተር ስርጭት ሂደቶች እንደ ICP etching ትሪዎች እና አካላት ማገልገል፣ ከፍተኛ ንፅህናቸው እና የዝገት መቋቋም በሂደት ክፍሎቹ ውስጥ እንዳይበከል ይከላከላል።
የኢንዱስትሪ አውቶሜሽን እና ሮቦቲክስ
የሲሲ ሴራሚክ ሹካ ክንዶች ከፍተኛ አፈጻጸም ባላቸው የኢንዱስትሪ ሮቦቶች እና አውቶማቲክ መሳሪያዎች ውስጥ ወሳኝ አካላት ናቸው፡
- Robotic End Effectors፡ ለአያያዝ፣ ለመሰብሰብ እና ለትክክለኛ ስራዎች ጥቅም ላይ ይውላል። ቀላል ክብደታቸው (density ~3.21 g/cm³) የሮቦት ፍጥነት እና ቅልጥፍናን ያሳድጋል፣ ከፍተኛ ጥንካሬያቸው (የቪከርስ ጠንካራነት ~2500) ልዩ የመልበስ መቋቋምን ያረጋግጣል።
- አውቶሜትድ የማምረቻ መስመሮች፡- ከፍተኛ ድግግሞሽ፣ ከፍተኛ ትክክለኛነትን በሚጠይቁ ሁኔታዎች ውስጥ (ለምሳሌ፣ የኢ-ኮሜርስ መጋዘኖች፣ የፋብሪካ ማከማቻ)፣ የሲሲ ሹካ ክንዶች የረጅም ጊዜ የተረጋጋ አፈጻጸምን ያረጋግጣል።
ኤሮስፔስ እና አዲስ ኢነርጂ
በጣም አስቸጋሪ በሆኑ አካባቢዎች፣ የሲሲ ሴራሚክ ሹካ ክንዶች ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም እና የሙቀት ድንጋጤ መቋቋምን ይጠቀማሉ።
- ኤሮስፔስ፡ ቀላል ክብደታቸው እና ከፍተኛ ጥንካሬ ባህሪያቸው ክብደትን ለመቀነስ እና አፈፃፀሙን ለማሻሻል በሚረዱበት የጠፈር መንኮራኩር እና ድሮኖች ወሳኝ ክፍሎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል።
- አዲስ ኢነርጂ፡ ለፎቶቮልታይክ ኢንደስትሪ (ለምሳሌ፡ የስርጭት እቶን) እና በሊቲየም-አዮን ባትሪ ማምረቻ ውስጥ እንደ ትክክለኛ መዋቅራዊ ክፍሎች በምርት መሳሪያዎች ውስጥ ተተግብሯል።
ከፍተኛ ሙቀት ያለው የኢንዱስትሪ ማቀነባበሪያ
የሲሲ ሴራሚክ ሹካ ክንዶች ከ 1600 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በላይ ሙቀትን መቋቋም ይችላሉ, ይህም ለሚከተሉት ተስማሚ ያደርጋቸዋል.
- የብረታ ብረት፣ ሴራሚክስ እና የብርጭቆ ኢንዱስትሪዎች፡- ከፍተኛ ሙቀት ባለው ማኒፑላተሮች፣ አዘጋጅ ሳህኖች እና የግፋ ሰሌዳዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል።
- የኑክሌር ኃይል: በጨረር መከላከያቸው ምክንያት, በኑክሌር ኃይል ማመንጫዎች ውስጥ ለተወሰኑ ክፍሎች ተስማሚ ናቸው.
