ሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ቻክ ለሲሲ ሰንፔር Si GAAs ዋፈር

የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ቻክ ለሲሲ ሰንፔር Si GAAs Wafer ተለይቶ የቀረበ ምስል

አጭር መግለጫ፡

የሲሊኮን ካርባይድ ሴራሚክ ቻክ ለሴሚኮንዳክተር ፍተሻ፣ ለዋፈር ማምረቻ እና ለማያያዝ አፕሊኬሽኖች የተነደፈ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው መድረክ ነው። በተራቀቁ የሴራሚክ ቁሶች የተገነባ - ሲንተርድ ሲሲ (SSiC)፣ ሪአክሽን-ቦንድድ ሲሲ (RSiC)፣ ሲሊኮን ናይትሬድ እና አልሙኒየም ናይትሬድን ጨምሮ - ከፍተኛ ጥንካሬ፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት፣ እጅግ በጣም ጥሩ የመልበስ መቋቋም እና ረጅም የአገልግሎት ዘመን ይሰጣል።

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

ዝርዝር ዲያግራም

የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሴራሚክ ቻክ አጠቃላይ እይታ

የሲሊከን ካርቦይድ ሴራሚክ ቻክለሴሚኮንዳክተር ፍተሻ፣ ለዋፈር ማምረቻ እና ለማያያዝ አፕሊኬሽኖች የተነደፈ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው መድረክ ነው። በላቁ የሴራሚክ ቁሳቁሶች የተገነባ - ጨምሮሲንተሬድ ሲሲ (SSiC), ምላሽ-የተያያዘ SiC (RSiC), ሲሊከን ናይትሬድእናአሉሚኒየም ናይትሬድ- ያቀርባልከፍተኛ ጥንካሬ፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት፣ እጅግ በጣም ጥሩ የመልበስ መቋቋም እና ረጅም የአገልግሎት ዘመን.

በትክክለኛ ምህንድስና እና በዘመናዊ ፖሊሽ አማካኝነት ቹክ ያቀርባልንዑስ ማይክሮን ጠፍጣፋነት፣ የመስታወት ጥራት ያላቸው ቦታዎች እና የረጅም ጊዜ ልኬት መረጋጋትይህም ለወሳኝ ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ተስማሚ መፍትሄ ያደርገዋል።

ቁልፍ ጥቅሞች

ከፍተኛ ትክክለኛነት
ጠፍጣፋነት በ ውስጥ ቁጥጥር የሚደረግበት0.3–0.5 μmየዋፈር መረጋጋትን እና ወጥ የሆነ የሂደት ትክክለኛነትን ማረጋገጥ።
የመስታወት ፖሊሽንግ
ስኬቶችራ 0.02 μmየወለል ሸካራነት፣ የዋፈር ጭረቶችን እና ብክለትን መቀነስ - ለእጅግ በጣም ንፁህ አካባቢዎች ተስማሚ።
እጅግ በጣም ቀላል ክብደት
ከኳርትዝ ወይም ከብረት ንጣፎች የበለጠ ጠንካራ ግን ቀላል፣ የእንቅስቃሴ ቁጥጥርን፣ ምላሽ ሰጪነትን እና የአቀማመጥ ትክክለኛነትን ያሻሽላል።
ከፍተኛ ግትርነት
ልዩ የሆነው የያንግ ሞዱለስ በከባድ ጭነቶች እና በከፍተኛ ፍጥነት በሚሠራበት ጊዜ የመጠን መረጋጋትን ያረጋግጣል።
ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት
CTE ከሲሊኮን ዋፈር ጋር በቅርበት ይጣጣማል፣ የሙቀት ጭንቀትን ይቀንሳል እና የሂደቱን አስተማማኝነት ያሻሽላል።
እጅግ በጣም ጥሩ የአለባበስ መቋቋም
ከፍተኛ ጥንካሬ ለረጅም ጊዜ እና ከፍተኛ ድግግሞሽ ጥቅም ላይ በሚውልበት ጊዜም ቢሆን ጠፍጣፋነትን እና ትክክለኛነትን ይጠብቃል።

የማምረቻ ሂደት

ጥሬ እቃ ዝግጅት
ከፍተኛ ንፁህ የሲሲ ዱቄቶች ቁጥጥር የሚደረግበት የቅንጣት መጠን እና እጅግ በጣም ዝቅተኛ ቆሻሻዎች።
ፎርሚንግ እና ሲንተሪንግ
ቴክኒኮች እንደግፊት የሌለው ሲንቴሪንግ (SSiC) or የግብረመልስ ትስስር (RSiC)ጥቅጥቅ ያሉ እና ወጥ የሆኑ የሴራሚክ ንጣፎችን ያመርቱ።
የትክክለኛነት ማሽነሪ
የሲኤንሲ መፍጨት፣ የሌዘር መከርከም እና እጅግ በጣም ትክክለኛ የሆነ ማሽነሪ ±0.01 ሚሜ መቻቻል እና ≤3 μm ትይዩነት ያስገኛሉ።
የገጽታ ህክምና
ባለብዙ ደረጃ መፍጨት እና ማጥራት እስከ 0.02 μm፤ ለዝገት መቋቋም ወይም ለተበጁ የግጭት ባህሪያት አማራጭ ሽፋኖች ይገኛሉ።
የምርመራ እና የጥራት ቁጥጥር
የኢንተርፌሮሜትሮች እና የሻካራነት ሞካሪዎች ከሴሚኮንዳክተር ደረጃ መስፈርቶች ጋር መጣጣማቸውን ያረጋግጣሉ።

