8ኢንች ሲሲ የማምረቻ ደረጃ ዋፈር 4H-N SiC substrate
የሚከተለው ሠንጠረዥ የእኛን 8inch SiC wafers ዝርዝር ያሳያል፡
| 8ኢንች N-አይነት SiC DSP ዝርዝሮች | |||||
| ቁጥር | ንጥል | ክፍል | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
| 1: መለኪያዎች | |||||
| 1.1 | ባለ ብዙ ዓይነት | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | የገጽታ አቀማመጥ | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: የኤሌክትሪክ መለኪያ | |||||
| 2.1 | ዶፓንት | -- | n-አይነት ናይትሮጅን | n-አይነት ናይትሮጅን | n-አይነት ናይትሮጅን |
| 2.2 | የመቋቋም ችሎታ | ኦህ · ሴሜ | 0.015 ~ 0.025 | 0.01 ~ 0.03 | NA |
| 3: ሜካኒካል መለኪያ | |||||
| 3.1 | ዲያሜትር | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | ውፍረት | μm | 500± 25 | 500± 25 | 500± 25 |
| 3.3 | የኖት አቅጣጫ | ° | [1-100] ± 5 | [1-100] ± 5 | [1-100] ± 5 |
| 3.4 | የኖት ጥልቀት | mm | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5(10ሚሜ*10ሚሜ) | ≤5(10ሚሜ*10ሚሜ) | ≤10(10ሚሜ*10ሚሜ) |
| 3.6 | ቲቲቪ | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | ቀስት | μm | -25-25 | -45-45 | -65-65 |
| 3.8 | ዋርፕ | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | ኤኤፍኤም | nm | ራ≤0.2 | ራ≤0.2 | ራ≤0.2 |
| 4: መዋቅር | |||||
| 4.1 | ማይክሮፓይፕ እፍጋት | ኢ/ሴሜ 2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | የብረት ይዘት | አቶሞች / ሴሜ 2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ኢ/ሴሜ 2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | ቢፒዲ | ኢ/ሴሜ 2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | ቴዲ | ኢ/ሴሜ 2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5.የፊት ጥራት | |||||
| 5.1 | ፊት ለፊት | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | ላዩን ማጠናቀቅ | -- | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ |
| 5.3 | ቅንጣት | ኢ/ዋፈር | ≤100(መጠን≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | ጭረት | ኢ/ዋፈር | ≤5፣ጠቅላላ ርዝመት≤200ሚሜ | NA | NA |
| 5.5 | ጠርዝ ቺፕስ / ኢንደንቶች / ስንጥቆች / እድፍ / ብክለት | -- | ምንም | ምንም | NA |
| 5.6 | የፖሊታይፕ ቦታዎች | -- | ምንም | አካባቢ ≤10% | አካባቢ ≤30% |
| 5.7 | የፊት ምልክት ማድረግ | -- | ምንም | ምንም | ምንም |
| 6: የኋላ ጥራት | |||||
| 6.1 | የኋላ አጨራረስ | -- | ሲ-ፊት MP | ሲ-ፊት MP | ሲ-ፊት MP |
| 6.2 | ጭረት | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | የጀርባ ጉድለቶች ጠርዝ ቺፕስ/ኢንዲትስ | -- | ምንም | ምንም | NA |
| 6.4 | የኋላ ሻካራነት | nm | ራ≤5 | ራ≤5 | ራ≤5 |
| 6.5 | የኋላ ምልክት ማድረግ | -- | ኖት | ኖት | ኖት |
| 7: ጠርዝ | |||||
| 7.1 | ጠርዝ | -- | ቻምፈር | ቻምፈር | ቻምፈር |
| 8፡ ጥቅል | |||||
| 8.1 | ማሸግ | -- | Epi-ዝግጁ ከቫኩም ጋር ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም ጋር ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም ጋር ማሸግ |
| 8.2 | ማሸግ | -- | ባለብዙ-ዋፈር የካሴት ማሸጊያ | ባለብዙ-ዋፈር የካሴት ማሸጊያ | ባለብዙ-ዋፈር የካሴት ማሸጊያ |
ዝርዝር ሥዕላዊ መግለጫ
ተዛማጅ ምርቶች
መልእክትህን እዚህ ጻፍ እና ላኩልን።