የሕክምና መሳሪያዎች
በሕክምናው መስክ የሲሲ ሴራሚክ ሹካ ክንዶች በዋነኝነት ለሚከተሉት ጥቅም ላይ ይውላሉ
- የሜዲካል ሮቦቶች እና የቀዶ ጥገና መሳሪያዎች፡- በባዮኬሚካላዊነታቸው፣ ዝገትን መቋቋም እና በማምከን አከባቢዎች ውስጥ ባሉ መረጋጋት ዋጋ ያላቸው።
የሲሲ ሽፋን አጠቃላይ እይታ
| የተለመዱ ባህሪያት | ክፍሎች | እሴቶች |
| መዋቅር |
| FCC β ደረጃ |
| አቀማመጥ | ክፍልፋይ (%) | 111 ይመረጣል |
| የጅምላ እፍጋት | ግ/ሴሜ³ | 3.21 |
| ጥንካሬ | Vickers ጠንካራነት | 2500 |
| የሙቀት አቅም | J·kg-1 · K-1 | 640 |
| የሙቀት መስፋፋት 100–600°C (212–1112°ፋ) | 10-6ኬ-1 | 4.5 |
| የወጣት ሞዱሉስ | ጂፒኤ (4pt መታጠፍ፣ 1300 ℃) | 430 |
| የእህል መጠን | μm | 2 ~ 10 |
| Sublimation የሙቀት | ℃ | 2700 |
| Felexural ጥንካሬ | MPa (RT 4-ነጥብ) | 415 |
| የሙቀት መቆጣጠሪያ | (ወ/ኤምኬ) | 300 |
የሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ መዋቅራዊ ክፍሎች አጠቃላይ እይታ
የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ መዋቅራዊ አካላት በሲሊኮን ካርቦዳይድ ቅንጣቶች አማካኝነት በሲሚንቶው አማካኝነት አንድ ላይ ተጣምረው ይገኛሉ. በአውቶሞቲቭ፣ ማሽነሪ፣ ኬሚካል፣ ሴሚኮንዳክተር፣ የጠፈር ቴክኖሎጂ፣ ማይክሮኤሌክትሮኒክስ እና ኢነርጂ ዘርፎች በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ፣ በእነዚህ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ በተለያዩ አፕሊኬሽኖች ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ። በልዩ ባህሪያቸው ምክንያት የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ መዋቅራዊ አካላት ከፍተኛ ሙቀት፣ ከፍተኛ ጫና፣ ዝገት እና ልብስን ለሚያካትቱ ለከባድ ሁኔታዎች ተስማሚ ቁሳቁስ ሆነዋል ፣ ይህም አስተማማኝ አፈፃፀም እና ረጅም ዕድሜን በአስቸጋሪ የስራ አካባቢዎች ውስጥ ያቀርባል።የሲሲ ማኅተም ክፍሎች አጠቃላይ እይታ
የሲሲ ማኅተሞች ለየት ያለ ጥንካሬያቸው፣ የመልበስ መቋቋም፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም (እስከ 1600 ° ሴ ወይም 2000 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ የሚደርስ የሙቀት መጠን መቋቋም) እና ዝገት መቋቋም ምክንያት ለከባድ አካባቢዎች (እንደ ከፍተኛ ሙቀት፣ ከፍተኛ ጫና፣ የሚበላሽ ሚዲያ እና ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ልብስ) ተስማሚ ምርጫ ነው። የእነሱ ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ ውጤታማ ሙቀትን ያመቻቻል ፣ አነስተኛ የግጭት ቅንጅት እና ራስን የመቀባት ባህሪያታቸው በከባድ የአሠራር ሁኔታዎች ውስጥ የማተም አስተማማኝነትን እና ረጅም የአገልግሎት ዘመናቸውን ያረጋግጣሉ። እነዚህ ባህሪያት የሲሲ ማህተሞችን እንደ ፔትሮኬሚካል፣ ማዕድን ማውጣት፣ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ፣ የቆሻሻ ውሃ አያያዝ እና ኢነርጂ ባሉ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ እንዲውሉ ያደርጋሉ፣ የጥገና ወጪን በእጅጉ በመቀነስ፣ የመቀነስ ጊዜን በመቀነስ እና የመሣሪያዎችን የስራ ቅልጥፍና እና ደህንነትን ያሳድጋል።
የሲሲ ሴራሚክ ሳህኖች አጭር መግለጫ
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) የሴራሚክ ሳህኖች ለየት ያለ ጥንካሬያቸው (የሞህስ ጥንካሬ እስከ 9.5 ፣ ከአልማዝ ቀጥሎ ሁለተኛ) ፣ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያ (ለተቀላጠፈ የሙቀት አስተዳደር ከአብዛኛዎቹ ሴራሚክስ እጅግ የላቀ) እና አስደናቂ ኬሚካላዊ አለመቻቻል እና የሙቀት ድንጋጤ የመቋቋም (ጠንካራ አሲድ ፣ ፈጣን የሙቀት መጠን መቋቋም) ይታወቃሉ። እነዚህ ንብረቶች መዋቅራዊ መረጋጋትን እና በከባድ አካባቢዎች (ለምሳሌ ከፍተኛ ሙቀት፣ መሸርሸር እና ዝገት) ውስጥ የአገልግሎት እድሜን በሚያራዝሙ እና የጥገና ፍላጎቶችን በሚቀንሱበት ጊዜ አስተማማኝ አፈፃፀምን ያረጋግጣሉ።
ከፍተኛ አፈጻጸም ባላቸው መስኮች የሲሲ ሴራሚክ ሳህኖች በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ፡
• ማጽጃዎች እና መፍጨት መሳሪያዎች፡- የመፍጨት ጎማዎችን እና መጥረጊያ መሳሪያዎችን ለማምረት እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬን መጠቀም፣ በጠለፋ አካባቢዎች ውስጥ ትክክለኛነትን እና ዘላቂነትን ያሳድጋል።
• የማጣቀሻ እቃዎች፡ እንደ እቶን ሽፋን እና የእቶን ክፍል ማገልገል፣ የሙቀት ቅልጥፍናን ለማሻሻል እና የጥገና ወጪዎችን ለመቀነስ ከ1600°C በላይ መረጋጋትን መጠበቅ።
• ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ፡ ለከፍተኛ ሃይል የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች (ለምሳሌ፡ ፓወር ዳዮዶች እና RF amplifiers) እንደ መለዋወጫ መስራት፣ ከፍተኛ-ቮልቴጅ እና ከፍተኛ ሙቀት ስራዎችን በመደገፍ አስተማማኝነትን እና የኢነርጂ ውጤታማነትን ይጨምራል።
• መቅለጥ እና ማቅለጥ፡ ባህላዊ ቁሳቁሶችን በብረታ ብረት ሂደት ውስጥ በመተካት ቀልጣፋ የሙቀት ማስተላለፊያ እና የኬሚካል ዝገትን መቋቋም፣ የብረታ ብረት ጥራት እና ወጪ ቆጣቢነትን ማሳደግ።
