12 ኢንች SIC substrate ሲሊኮን ካርቦይድ ፕራይም ግሬድ ዲያሜትር 300 ሚሜ ትልቅ መጠን 4H-N ለከፍተኛ ኃይል መሳሪያ የሙቀት ስርጭት ተስማሚ

አጭር መግለጫ፡

የ12 ኢንች የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ (SiC ንጣፍ) ከአንድ ክሪስታል የሲሊኮን ካርቦይድ ክሪስታል የተሰራ ትልቅ መጠን ያለው፣ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ ንጣፍ ነው። የሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) እጅግ በጣም ጥሩ የኤሌክትሪክ፣ የሙቀት እና የሜካኒካል ባህሪያት ያሉት ሰፊ ባንድ ክፍተት ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ ሲሆን በከፍተኛ ኃይል፣ በከፍተኛ ድግግሞሽ እና በከፍተኛ የሙቀት አካባቢዎች ውስጥ የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎችን ለማምረት በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። የ12 ኢንች (300 ሚሜ) ንጣፍ የሲሊኮን ካርቦይድ ቴክኖሎጂ የአሁኑ የላቀ ዝርዝር መግለጫ ሲሆን የምርት ቅልጥፍናን በእጅጉ ሊያሻሽል እና ወጪዎችን ሊቀንስ ይችላል።

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

የምርት ባህሪያት

1. ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ፡- የሲሊኮን ካርቦይድ የሙቀት ማስተላለፊያ ከሲሊኮን 3 እጥፍ በላይ ሲሆን ይህም ለከፍተኛ ኃይል መሳሪያ የሙቀት ማስተላለፊያ ተስማሚ ነው።

2. ከፍተኛ የመበላሸት መስክ ጥንካሬ፡ የመበላሸት መስክ ጥንካሬ ከሲሊኮን 10 እጥፍ የሚበልጥ ሲሆን ለከፍተኛ ግፊት አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ነው።

3. ሰፊ የባንድ ክፍተት፡ የባንድ ክፍተት 3.26eV (4H-SiC) ሲሆን ለከፍተኛ ሙቀት እና ለከፍተኛ ድግግሞሽ አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ነው።

4. ከፍተኛ ጥንካሬ፡ የሞህስ ጥንካሬ 9.2 ሲሆን ከአልማዝ ቀጥሎ ሁለተኛ ነው፣ እጅግ በጣም ጥሩ የመልበስ መቋቋም እና የሜካኒካል ጥንካሬ።

5. የኬሚካል መረጋጋት፡- ጠንካራ የዝገት መቋቋም፣ በከፍተኛ ሙቀት እና አስቸጋሪ አካባቢ የተረጋጋ አፈፃፀም።

6. ትልቅ መጠን፡ 12 ኢንች (300ሚሜ) ንጣፍ፣ የምርት ቅልጥፍናን ያሻሽላል፣ የክፍል ወጪን ይቀንሳል።

7. ዝቅተኛ የጉድለት ጥግግት፡- ዝቅተኛ የጉድለት ጥግግት እና ከፍተኛ ወጥነት ያለው መሆኑን ለማረጋገጥ ከፍተኛ ጥራት ያለው ነጠላ ክሪስታል እድገት ቴክኖሎጂ።

