ለከፍተኛ መጠን ያለው ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ የሚሆን 12 ኢንች የሳፋየር ዋፈር
ዝርዝር ዲያግራም
የ12 ኢንች ሰንፔር ዋፈር መግቢያ
የ12 ኢንች ሰንፔር ዋፈር ለሰፋፊ ቦታዎች፣ ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ሴሚኮንዳክተር እና ኦፕቶኤሌክትሮኒክ ማምረቻ እየጨመረ የመጣውን ፍላጎት ለማሟላት የተነደፈ ነው። የመሳሪያ አርክቴክቸሮች መስፋፋታቸውን ሲቀጥሉ እና የምርት መስመሮች ወደ ትላልቅ የዋፈር ቅርጸቶች ሲሸጋገሩ፣ እጅግ በጣም ትልቅ ዲያሜትሮች ያላቸው የሳፋየር ንጣፎች በምርታማነት፣ በምርት ማመቻቸት እና በወጪ ቁጥጥር ረገድ ግልጽ ጥቅሞችን ይሰጣሉ።
ከፍተኛ ንፁህ ከሆነ ነጠላ ክሪስታል አል₂O₃ የተሰራው የ12 ኢንች ሰንፔር ዋፈርዎቻችን እጅግ በጣም ጥሩ የሜካኒካል ጥንካሬ፣ የሙቀት መረጋጋት እና የገጽታ ጥራትን ያጣምራሉ። በተመቻቸ የክሪስታል እድገት እና ትክክለኛነት ዋፈር ማቀነባበሪያ አማካኝነት እነዚህ ንጣፎች ለላቁ የ LED፣ GaN እና ልዩ ሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች አስተማማኝ አፈጻጸም ያቀርባሉ።

የቁሳቁስ ባህሪያት
ሰንፔር (ነጠላ-ክሪስታል አልሙኒየም ኦክሳይድ፣ Al₂O₃) በሚያስደንቅ አካላዊ እና ኬሚካላዊ ባህሪያቱ የታወቀ ነው። 12 ኢንች ሰንፔር ዋፈርስ የሰንፔር ቁሳቁስን ጥቅሞች ሁሉ ይወርሳሉ እንዲሁም በጣም ሰፊ የሆነ ጥቅም ላይ የሚውል የወለል ስፋት ይሰጣሉ።
የቁሳቁስ ዋና ዋና ባህሪያት የሚከተሉትን ያካትታሉ:
-
እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬ እና የመልበስ መቋቋም
-
እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት እና ከፍተኛ የማቅለጥ ነጥብ
-
ለአሲድ እና ለአልካላይስ ከፍተኛ የኬሚካል መቋቋም
-
ከ UV እስከ IR የሞገድ ርዝመት ከፍተኛ የኦፕቲካል ግልጽነት
-
እጅግ በጣም ጥሩ የኤሌክትሪክ መከላከያ ባህሪዎች
እነዚህ ባህሪያት 12 ኢንች ሰንፔር ዋፈር ለከባድ የማቀነባበሪያ አካባቢዎች እና ለከፍተኛ ሙቀት-ሴሚኮንዳክተር የማምረቻ ሂደቶች ተስማሚ ያደርጉታል።
የማምረቻ ሂደት
የ12 ኢንች ሰንፔር ዋፈር ማምረት የላቁ የክሪስታል እድገት እና እጅግ በጣም ትክክለኛ የማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂዎችን ይፈልጋል። የተለመደው የማኑፋክቸሪንግ ሂደት የሚከተሉትን ያካትታል፡
-
ነጠላ ክሪስታል እድገት
ከፍተኛ ንፁህ የሆኑ የሳፕየር ክሪስታሎች የሚበቅሉት እንደ KY ወይም ሌሎች ትላልቅ ዲያሜትር ያላቸው የክሪስታል እድገት ቴክኖሎጂዎችን በመጠቀም ሲሆን ወጥ የሆነ የክሪስታል አቀማመጥ እና ዝቅተኛ ውስጣዊ ውጥረትን ያረጋግጣል። -
የክሪስታል ቅርፅ እና መቁረጥ