SiC Wafer ጀልባ አብስትራክት
XKH SiC የሴራሚክ ጀልባዎች ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የአገልግሎት አቅራቢ መፍትሄ በመስጠት የላቀ የሙቀት መረጋጋትን፣ የኬሚካል ኢንቬስትመንትን፣ ትክክለኛ ምህንድስና እና ኢኮኖሚያዊ ብቃትን ያቀርባሉ። የዋፈር አያያዝ ደህንነትን፣ ንፅህናን እና የምርት ቅልጥፍናን በእጅጉ ያሳድጋሉ፣ ይህም የላቀ የዋፈር ማምረቻ ውስጥ አስፈላጊ አካላት ያደርጋቸዋል።
የሲሲ ሴራሚክ ጀልባዎች መተግበሪያዎች
የሲሲ ሴራሚክ ጀልባዎች በፊት-መጨረሻ ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ፣ የሚከተሉትን ጨምሮ፡-
• የማስቀመጫ ሂደቶች፡ እንደ LPCVD (ዝቅተኛ-ግፊት የኬሚካል የእንፋሎት ማጠራቀሚያ) እና PECVD (በፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት)።
• ከፍተኛ ሙቀት ሕክምናዎች፡ የሙቀት ኦክሳይድ፣ ማደንዘዣ፣ ስርጭት እና ion መትከልን ጨምሮ።
• እርጥብ እና የጽዳት ሂደቶች፡ የዋፈር ጽዳት እና የኬሚካል አያያዝ ደረጃዎች።
ከሁለቱም የከባቢ አየር እና የቫኩም ሂደት አካባቢዎች ጋር ተኳሃኝ ፣
የብክለት ስጋቶችን ለመቀነስ እና የምርት ቅልጥፍናን ለማሻሻል ለሚፈልጉ ፋብሪካዎች ተስማሚ ናቸው።
የሲሲ ዋፈር ጀልባ መለኪያዎች፡-
| ቴክኒካዊ ባህሪያት | ||||
| መረጃ ጠቋሚ | ክፍል | ዋጋ | ||
| የቁሳቁስ ስም | ምላሽ Sintered ሲሊከን Carbide | ግፊት የሌለው የሲንተርድ ሲሊኮን ካርቦይድ | እንደገና የተቀጠረ ሲሊኮን ካርቦይድ | |
| ቅንብር | RBSiC | ኤስ.ሲ.ሲ | አር-ሲሲ | |
| የጅምላ ትፍገት | ግ/ሴሜ3 | 3 | 3.15 ± 0.03 | 2.60-2.70 |
| ተለዋዋጭ ጥንካሬ | MPa (kpsi) | 338 (49) | 380 (55) | 80-90 (20°ሴ) 90-100(1400°ሴ) |
| የታመቀ ጥንካሬ | MPa (kpsi) | 1120 (158) | 3970 (560) | > 600 |
| ጥንካሬ | ኖፕ | 2700 | 2800 | / |
| ጥንካሬን ማፍረስ | MPa m1/2 | 4.5 | 4 | / |
| የሙቀት ማስተላለፊያ አሠራር | ወ/ምክ | 95 | 120 | 23 |
| የሙቀት መስፋፋት Coefficient | 10-6.1/° ሴ | 5 | 4 | 4.7 |
| የተወሰነ ሙቀት | ጁል/ግ 0 ኪ | 0.8 | 0.67 | / |
| ከፍተኛ የአየር ሙቀት | ℃ | 1200 | 1500 | 1600 |
| የላስቲክ ሞዱል | ጂፓ | 360 | 410 | 240 |
የሲሲ ሴራሚክስ የተለያዩ ብጁ አካላት ማሳያ
ሲሲ ሴራሚክ ሜምብራን