የምርት ዋና የአጠቃቀም አቅጣጫ

1. የኃይል ኤሌክትሮኒክስ፡

ሞስፌትስ፡ በኤሌክትሪክ ተሽከርካሪዎች፣ በኢንዱስትሪ ሞተር ድራይቮች እና በሃይል መቀየሪያዎች ላይ ጥቅም ላይ ይውላል።

ዳዮዶች፡- እንደ ሾትኪ ዳዮዶች (SBD) ያሉ፣ ለኃይል አቅርቦቶች ቀልጣፋ ማስተካከያ እና መቀያየር የሚያገለግሉ።

2. የ Rf መሳሪያዎች፡

የRf የኃይል ማጉያ፡ በ5ጂ የመገናኛ መሰረታዊ ጣቢያዎች እና በሳተላይት ግንኙነቶች ውስጥ ጥቅም ላይ የዋለ።

የማይክሮዌቭ መሳሪያዎች፡ ለራዳር እና ለገመድ አልባ የመገናኛ ስርዓቶች ተስማሚ።

3. አዳዲስ የኃይል ተሽከርካሪዎች፡

የኤሌክትሪክ ድራይቭ ሲስተሞች፡ ለኤሌክትሪክ ተሽከርካሪዎች የሞተር መቆጣጠሪያዎች እና ኢንቨርተሮች።

የኃይል መሙያ ክምር፡ ለፈጣን የኃይል መሙያ መሳሪያዎች የኃይል ሞዱል።

4. የኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች፡

ከፍተኛ የቮልቴጅ ኢንቨርተር፡ ለኢንዱስትሪ ሞተር ቁጥጥር እና ለኢነርጂ አስተዳደር።

ስማርት ፍርግርግ፡ ለHVDC ማስተላለፊያ እና የኃይል ኤሌክትሮኒክስ ትራንስፎርመሮች።

5. ኤሮስፔስ፡

ከፍተኛ የሙቀት መጠን ኤሌክትሮኒክስ፡ ለከፍተኛ የሙቀት መጠን ላላቸው የአየር ማቀፊያ መሳሪያዎች ተስማሚ።

6. የምርምር መስክ፡

ሰፊ የባንድ ክፍተት ሴሚኮንዳክተር ምርምር፡ ለአዳዲስ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶች እና መሳሪያዎች ልማት።

የ12 ኢንች ሲሊከን ካርቦይድ ንጣፍ እንደ ከፍተኛ የሙቀት አማቂ ኃይል፣ ከፍተኛ የመበላሸት መስክ ጥንካሬ እና ሰፊ የባንድ ክፍተት ያሉ እጅግ በጣም ጥሩ ባህሪያት ያሉት ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ ንጣፍ አይነት ነው። በሃይል ኤሌክትሮኒክስ፣ በሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ መሳሪያዎች፣ በአዳዲስ የኢነርጂ ተሽከርካሪዎች፣ በኢንዱስትሪ ቁጥጥር እና በኤሮስፔስ በስፋት ጥቅም ላይ የሚውል ሲሆን የሚቀጥለውን ትውልድ ቀልጣፋ እና ከፍተኛ ኃይል ያላቸው የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎችን እድገት ለማሳደግ ቁልፍ ቁሳቁስ ነው።

የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፎች በአሁኑ ጊዜ እንደ AR መነጽር ባሉ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ ውስጥ አነስተኛ ቀጥተኛ አፕሊኬሽኖች ቢኖሯቸውም፣ በብቃት የኃይል አስተዳደር እና በትንሽ መጠን ባላቸው ኤሌክትሮኒክስ ውስጥ ያላቸው አቅም ለወደፊት የ AR/VR መሳሪያዎች ቀላል ክብደት ያላቸውን እና ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን የኃይል አቅርቦት መፍትሄዎችን ሊደግፍ ይችላል። በአሁኑ ጊዜ የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፎች ዋና ልማት እንደ አዳዲስ የኃይል ተሽከርካሪዎች፣ የመገናኛ መሠረተ ልማት እና የኢንዱስትሪ አውቶሜሽን ባሉ የኢንዱስትሪ መስኮች ላይ ያተኮረ ሲሆን የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪው ይበልጥ ቀልጣፋ እና አስተማማኝ በሆነ አቅጣጫ እንዲዳብር ያበረታታል።

XKH ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን 12 "SIC substratesን ከአጠቃላይ የቴክኒክ ድጋፍ እና አገልግሎቶች ጋር ለማቅረብ ቁርጠኛ ነው፣ ከእነዚህም ውስጥ፡

1. ብጁ ምርት፡- እንደ ደንበኛው ፍላጎት መሰረት የተለያዩ የመቋቋም አቅም፣ የክሪስታል አቀማመጥ እና የገጽታ ህክምና ንጣፍ ማቅረብ።

2. የሂደት ማመቻቸት፡- ለደንበኞች የምርት አፈጻጸምን ለማሻሻል የኤፒታክሲያል እድገት፣ የመሳሪያ ማምረቻ እና ሌሎች ሂደቶችን የቴክኒክ ድጋፍ መስጠት።

3. ምርመራ እና ማረጋገጫ፡- ንጣፉ የኢንዱስትሪ ደረጃዎችን የሚያሟላ መሆኑን ለማረጋገጥ ጥብቅ የጉድለት መለየት እና የጥራት ማረጋገጫ መስጠት።

4. የምርምር እና የልማት ትብብር፡- የቴክኖሎጂ ፈጠራን ለማስተዋወቅ አዳዲስ የሲሊኮን ካርቦይድ መሳሪያዎችን ከደንበኞች ጋር በጋራ ማዘጋጀት።