ቴክኒካዊ ዝርዝሮች

መለኪያ	እሴት	ዩኒት
ጠፍጣፋነት	≤0.5	μሜ
የዋፈር መጠኖች	6''፣ 8''፣ 12'' (ብጁ ይገኛል)	—
የወለል አይነት	የፒን አይነት / የቀለበት አይነት	—
የፒን ቁመት	0.05–0.2	mm
ዝቅተኛው የፒን ዲያሜትር	ϕ0.2	mm
ዝቅተኛ የፒን ክፍተት	3	mm
ዝቅተኛው የማኅተም ቀለበት ስፋት	0.7	mm
የወለል ሸካራነት	ራ 0.02	μሜ
የውፍረት መቻቻል	±0.01	mm
ዲያሜትር መቻቻል	±0.01	mm
የትይዩነት መቻቻል	≤3	μሜ

ዋና ዋና አፕሊኬሽኖች

የሴሚኮንዳክተር ስፌር የፍተሻ መሳሪያዎች
የዋፈር ማምረቻ እና የዝውውር ስርዓቶች
የዋፈር ትስስር እና የማሸጊያ መሳሪያዎች
የላቀ የኦፕቶኤሌክትሮኒክስ መሳሪያ ማምረቻ
እጅግ በጣም ጠፍጣፋ፣ እጅግ በጣም ንጹህ ቦታዎችን የሚጠይቁ ትክክለኛ መሣሪያዎች

ጥያቄ እና መልስ – ሲሊከን ካርቦይድ ሴራሚክ ቻክ

ጥ 1፡ የሲሲ ሴራሚክ ቹኮች ከኳርትዝ ወይም ከብረት ቹኮች ጋር እንዴት ይወዳደራሉ?
A1: የሲሲ ቹኮች ቀለል ያሉ፣ የበለጠ ጠንካራ እና ከሲሊኮን ዋፈር ጋር ቅርብ የሆነ CTE አላቸው፣ ይህም የሙቀት መበላሸትን ይቀንሳል። እንዲሁም የላቀ የመልበስ መቋቋም እና ረጅም የህይወት ዘመን ይሰጣሉ።

ጥ 2፡ ምን አይነት ጠፍጣፋነት ሊሳካ ይችላል?
A2፡ በውስጡ ቁጥጥር የሚደረግበት0.3–0.5 μmየሴሚኮንዳክተር ምርት ጥብቅ ፍላጎቶችን ማሟላት።

ጥ 3፡ ወለሉ ዌፈርን ይቧጭራል?
A3: አይ—በመስታወት የተወለወለራ 0.02 μm, ጭረት የሌለበት አያያዝን እና የቅንጣት ማመንጨትን መቀነስን ያረጋግጣል።

Q4: ምን አይነት የዋፈር መጠኖች ይደገፋሉ?
A4፡ መደበኛ መጠኖች6''፣ 8''፣ እና 12'', ማበጀት ይቻላል።

ጥያቄ 5፡ የሙቀት መቋቋም እንዴት ነው?
A5: የሲሲ ሴራሚክስ በሙቀት ዑደት ወቅት አነስተኛ መበላሸት ያለው እጅግ በጣም ጥሩ ከፍተኛ የሙቀት መጠን አፈፃፀም ይሰጣል።

ስለ እኛ

XKH በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ልማት፣ ምርት እና ልዩ የኦፕቲካል መስታወት እና አዳዲስ ክሪስታል ቁሳቁሶችን ሽያጭ ላይ ያተኩራል። ምርቶቻችን የኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ፣ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ እና ወታደራዊ አገልግሎት ይሰጣሉ። የሳፋየር ኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የሞባይል ስልክ ሌንስ ሽፋኖችን፣ ሴራሚክስን፣ ኤልቲ፣ ሲሊከን ካርባይድ ሲአይሲ፣ ኳርትዝ እና ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል ዋፈርስን እናቀርባለን። በሙያዊ እውቀት እና ዘመናዊ መሳሪያዎች፣ መደበኛ ባልሆነ የምርት ማቀነባበሪያ ውስጥ የላቀ ችሎታ አለን፣ እናም ግንባር ቀደም የኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቁሶች ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ድርጅት ለመሆን እንጥራለን።