SiC ceramic membrane በከፍተኛ ሙቀት በሚቀዘቅዙ ሂደቶች የተፈጠረ ጠንካራ የሶስት-ንብርብር መዋቅር (የድጋፍ ሽፋን፣ የሽግግር ንብርብር እና የመለያያ ሽፋን) ከንፁህ የሲሊኮን ካርቦዳይድ የተሰራ የላቀ የማጣሪያ መፍትሄ ነው። ይህ ንድፍ ልዩ የሆነ የሜካኒካል ጥንካሬን፣ ትክክለኛ የቀዳዳ መጠን ስርጭትን እና አስደናቂ ጥንካሬን ያረጋግጣል። ፈሳሾችን በብቃት በመለየት፣ በማሰባሰብ እና በማጣራት በተለያዩ የኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች የላቀ ነው። ቁልፍ አጠቃቀሞች የውሃ እና የቆሻሻ ውሃ አያያዝ (የተንጠለጠሉ ጠጣሮችን ፣ ባክቴሪያዎችን እና ኦርጋኒክ ብክለትን ማስወገድ) ፣ ምግብ እና መጠጥ ማቀነባበር (ጭማቂዎችን ፣ የወተት ተዋጽኦዎችን እና ፈሳሾችን ግልፅ ማድረግ እና ማሰባሰብ) ፣ የመድኃኒት እና የባዮቴክኖሎጂ ስራዎች (ባዮፍሎይድ እና መካከለኛ ክፍሎችን በማጣራት) ኬሚካላዊ ማቀነባበሪያ (የተበላሹ ፈሳሾችን እና አመላካቾችን በማጣራት) እና ዘይት እና ጋዝ የሚመረተውን ውሃ ማጠጣት) እና ዘይት እና ጋዝ ማውጣት።
የሲሲ ቧንቧዎች
የሲሲ (ሲሊኮን ካርቦዳይድ) ቱቦዎች ለሴሚኮንዳክተር እቶን ሲስተም የተነደፉ ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው የሴራሚክ ክፍሎች ናቸው፣ ከከፍተኛ ንፅህና ከጥሩ-ጥራጥሬ የሲሊኮን ካርቦዳይድ በተሻሻሉ የመጥመቂያ ቴክኒኮች የሚመረቱ ናቸው። ልዩ የሆነ የሙቀት መቆጣጠሪያ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት (ከ 1600 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በላይ መቋቋም) እና የኬሚካል ዝገት መቋቋምን ያሳያሉ። የእነሱ ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት እና ከፍተኛ የሜካኒካል ጥንካሬ በከፍተኛ የሙቀት ብስክሌት ውስጥ የመጠን መረጋጋትን ያረጋግጣሉ ፣ ይህም የሙቀት ጭንቀትን መበላሸት እና መበስበስን በብቃት ይቀንሳል። የሲሲ ቱቦዎች ለማሰራጫ ምድጃዎች፣ ለኦክሳይድ ምድጃዎች እና ለ LPCVD/PECVD ስርዓቶች ተስማሚ ናቸው፣ይህም ወጥ የሆነ የሙቀት ስርጭትን እና የተረጋጋ ሂደት ሁኔታዎችን የዋፈር ጉድለቶችን ለመቀነስ እና የቀጭን ፊልም አቀማመጥን ተመሳሳይነት ለማሻሻል ያስችላል። በተጨማሪም የሲሲ ጥቅጥቅ ያለ፣ ቀዳዳ የሌለው መዋቅር እና ኬሚካላዊ አለመረጋጋት እንደ ኦክሲጅን፣ ሃይድሮጂን እና አሞኒያ ካሉ ምላሽ ሰጪ ጋዞች መሸርሸርን በመቋቋም የአገልግሎት እድሜን ያራዝማል እና የሂደቱን ንፅህናን ያረጋግጣል። የሲሲ ቲዩብ ቱቦዎች በመጠን እና በግድግዳ ውፍረት ሊበጁ ይችላሉ፣ ትክክለኛ ማሽነሪ ለስላሳ ውስጣዊ ገጽታዎች እና ከፍተኛ ትኩረትን የላሚናር ፍሰትን እና ሚዛናዊ የሙቀት መገለጫዎችን ለመደገፍ። የወለል ንጣፎችን ወይም የሽፋን አማራጮች ተጨማሪ ቅንጣትን ማመንጨትን ይቀንሳሉ እና የዝገት መቋቋምን ያጠናክራሉ, የሴሚኮንዳክተር ማምረቻውን ለትክክለኛነት እና አስተማማኝነት ጥብቅ መስፈርቶችን በማሟላት.
