ርዕስ፡ በቺፕ ማምረቻ ውስጥ FOUP ምንድን ነው?

ማውጫ

1. የ FOUP አጠቃላይ እይታ እና ዋና ተግባራት

2. የ FOUP አወቃቀር እና ዲዛይን ባህሪዎች

3. የ FOUP ምደባ እና አተገባበር መመሪያዎች

4. የ FOUP ተግባራት እና አስፈላጊነት በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ

5. ቴክኒካዊ ተግዳሮቶች እና የወደፊት የእድገት አዝማሚያዎች

የ 6.XKH ብጁ መፍትሄዎች እና የአገልግሎት ድጋፍ

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ የፊት መክፈቻ ዩኒየድ ፖድ (FOUP) ዋፈርን ለመጠበቅ፣ ለማጓጓዝ እና ለማከማቸት የሚያገለግል ወሳኝ መያዣ ነው። የውስጠኛው ክፍል 25 የ 300 ሚሜ ዋይፋዎችን ማስተናገድ የሚችል ሲሆን ዋና ዋና ክፍሎቹ የፊት መክፈቻ ኮንቴይነር እና ለመክፈት እና ለመዝጋት የተወሰነ የበር ፍሬም ያካትታሉ። FOUP በ12ኢንች ዋፈር ፋብ ውስጥ በአውቶሜትድ የትራንስፖርት ሥርዓት ውስጥ ዋና ተሸካሚ ነው። በተለምዶ የሚጓጓዘው በተዘጋ ሁኔታ ነው እና ወደ መሳሪያ መጫኛ ወደብ ሲገፋ ብቻ ይከፈታል፣ ይህም ቫፈር ወደ መሳሪያው የመጫኛ/የማራገፊያ ወደብ እንዲተላለፍ ያስችላል።

የ FOUP ንድፍ ለጥቃቅን አከባቢ መስፈርቶች ተስማሚ ነው. በኋለኛው ላይ ለ wafer ማስገቢያ ክፍተቶችን ያሳያል ፣ እና ክዳኑ በተለይ ከመክፈቻው መቆንጠጥ ጋር እንዲመጣጠን ተደርጎ የተሰራ ነው። Wafer-handling ሮቦቶች በክፍል 1 ንፁህ አየር አከባቢ ውስጥ ይሰራሉ, ይህም በሚተላለፉበት ጊዜ ዋፍሮቹ እንዳይበከሉ ያደርጋሉ. በተጨማሪም FOUP በሂደት መሳሪያዎች መካከል በአውቶሜትድ የቁሳቁስ አያያዝ ስርዓት (AMHS) ይንቀሳቀሳል። ዘመናዊ የዋፈር ጨርቃጨርቅ ጨርቃጨርቅ ጨርቃጨርቅ ጨርቃጨርቅ ፋብሪካዎች በአብዛኛው ከራስ በላይ የባቡር ሲስተሞችን ለትራንስፖርት ይጠቀማሉ፣ ጥቂት የቆዩ ፋብሶች ደግሞ መሬት ላይ የተመሰረቱ አውቶሜትድ የሚመሩ ተሽከርካሪዎችን (AGVs) ሊጠቀሙ ይችላሉ።

FOUP በራስ ሰር የዋፈር ማስተላለፍን ብቻ ሳይሆን የማከማቻ ተግባርንም ያገለግላል። በበርካታ የማምረቻ ደረጃዎች ምክንያት፣ አጠቃላይ የሂደቱን ፍሰት ለማጠናቀቅ ዋፍሮች ወራት ሊወስዱ ይችላሉ። ከከፍተኛ ወርሃዊ የምርት መጠን ጋር ተዳምሮ፣ ይህ ማለት በፋብ ውስጥ በአስር ሺዎች የሚቆጠሩ ዋይፋሪዎች በማንኛውም ጊዜ በመጓጓዣ ወይም በጊዜያዊ ማከማቻ ውስጥ ይገኛሉ ማለት ነው። በማከማቻ ጊዜ፣ FOUP ዎች በየጊዜው በናይትሮጅን የሚፀዱ በካይ ከዋፋዎች ጋር እንዳይገናኙ፣ ንጹህ እና አስተማማኝ የምርት ሂደትን ያረጋግጣል።

