ድርብ ጣቢያ ካሬ ማሽን ሞኖክሪስታሊን ሲሊከን ዘንግ ማቀነባበሪያ 6/8/12 ኢንች ወለል ጠፍጣፋነት Ra≤0.5μm

(1) ድርብ ጣቢያ ሲንክሮን ፕሮሰሲንግ
· ድርብ ቅልጥፍና፡- የሁለት የሲሊኮን ዘንጎች (Ø6"-12") በአንድ ጊዜ ማቀነባበር ከሲምፕሌክስ መሳሪያዎች ጋር ሲነጻጸር ምርታማነትን በ40%-60% ይጨምራል።

· ገለልተኛ ቁጥጥር፡- እያንዳንዱ ጣቢያ የመቁረጫ መለኪያዎችን (ውጥረት፣ የመመገብ ፍጥነት) ከተለያዩ የሲሊኮን ዘንግ ዝርዝሮች ጋር እንዲላመድ በተናጥል ማስተካከል ይችላል።

(2) ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው መቁረጥ
· የመለኪያ ትክክለኛነት፡ የካሬ አሞሌ የጎን ርቀት መቻቻል ±0.15ሚሜ፣ ክልል ≤0.20ሚሜ።

· የገጽታ ጥራት፡ የመቁረጫ ጠርዝ መሰበር <0.5ሚሜ፣ የሚቀጥለውን የመፍጨት መጠን ይቀንሱ።

(3) ብልህ ቁጥጥር
· ተለዋዋጭ መቁረጥ፡ የሲሊኮን ዘንግ ሞርፎሎጂን በእውነተኛ ጊዜ መከታተል፣ የመቁረጫ መንገድ ተለዋዋጭ ማስተካከያ (እንደ የታጠፈ የሲሊኮን ዘንግ ሂደት)።

· የውሂብ ክትትል፡ የ MES ስርዓት መትከያዎችን ለመደገፍ የእያንዳንዱን የሲሊኮን ዘንግ የሂደት መለኪያዎችን ይመዝግቡ።

(4) ዝቅተኛ የፍጆታ ወጪ
· የአልማዝ ሽቦ ፍጆታ፡ ≤0.06ሜ/ሚሜ (የሲሊኮን ዘንግ ርዝመት)፣ የሽቦ ዲያሜትር ≤0.30ሚሜ።

· የማቀዝቀዣ ዝውውር፡ የማጣሪያ ስርዓቱ የአገልግሎት ዘመኑን ያራዝማል እና የቆሻሻ ፈሳሽ ማስወገጃን ይቀንሳል።