የሲሲ ሴራሚክ ካንቴለር መቅዘፊያ
የሲሲ ካንቴለር ቢላዎች ሞኖሊቲክ ዲዛይን የሜካኒካል ጥንካሬን እና የሙቀት ተመሳሳይነትን በከፍተኛ ሁኔታ ያሳድጋል እንዲሁም በተዋሃዱ ቁሳቁሶች ውስጥ የተለመዱ መገጣጠሚያዎችን እና ደካማ ነጥቦችን ያስወግዳል። የእነርሱ ገጽ በትክክለኛ-የተወለወለ ወደ መስታወት ቅርብ ነው፣የተወሰነ ትውልድን በመቀነስ እና የጽዳት ክፍልን ያሟላል። የሳይሲ ተፈጥሯዊ ኬሚካላዊ ንክኪ ጋዝ መመንጠርን፣ መበላሸትን እና የሂደቱን መበከልን ይከላከላል። ምንም እንኳን ፈጣን የሙቀት ብስክሌት ቢስክሌት ፣ ሲሲ መዋቅራዊ ታማኝነትን ይጠብቃል ፣ የአገልግሎት ህይወት ያራዝመዋል እና የጥገና ጊዜን ይቀንሳል። የSiC ቀላል ክብደት ተፈጥሮ ፈጣን የሙቀት ምላሽን ፣የማሞቅ/የማቀዝቀዝ መጠኖችን በማፋጠን እና ምርታማነትን እና የኢነርጂ ውጤታማነትን ያሻሽላል። እነዚህ ቢላዎች ሊበጁ በሚችሉ መጠኖች ይገኛሉ (ከ100ሚሜ እስከ 300ሚሜ+ ዋይፋሪዎች ጋር ተኳሃኝ) እና ከተለያዩ የምድጃ ዲዛይኖች ጋር በመላመድ በሁለቱም የፊት-መጨረሻ እና የኋላ-መጨረሻ ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ ወጥነት ያለው አፈፃፀምን ይሰጣሉ።
Alumina Vacuum Chuck መግቢያ
Al₂O₃ ቫክዩም chucks በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ወሳኝ መሳሪያዎች ናቸው፣ ለብዙ ሂደቶች የተረጋጋ እና ትክክለኛ ድጋፍ ይሰጣሉ።• ቀጫጭን፡ የቺፕ ሙቀት መበታተንን እና የመሳሪያውን አፈጻጸም ለማሻሻል ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የንዑስ ተተኳሪ ቅነሳን በማረጋገጥ በ wafer ቀጭን ጊዜ ወጥ የሆነ ድጋፍ ይሰጣል።
• ዳይሲንግ፡ በዋፈር ዲዲንግ ወቅት ደህንነቱ የተጠበቀ ማስታዎቂያ ይሰጣል፣የጉዳት ስጋቶችን በመቀነስ እና ለግል ቺፕስ መቆራረጥን ያረጋግጣል።
ማጽጃ፡ ለስላሳ እና ወጥ የሆነ የማስታወሻ ቦታው በጽዳት ሂደቶች ወቅት ቫፈርን ሳይጎዳ ውጤታማ ብክለትን ለማስወገድ ያስችላል።
• ማጓጓዝ፡ በዋፍ አያያዝ እና መጓጓዣ ወቅት አስተማማኝ እና አስተማማኝ ድጋፍ ይሰጣል፣የጉዳት እና የብክለት አደጋዎችን ይቀንሳል።
1. ዩኒፎርም ማይክሮ-ፖረስ ሴራሚክ ቴክኖሎጂ
• በእኩልነት የተከፋፈሉ እና እርስ በርስ የተያያዙ ቀዳዳዎችን ለመፍጠር ናኖ-ዱቄቶችን ይጠቀማል፣ይህም ከፍተኛ የሆነ የሰውነት ቅርጽ (porosity) እና ወጥ የሆነ ጥቅጥቅ ያለ መዋቅር ለቋሚ እና አስተማማኝ የዋፈር ድጋፍ።
2.Exceptional Material Properties
ከአልትራ-ንፁህ 99.99% alumina (አል₂O₃) የተሰራ፣ ያሳያል፡-
የሙቀት ባህሪያት: ከፍተኛ ሙቀት መቋቋም እና በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂ conductivity, ከፍተኛ ሙቀት ሴሚኮንዳክተር አካባቢዎች ተስማሚ.