1. የ FOUP ተግባራት እና አስፈላጊነት

የ FOUP ዋና ተግባር ዋፍሮችን ከውጭ ድንጋጤ እና ከብክለት መከላከል ነው፣በተለይም በሚተላለፍበት ጊዜ ምርት ላይ የሚደርሱትን ተጽእኖዎች ማስወገድ ነው። እንደ ጋዝ ማጽዳት እና የአካባቢ የከባቢ አየር መቆጣጠሪያ (LAC)፣ የሚቀጥለውን የማምረቻ ደረጃ በመጠባበቅ ላይ እያለ ቫፈር ደህንነቱ በተጠበቀ ሁኔታ ውስጥ መቆየቱን በማረጋገጥ እርጥበትን በሚገባ ይከላከላል። የታሸገ እና ቁጥጥር የሚደረግበት ስርዓት አስፈላጊ የሆኑ ውህዶች እና ንጥረ ነገሮች ብቻ እንዲገቡ ያስችላቸዋል, ይህም የቪኦሲዎች, የኦክስጂን እና የእርጥበት መጠን በዋፋዎች ላይ ያለውን አሉታዊ ተፅእኖ በእጅጉ ይቀንሳል.

ሙሉ በሙሉ የተጫነው FOUP 25 ዋፋር እስከ 9 ኪሎ ግራም ሊመዝን ስለሚችል፣ መጓጓዣው በአውቶሜትድ የቁሳቁስ አያያዝ ስርዓት (AMHS) ላይ መታመን አለበት። ይህንን ለማሳለጥ FOUP የተሰራው ከተለያዩ የመገጣጠሚያ ሰሌዳዎች፣ ፒን እና ጉድጓዶች ጥምረት ሲሆን በቀላሉ ለመለየት እና ለመለየት የሚያስችል የ RFID ኤሌክትሮኒክስ መለያዎች አሉት። ይህ አውቶሜትድ አያያዝ የስህተት መጠኖችን በእጅጉ በመቀነስ እና የማምረቻ ሂደቱን ደህንነት እና ትክክለኛነት በማጎልበት ምንም አይነት የእጅ ስራ አይፈልግም።

2. የ FOUP አወቃቀር እና ምደባ

የ FOUP ዓይነተኛ ልኬቶች በግምት 420 ሚሜ ስፋት ፣ 335 ሚሜ ጥልቀት እና 335 ሚሜ ቁመት። ዋናዎቹ መዋቅራዊ አካላት የሚከተሉትን ያካትታሉ: ከላይ OHT (የእንጉዳይ ጭንቅላት) ለራስጌ ማጓጓዣ; የፊት በር ለመሳሪያዎች wafer መዳረሻ; የጎን መያዣዎች, ብዙውን ጊዜ የተለያየ የብክለት ደረጃዎች ያላቸውን የሂደት ቦታዎችን ለመለየት ባለቀለም ኮድ; የመልእክት ካርዶችን ለማስቀመጥ የካርድ ቦታ; እና የታችኛው RFID መለያ ለFOUP እንደ ልዩ መለያ ሆኖ የሚያገለግል፣ ይህም መሳሪያዎች እና ከላይ ከፍ ያሉ ማንሻዎች እንዲያውቁት ያስችላል። መሰረቱም ከመሳሪያዎች ጋር ለመገጣጠም እና የሂደቱን ቦታዎች ለመለየት አራት የመለያ እና የአቀማመጥ ቀዳዳዎች አሉት።

