ለአይሲፒ የ4 ኢንች 6 ኢንች የዋፈር መያዣ የሲሲ ሴራሚክ ሳህን/ትሪ
የሲሲ ሴራሚክ ሳህን አጭር መግለጫ
የሲሲ ሴራሚክ ሳህን ከፍተኛ ንፅህና ካለው ሲሊኮን ካርባይድ የተሰራ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው አካል ሲሆን በከፍተኛ ሙቀት፣ ኬሚካላዊ እና ሜካኒካል አካባቢዎች ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል ታስቦ የተዘጋጀ ነው። በልዩ ጥንካሬው፣ በሙቀት አማቂነቱ እና በዝገት መቋቋም የሚታወቀው የሲሲ ሳህን በሴሚኮንዳክተር፣ በኤልኢዲ፣ በፎቶቮልታይክ እና በአየር መጓጓዣ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ እንደ ዋፈር ተሸካሚ፣ ተንሳፋፊ ወይም መዋቅራዊ አካል በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል።
እስከ 1600°ሴ ድረስ አስደናቂ የሙቀት መረጋጋት እና ለሪአክቲቭ ጋዞች እና ለፕላዝማ አካባቢዎች በጣም ጥሩ የመቋቋም ችሎታ ያለው፣ የSiC ሰሌዳው በከፍተኛ ሙቀት መቅረጽ፣ በማስቀመጥ እና በማሰራጨት ሂደቶች ወቅት ወጥ የሆነ አፈፃፀምን ያረጋግጣል። ጥቅጥቅ ያለ፣ ቀዳዳ የሌለው ማይክሮ መዋቅሩ የቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሳል፣ ይህም በቫክዩም ወይም በጽዳት ክፍል ውስጥ ለእጅግ በጣም ንፁህ አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ያደርገዋል።
የሲሲ የሴራሚክ ሳህን አፕሊኬሽን
1. ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ
የሲሲ ሴራሚክ ሳህኖች እንደ ሲቪዲ (ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን)፣ ፒቪዲ (አካላዊ ትነት ዲፖዚሽን) እና የመቅረጽ ስርዓቶች ባሉ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ እንደ ዋፈር ተሸካሚዎች፣ ተንሳፋፊዎች እና የእግረኛ ሰሌዳዎች በተለምዶ ጥቅም ላይ ይውላሉ። እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ እና ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት ወጥ የሆነ የሙቀት ስርጭት እንዲጠብቁ ያስችላቸዋል፣ ይህም ለከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የዋፈር ማቀነባበሪያ ወሳኝ ነው። የሲሲ ለቆርቆሮ ጋዞች እና ፕላዝማዎች ያለው መቋቋም በአስቸጋሪ አካባቢዎች ዘላቂነትን ያረጋግጣል፣ ይህም የቅንጣት ብክለትን እና የመሳሪያዎችን ጥገና ለመቀነስ ይረዳል።
2. የ LED ኢንዱስትሪ - አይሲፒ ኢቺንግ
በኤልኢዲ ማምረቻ ዘርፍ፣ የሲሲ ሳህኖች በአይሲፒ (ኢንዳክቲቭሊ ኮፐድድ ፕላዝማ) የመቅረጽ ስርዓቶች ውስጥ ቁልፍ አካላት ናቸው። እንደ ዋፈር መያዣዎች ሆነው፣ በፕላዝማ ሂደት ወቅት ሰንፔር ወይም ጋኤን ዋፈርዎችን ለመደገፍ የተረጋጋ እና በሙቀት ላይ ጠንካራ መድረክ ይሰጣሉ። እጅግ በጣም ጥሩ የፕላዝማ መቋቋም፣ የወለል ጠፍጣፋነት እና የመጠን መረጋጋት ከፍተኛ የመቅረጽ ትክክለኛነት እና ወጥነት እንዲኖር ይረዳሉ፣ ይህም በኤልኢዲ ቺፕስ ውስጥ ምርትን እና የመሳሪያ አፈፃፀምን ይጨምራል።
3. ፎቶቮልታይክስ (PV) እና የፀሐይ ኃይል
የሲሲ ሴራሚክ ሳህኖች በተለይም ከፍተኛ ሙቀት ባለው የሲንቴሪንግ እና የማጥለቅ ደረጃዎች ወቅት በሶላር ሴል ምርት ውስጥም ጥቅም ላይ ይውላሉ። በከፍተኛ የሙቀት መጠን ላይ ያላቸው የማይንቀሳቀሱ መሆናቸው እና የመወዛወዝ ችሎታቸው የሲሊኮን ዋፈርዎችን ወጥነት ባለው ሂደት ያረጋግጣሉ። በተጨማሪም፣ ዝቅተኛ የብክለት አደጋቸው የፎቶቮልታይክ ሴሎችን ውጤታማነት ለመጠበቅ በጣም አስፈላጊ ነው።
የሲሲ ሴራሚክ ሳህን ባህሪያት
1. ልዩ የሆነ የሜካኒካል ጥንካሬ እና ጥንካሬ