• መካኒካል ባህርያት፡ ከፍተኛ ጥንካሬ እና ጥንካሬ ዘላቂነት፣ የመልበስ መቋቋም እና ረጅም የአገልግሎት ህይወትን ያረጋግጣሉ።
• ተጨማሪ ጥቅሞች፡ ከፍተኛ የኤሌክትሪክ መከላከያ እና የዝገት መቋቋም፣ ለተለያዩ የማምረቻ ሁኔታዎች ተስማሚ።
3. የላቀ ጠፍጣፋ እና ትይዩነት• ትክክለኛ እና የተረጋጋ የዋፈር አያያዝን በከፍተኛ ጠፍጣፋ እና ትይዩነት ያረጋግጣል፣የጉዳት ስጋቶችን በመቀነስ እና ተከታታይ ሂደት ውጤቶችን ያረጋግጣል። ጥሩ የአየር ማራዘሚያ እና ወጥ የሆነ የማስተዋወቅ ኃይል የበለጠ የአሠራር አስተማማኝነትን ይጨምራል።
የአል₂O₃ ቫክዩም ቹክ የላቀ ማይክሮ-ቀዳዳ ቴክኖሎጂን ፣ ልዩ የሆኑ የቁሳቁስ ባህሪዎችን እና ከፍተኛ ትክክለኛነትን ወሳኝ ሴሚኮንዳክተር ሂደቶችን ለመደገፍ ፣ ቅልጥፍናን ፣ አስተማማኝነትን እና የብክለት ቁጥጥርን በማቅለጥ ፣ በመቁረጥ ፣ በማጽዳት እና በማጓጓዝ ደረጃዎች ላይ ያዋህዳል።
Alumina Robot Arm እና Alumina Ceramic End Effector Brief
Alumina (Al₂O₃) የሴራሚክ ሮቦት ክንዶች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ለዋፈር አያያዝ ወሳኝ አካላት ናቸው። እነሱ በቀጥታ ከዋፋዎች ጋር ይገናኛሉ እና እንደ ቫኩም ወይም ከፍተኛ የሙቀት ሁኔታዎች ባሉ ተፈላጊ አካባቢዎች ውስጥ ለትክክለኛ ዝውውር እና አቀማመጥ ኃላፊነት አለባቸው። ዋና እሴታቸው የዋፈርን ደህንነት ማረጋገጥ፣ ብክለትን በመከላከል እና የመሳሪያዎችን የአሠራር ቅልጥፍና እና ምርትን በልዩ ቁስ ባህሪያት በማሻሻል ላይ ነው።
| የባህሪ ልኬት | ዝርዝር መግለጫ |
| መካኒካል ንብረቶች | ከፍተኛ ንፅህና ያለው አልሙኒየም (ለምሳሌ > 99%) ከፍተኛ ጥንካሬን (የMohs ጠንካራነት እስከ 9) እና ተለዋዋጭ ጥንካሬን (እስከ 250-500 MPa) ––––––––––––––––––– ) ))**
|
| የኤሌክትሪክ መከላከያ | የክፍል ሙቀት መቋቋም እስከ 10¹⁵ Ω·ሴሜ እና የ 15 ኪሎ ቮልት/ሚሜ የኢንሱሌሽን ጥንካሬ የኤሌክትሮስታቲክ ልቀትን (ኢኤስዲ) ውጤታማ በሆነ መንገድ ይከላከላል፣ ሚስጥራዊነት ያለው ቫፈርን ከኤሌክትሪክ ጣልቃገብነት እና ጉዳት ይጠብቃል።
|
| የሙቀት መረጋጋት | የማቅለጫ ነጥብ እስከ 2050°C ከፍ ያለ የሙቀት ሂደቶችን (ለምሳሌ፣ RTA፣ CVD) በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ለመቋቋም ያስችላል። ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ጦርነትን ይቀንሳል እና በሙቀት ውስጥ የመጠን መረጋጋትን ይይዛል።
|
| ኬሚካላዊ አለመቻል | ለአብዛኛዎቹ አሲዶች ፣ አልካላይስ ፣ ሂደት ጋዞች እና የጽዳት ወኪሎች ፣ የብክለት ብክለትን ወይም የብረት ion መለቀቅን ይከላከላል። ይህ እጅግ በጣም ንፁህ የሆነ የምርት አካባቢን ያረጋግጣል እና የዋፈር ንጣፍ ብክለትን ያስወግዳል።