የሳፋየር ኢንጎት በትክክል ቅርጽ ያለው እና ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸውን የመቁረጫ መሳሪያዎችን በመጠቀም በ12 ኢንች ዋፈር የተቆራረጠ ሲሆን ይህም የከርሰ ምድርን ጉዳት ለመቀነስ ይረዳል። -
መዝለል እና ማጽዳት
እጅግ በጣም ጥሩ የወለል ሸካራነት፣ ጠፍጣፋነት እና የውፍረት ወጥነት ለማግኘት ባለብዙ ደረጃ ላፕ እና የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ (CMP) ሂደቶች ይተገበራሉ። -
ጽዳት እና ምርመራ
እያንዳንዱ 12 ኢንች ሰንፔር ዋፈር ጥልቅ ጽዳት እና ጥብቅ ፍተሻ ይደረግበታል፣ ይህም የገጽታ ጥራት፣ የቲቪ፣ የቦው፣ የዋርፕ እና የጉድለት ትንተናን ያካትታል።
አፕሊኬሽኖች
12 ኢንች ሰንፔር ዋፈርስ በተራቀቁ እና በማደግ ላይ ባሉ ቴክኖሎጂዎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል፣ ከእነዚህም ውስጥ የሚከተሉት ይገኙበታል፡
-
ከፍተኛ ኃይል እና ከፍተኛ ብሩህነት ያላቸው የ LED ንጣፎች
-
በ GaN ላይ የተመሰረቱ የኃይል መሳሪያዎች እና የ RF መሳሪያዎች
-
የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ተሸካሚ እና መከላከያ ንጣፎች
-
የኦፕቲካል መስኮቶች እና ሰፋፊ የኦፕቲካል ክፍሎች
-
የላቀ የሴሚኮንዳክተር ማሸጊያ እና ልዩ የሂደት ተሸካሚዎች
ትልቁ ዲያሜትር ከፍተኛ የውጤት መጠን እና በጅምላ ምርት ውስጥ የወጪ ቅልጥፍናን ያሻሽላል።
የ12 ኢንች የሳፋየር ዋፈር ጥቅሞች
-
በአንድ ዋፈር ከፍተኛ የመሣሪያ ውፅዓት ለማግኘት ትልቅ ጥቅም ላይ የሚውል ቦታ
-
የተሻሻለ የሂደት ወጥነት እና ወጥነት
-
በከፍተኛ መጠን ምርት ውስጥ በአንድ መሳሪያ የሚቀነሰ ወጪ
-
ለትልቅ መጠን አያያዝ እጅግ በጣም ጥሩ የሜካኒካል ጥንካሬ
-
ለተለያዩ አፕሊኬሽኖች ሊበጁ የሚችሉ ዝርዝር መግለጫዎች

የማበጀት አማራጮች
ለ12 ኢንች ሰንፔር ዋፈርዎች ተለዋዋጭ ማበጀት እናቀርባለን፣ የሚከተሉትንም ጨምሮ፡
-
የክሪስታል አቀማመጥ (ሲ-ፕላን፣ ኤ-ፕላን፣ አር-ፕላን፣ ወዘተ)
-
ውፍረት እና ዲያሜትር መቻቻል
-
ነጠላ ወይም ባለ ሁለት ጎን ፖሊሽ
-
የጠርዝ መገለጫ እና የቻምፈር ዲዛይን
-
የወለል ሸካራነት እና ጠፍጣፋ መስፈርቶች
| መለኪያ | ዝርዝር መግለጫ | ማስታወሻዎች |
|---|---|---|
| የዋፈር ዲያሜትር | 12 ኢንች (300 ሚሜ) | መደበኛ ትልቅ ዲያሜትር ያለው ዋፈር |
| ቁሳቁስ | ነጠላ-ክሪስታል ሰንፔር (Al₂O₃) | ከፍተኛ ንፅህና፣ ኤሌክትሮኒክ/ኦፕቲካል ደረጃ |
| የክሪስታል አቀማመጥ | ሲ-ፕላን (0001)፣ ኤ-ፕላን (11-20)፣ አር-ፕላን (1-102) | አማራጭ አቀማመጦች ይገኛሉ |
| ውፍረት | 430–500 μm | ብጁ ውፍረት ሲጠየቅ ይገኛል |
| ውፍረት መቻቻል | ±10 μm | ለላቁ መሳሪያዎች ጥብቅ መቻቻል |
| ጠቅላላ ውፍረት ልዩነት (TTV) | ≤10 μm | በዋፈር ላይ ወጥ የሆነ ሂደትን ያረጋግጣል |
| ቦው | ≤50 μm | በጠቅላላው ዋፈር ላይ ተለክቷል |
| ዋርፕ | ≤50 μm | በጠቅላላው ዋፈር ላይ ተለክቷል |