የውሂብ ገበታ

1 2 ኢንች ሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ) ንኡስ ስፔክሽኔሽን
ደረጃ		የዜሮኤምፒዲ ፕሮዳክሽን ክፍል (Z ክፍል)	መደበኛ ምርት ክፍል (ፒ)		የውሸት ደረጃ (ዲ ግሬድ)
ዲያሜትር		30 0 ሚሜ ~ 305 ሚሜ
ውፍረት	4H-N	750μm±15 μm	750μm±25 μm
	4H-SI	750μm±15 μm	750μm±25 μm
የዋፈር አቀማመጥ		ከዘንግ ውጪ፡ ለ4H-N ወደ <1120 >±0.5° 4.0°፣ በዘንግ ላይ፡ ለ4H-SI <0001>±0.5°
የማይክሮፓይፕ ጥግግት	4H-N	≤0.4ሴሜ-2	≤4ሴሜ-2		≤25ሴሜ-2
	4H-SI	≤5ሴሜ-2	≤10ሴሜ-2		≤25ሴሜ-2
የመቋቋም ችሎታ	4H-N	0.015~0.024 Ω·ሴሜ			0.015~0.028 Ω·ሴሜ
	4H-SI	≥1E10 Ω·ሴሜ			≥1E5 Ω·ሴሜ
ዋና ጠፍጣፋ አቀማመጥ		{10-10} ±5.0°
ዋና ጠፍጣፋ ርዝመት	4H-N	የለም
	4H-SI	ኖች
የጠርዝ ማግለል		3 ሚሜ
ኤልቲቪ/ቲቲቪ/ቦው/ዋርፕ		≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 ማይክሮን			≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm
ሸካራነት		የፖላንድኛ ራ≤1 nm
		ሲኤምፒ ራ≤0.2 nm			ራ≤0.5 nm
በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን የጠርዝ ስንጥቆች በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን የሄክስ ሳህኖች በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን ፖሊታይፕ አካባቢዎች የእይታ ካርቦን ማካተት የሲሊኮን ወለል ጭረቶች በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን		ምንም የተጠራቀመ ቦታ ≤0.05% ምንም የተጠራቀመ ቦታ ≤0.05% ምንም			የተጠራቀመ ርዝመት ≤ 20 ሚሜ፣ ነጠላ ርዝመት ≤ 2 ሚሜ የተጠራቀመ ቦታ ≤0.1% የተጠራቀመ ቦታ≤3% የተጠራቀመ ቦታ ≤3% የተጠራቀመ ርዝመት ≤1 × የዋፈር ዲያሜትር
በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን የኤጅ ቺፕስ		≥0.2ሚሜ ስፋት እና ጥልቀት አይፈቀድም			7 ተፈቅዷል፣ ≤1 ሚሜ እያንዳንዱ
(TSD) የክር ዊንጣ መቆራረጥ		≤500 ሴሜ-2		የለም
(BPD) የመሠረት ፕላን መሰናክል		≤1000 ሴሜ-2		የለም
የሲሊኮን ወለል ብክለት በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን		ምንም
ማሸጊያ		ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ወይም ነጠላ ዋፈር ኮንቴይነር
ማስታወሻዎች፡
1 የጠርዝ ማግለያ ቦታ ካልሆነ በስተቀር የጉድለቶች ገደቦች በሙሉ የዋፈር ወለል ላይ ተፈጻሚ ይሆናሉ። 2. ጭረቶች በSi ፊት ላይ ብቻ መታየት አለባቸው። 3 የመፈናቀሉ መረጃ ከ KOH የተቀረጹ ዋፈርዎች ብቻ ነው።

XKH በትላልቅ መጠን፣ ዝቅተኛ ጉድለቶች እና ከፍተኛ ወጥነት ባላቸው የ12 ኢንች ሲሊከን ካርቦይድ ንጣፎች ላይ ያለውን ግኝት ለማሳደግ በምርምር እና በልማት ላይ ኢንቨስት ማድረጉን ይቀጥላል፣ XKH ደግሞ እንደ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ (እንደ የኤአር/ቪአር መሳሪያዎች የኃይል ሞጁሎች) እና የኳንተም ኮምፒውቲንግ ባሉ አዳዲስ አካባቢዎች አፕሊኬሽኖቹን ይዳስሳል። ወጪዎችን በመቀነስ እና አቅምን በመጨመር XKH ለሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ብልጽግናን ያመጣል።