|
| ሌሎች ጥቅሞች | የበሰለ ማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂ ከፍተኛ ወጪ ቆጣቢነትን ያቀርባል; ንጣፎች ከትክክለኛ-የተላበሱ ወደ ዝቅተኛ ሸካራነት ሊሆኑ ይችላሉ ፣ይህም የከፊል ትውልድ አደጋዎችን የበለጠ ይቀንሳል።
|
የአሉሚኒየም ሴራሚክ ሮቦቲክ ክንዶች በዋናነት የፊት-መጨረሻ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶችን ጨምሮ ጥቅም ላይ ይውላሉ
• የዋፈር አያያዝ እና አቀማመጥ፡ በአስተማማኝ እና በትክክል ማስተላለፍ እና የቦታ ዋይፎች (ለምሳሌ ከ100ሚሜ እስከ 300ሚሜ+ መጠኖች) በቫኩም ወይም ከፍተኛ ንፁህ የማይነቃነቅ ጋዝ አካባቢዎች፣ ጉዳት እና ብክለት ስጋቶችን በመቀነስ።
• ከፍተኛ ሙቀት ሂደቶች፡ እንደ ፈጣን የሙቀት አማቂ (አርቲኤ)፣ የኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) እና የፕላዝማ ኢተክሽን፣ በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ መረጋጋትን የሚጠብቁ፣ የሂደቱን ወጥነት እና ምርትን የሚያረጋግጡ ናቸው።
• አውቶሜትድ ዋፈር አያያዝ ሲስተምስ፡ ወደ ዋፈር አያያዝ ሮቦቶች የተዋሃደ እንደ የመጨረሻ ውጤት ሰጪዎች በመሳሪያዎች መካከል የዋፈር ዝውውርን በራስ ሰር ለመስራት፣ የምርት ውጤታማነትን ያሳድጋል።
ማጠቃለያ
XKH በ R&D እና ብጁ የሲሊኮን ካርቦዳይድ (ሲሲ) እና አልሙና (አል₂O₃) የሴራሚክ አካላትን በማምረት ላይ ያተኮረ ሲሆን ይህም ሮቦት ክንዶች፣ ቦይ መቅዘፊያዎች፣ ቫክዩም ቹኮች፣ ዋፈር ጀልባዎች፣ እቶን ቱቦዎች እና ሌሎች ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው ክፍሎች፣ ሴሚኮንዳክተሮችን፣ አዲስ ኢነርጂን፣ ኤሮስፔስ እና ከፍተኛ ስቴምፐርቸርን ጨምሮ። ልዩ የሆነ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋምን፣ ሜካኒካል ጥንካሬን፣ ኬሚካላዊ ቅልጥፍናን እና የልኬት ትክክለኛነትን ለማረጋገጥ የላቁ የማጣመር ሂደቶችን (ለምሳሌ፣ ግፊት አልባ ጥምጥም፣ ምላሽ ማጣመር) እና ትክክለኛ የማሽን ቴክኒኮችን (ለምሳሌ፣ CNC መፍጨት፣ መጥረግ) ትክክለኛ የማምረቻ፣ የጥራት ቁጥጥር እና የቴክኖሎጂ ፈጠራን እንከተላለን። የተወሰኑ የደንበኛ መስፈርቶችን ለማሟላት ለክፍቶች፣ ቅርጾች፣ የገጽታ ማጠናቀቂያዎች እና የቁሳቁስ ደረጃዎች ብጁ መፍትሄዎችን በማቅረብ በስዕሎች ላይ በመመስረት ማበጀትን እንደግፋለን። አስተማማኝ እና ቀልጣፋ የሴራሚክ ክፍሎችን ለአለምአቀፍ ከፍተኛ ደረጃ ማምረት ፣የመሳሪያዎችን አፈፃፀም እና ለደንበኞቻችን የምርት ቅልጥፍናን ለማሳደግ ቆርጠናል ።