| የገጽታ አጨራረስ | ባለአንድ ጎን የተወለወለ (SSP) / ባለሁለት ጎን የተወለወለ (DSP) | ከፍተኛ ጥራት ያለው የኦፕቲካል ወለል |
| የወለል ሻካራነት (ራ) | ≤0.5 nm (የተወለወለ) | ለኤፒታክሲያል እድገት የአቶሚክ ደረጃ ለስላሳነት |
| የጠርዝ መገለጫ | ቻምፈር / የተጠጋጋ ጠርዝ | በአያያዝ ጊዜ መቆራረጥን ለመከላከል |
| የአቀማመጥ ትክክለኛነት | ±0.5° | የኤፒታክሲያል ንብርብር ትክክለኛ እድገትን ያረጋግጣል |
| የጉድለት ጥግግት | <10 ሴ.ሜ⁻² | በኦፕቲካል ምርመራ የሚለካ |
| ጠፍጣፋነት | ≤2 μm / 100 ሚሜ | ወጥ የሆነ የሊቶግራፊ እና የኤፒታክሲያል እድገትን ያረጋግጣል |
| ንፅህና | ክፍል 100 - ክፍል 1000 | የመጸዳጃ ቤት ተስማሚ |
| የኦፕቲካል ማስተላለፊያ | >85% (UV–IR) | እንደ ሞገድ ርዝመት እና ውፍረት ይወሰናል |
12 ኢንች የሳፋየር ዋፈር ተደጋጋሚ ጥያቄዎች
ጥ 1፡ የ12 ኢንች ሰንፔር ዋፈር መደበኛ ውፍረት ስንት ነው?
መ፡ መደበኛው ውፍረት ከ430 μm እስከ 500 μm ይደርሳል። ብጁ ውፍረትዎች በደንበኛው መስፈርቶች መሰረት ሊመረቱ ይችላሉ።
ጥ2፡ ለ12 ኢንች ሰንፔር ዋፈርስ ምን አይነት ክሪስታል አቅጣጫዎች ይገኛሉ?
መ፡ የC-plane (0001)፣ የA-plane (11-20) እና የR-plane (1-102) አቅጣጫዎችን እናቀርባለን። ሌሎች አቅጣጫዎች በተወሰኑ የመሣሪያ መስፈርቶች መሰረት ሊበጁ ይችላሉ።
ጥያቄ 3፡ የዋፈር አጠቃላይ ውፍረት ልዩነት (TTV) ስንት ነው?
መ፡ የ12 ኢንች ሰንፔር ዋፈሮቻችን በተለምዶ ≤10 μm የሆነ TTV አላቸው፣ ይህም ከፍተኛ ጥራት ላለው የመሳሪያ ማምረቻ በመላው የዋፈር ወለል ላይ ወጥነት እንዲኖረው ያረጋግጣል።
ስለ እኛ
XKH በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ልማት፣ ምርት እና ልዩ የኦፕቲካል መስታወት እና አዳዲስ ክሪስታል ቁሳቁሶችን ሽያጭ ላይ ያተኩራል። ምርቶቻችን የኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ፣ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ እና ወታደራዊ አገልግሎት ይሰጣሉ። የሳፋየር ኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የሞባይል ስልክ ሌንስ ሽፋኖችን፣ ሴራሚክስን፣ ኤልቲ፣ ሲሊከን ካርባይድ ሲአይሲ፣ ኳርትዝ እና ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል ዋፈርስን እናቀርባለን። በሙያዊ እውቀት እና ዘመናዊ መሳሪያዎች፣ መደበኛ ባልሆነ የምርት ማቀነባበሪያ ውስጥ የላቀ ችሎታ አለን፣ እናም ግንባር ቀደም የኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቁሶች ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ድርጅት ለመሆን እንጥራለን።