በአጠቃቀም ላይ በመመስረት፣ FOUPs በሦስት ዓይነት ይከፈላሉ፡- PRD (ለምርት)፣ ENG (ለኢንጂነሪንግ ዋፈር) እና MON (ሞኒተር ዋፈርስ)። PRD FOUPs ለምርት ማምረቻዎች ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ፣ የኢኤንጂ ዓይነቶች ለ R&D ወይም ለሙከራዎች ተስማሚ ናቸው፣ እና MON አይነቶች እንደ CMP እና DIFF ላሉ እርምጃዎች ክትትል ለማድረግ የተሰጡ ናቸው። የ PRD FOUPs ለሁለቱም የኢንግ እና MON ዓላማዎች ጥቅም ላይ ሊውሉ እንደሚችሉ እና የኢንጂ ዓይነቶች ለ MON ጥቅም ላይ ሊውሉ እንደሚችሉ ልብ ሊባል ይገባል ፣ ግን የተገላቢጦሽ ክዋኔ የጥራት አደጋዎችን ያስከትላል።

በብክለት ደረጃ የተከፋፈሉ፣ FOUPs በ FE FOUP (የፊት-መጨረሻ ሂደት፣ ከብረት-ነጻ)፣ BE FOUP (የኋለኛ-መጨረሻ ሂደት፣ ብረትን ይዟል) እና እንደ NI FOUP፣ CU FOUP እና CO FOUP ባሉ ልዩ የብረት ሂደቶች ሊከፈሉ ይችላሉ። ለተለያዩ ሂደቶች FOUPs በተለምዶ በጎን እጀታዎች ወይም በበር ፓነሎች ቀለም ተለይተዋል። የፊት-መጨረሻ ሂደቶች FOUPs በኋለኛ-መጨረሻ ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ ፣ ግን የኋላ-መጨረሻ FOUPs በፊት-መጨረሻ ሂደቶች በጭራሽ ጥቅም ላይ መዋል የለባቸውም ፣ይህም የብክለት አደጋዎችን ያስከትላል።

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ቁልፍ ተሸካሚ እንደመሆኑ መጠን FOUP በከፍተኛ አውቶሜሽን እና ጥብቅ የብክለት ቁጥጥር በማድረግ በምርት ሂደት ውስጥ የዋፋዎችን ደህንነት እና ንፅህናን ያረጋግጣል ፣ ይህም በዘመናዊ የዋፈር ፋብሪካዎች ውስጥ አስፈላጊ መሠረተ ልማት ያደርገዋል።

ማጠቃለያ

XKH የእርስዎን ልዩ የሂደት መስፈርቶች እና የመሳሪያ በይነገጽ ዝርዝሮችን በጥብቅ በመከተል ለደንበኞች በጣም የተበጁ የፊት-መክፈቻ የተዋሃደ ፖድ (FOUP) መፍትሄዎችን ለመስጠት ቁርጠኛ ነው። የላቁ የቁሳቁስ ቴክኖሎጂ እና ትክክለኛ የማምረቻ ሂደቶችን በመጠቀም እያንዳንዱ የ FOUP ምርት ልዩ የአየር ቆጣቢነት ፣ ንፅህና እና ሜካኒካል መረጋጋት እንደሚያቀርብ እናረጋግጣለን። የቴክኒክ ቡድናችን ጥልቅ የሆነ የኢንደስትሪ እውቀት አለው፣ አጠቃላይ የህይወት ኡደት ድጋፍን - ከምርጫ ምክክር እና መዋቅራዊ ማመቻቸት እስከ ጽዳት እና ጥገና - በFOUP እና በእርስዎ አውቶሜትድ የቁሳቁስ አያያዝ ስርዓት (AMHS) እና በመሳሪያዎች መካከል ያለችግር ውህደት እና ቀልጣፋ ትብብር ማረጋገጥ። እንደ ዋና አላማችን ያለማቋረጥ ለዋፋዎች ደህንነት እና የምርት ምርትን ማሳደግ ቅድሚያ እንሰጣለን። በፈጠራ ምርቶች እና ሁሉን አቀፍ የቴክኒክ አገልግሎቶች አማካኝነት ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶችዎ ጠንካራ ዋስትና እንሰጣለን ፣ በመጨረሻም የምርት ቅልጥፍናን እና የምርት ምርትን ያሳድጋል።