የሲሲ ሴራሚክ ሳህኖች በጣም ከፍተኛ የሜካኒካል ጥንካሬ ያሳያሉ፣ ከ400 MPa በላይ የሆነ የተለመደ የመተጣጠፍ ጥንካሬ እና የቪከርስ ጥንካሬ ከ2000 HV በላይ ይደርሳል። ይህም ለሜካኒካል እርጅና፣ ለመቧጨር እና ለመበላሸት ከፍተኛ የመቋቋም አቅም ያደርጋቸዋል፣ ይህም በከፍተኛ ጭነት ወይም በተደጋጋሚ የሙቀት ዑደት ውስጥ እንኳን ረጅም የአገልግሎት ዘመንን ያረጋግጣል።
2. ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ
ሲሲ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ (በተለምዶ ከ120-200 W/m·K) ያለው ሲሆን ይህም ሙቀትን በገጽታው ላይ በእኩል እንዲያሰራጭ ያስችለዋል። ይህ ባህሪ እንደ ዋፈር ኢቺንግ፣ ዲፖዚሽን ወይም ሲንቴሪንግ ባሉ ሂደቶች ውስጥ ወሳኝ ነው፣ የሙቀት ወጥነት በቀጥታ የምርት ምርትን እና ጥራትን ይነካል።
3. የላቀ የሙቀት መረጋጋት
ከፍተኛ የማቅለጥ ነጥብ (2700°ሴ) እና ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት (4.0 × 10⁻⁶/K) ያላቸው፣ የSiC ሴራሚክ ሳህኖች በፍጥነት በማሞቅ እና በማቀዝቀዝ ዑደቶች ውስጥ የመለኪያ ትክክለኛነትን እና መዋቅራዊ ታማኝነትን ይጠብቃሉ። ይህም በከፍተኛ ሙቀት ምድጃዎች፣ በቫክዩም ክፍሎች እና በፕላዝማ አካባቢዎች ውስጥ ለመጠቀም ተስማሚ ያደርጋቸዋል።
| የቴክኒክ ባህሪያት | ||||
| ማውጫ | ዩኒት | እሴት | ||
| የቁሳቁስ ስም | ሪአክሽን ሲንተርድ ሲሊከን ካርቦይድ | ግፊት የሌለው ሲንተርድ ሲሊከን ካርቦሃይድ | እንደገና ጥቅም ላይ የዋለ ሲሊከን ካርቦይድ | |
| ቅንብር | አርቢሲሲ | ኤስሲሲ | አር-ሲሲ | |
| የጅምላ ጥግግት | ግ/ሴሜ 3 | 3 | 3.15 ± 0.03 | 2.60-2.70 |
| የመተጣጠፍ ጥንካሬ | MPa (kpsi) | 338(49) | 380(55) | 80-90 (20°ሴ) 90-100(1400°ሴ) |
| የመጭመቂያ ጥንካሬ | MPa (kpsi) | 1120(158) | 3970(560) | > 600 |
| ግትርነት | ኑፕ | 2700 | 2800 | / |
| ጽናት መስበር | MPa m1/2 | 4.5 | 4 | / |
| የሙቀት ማስተላለፊያ | ወ/ሜክ | 95 | 120 | 23 |
| የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት | 10-6.1/°ሴ | 5 | 4 | 4.7 |
| የተወሰነ ሙቀት | ጁል/ግ 0k | 0.8 | 0.67 | / |
| በአየር ውስጥ ከፍተኛው የሙቀት መጠን | ℃ | 1200 | 1500 | 1600 |
| ኤላስቲክ ሞዱለስ | ጂፒኤ | 360 | 410 | 240 |
የሲሲ ሴራሚክ ሳህን ጥያቄ እና መልስ
ጥ: የሲሊኮን ካርቦይድ ሳህን ባህሪያት ምንድን ናቸው?
አ፡ የሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) ሳህኖች በከፍተኛ ጥንካሬያቸው፣ በጥንካሬያቸው እና በሙቀት መረጋጋት ይታወቃሉ። እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ እና ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋትን ይሰጣሉ፣ ይህም በከፍተኛ የሙቀት መጠን አስተማማኝ አፈፃፀምን ያረጋግጣል። SiC በኬሚካል የማይንቀሳቀስ፣ ለአሲድ፣ ለአልካላይስ እና ለፕላዝማ አካባቢዎች የሚቋቋም ሲሆን ለሴሚኮንዳክተር እና ለኤልኢዲ ማቀነባበሪያ ተስማሚ ያደርገዋል። ጥቅጥቅ ያለ እና ለስላሳው ገጽታ ቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሳል፣ የንፁህ ክፍል ተኳሃኝነትን ይጠብቃል። የሲሲ ሳህኖች በሴሚኮንዳክተር፣ በፎቶቮልታይክ እና በአየር መጓጓዣ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ በከፍተኛ ሙቀት እና ዝገት አካባቢዎች ውስጥ እንደ ዋፈር ተሸካሚዎች፣ ተንሳፋፊዎች እና የድጋፍ ክፍሎች በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ።
