6 ኢንች 4H ከፊል አይነት SiC የተዋሃደ ንጣፍ ውፍረት 500μm TTV≤5μm MOS ደረጃ

6 ኢንች 4H ሴሚ አይነት SiC የተዋሃደ ንጣፍ ውፍረት 500μm TTV≤5μm MOS ደረጃ ተለይቶ የቀረበ ምስል

አጭር መግለጫ፡

በ5ጂ የመገናኛ እና የራዳር ቴክኖሎጂ ፈጣን እድገት፣ ባለ 6 ኢንች ከፊል-ኢንሱሌሽን SiC ኮምፖዚት ንጣፉ ለከፍተኛ ድግግሞሽ መሳሪያዎች ማምረቻ ዋና ቁሳቁስ ሆኗል። ከባህላዊ የGaAs ንጣፎች ጋር ሲነጻጸር፣ ይህ ንጣፉ ከፍተኛ የመቋቋም ችሎታ (>10⁸ Ω·ሴሜ) ይይዛል፣ የሙቀት ማስተላለፊያን ከ5 እጥፍ በላይ ያሻሽላል፣ ይህም በሚሊሜትር ሞገድ መሳሪያዎች ውስጥ የሙቀት ስርጭት ችግሮችን ውጤታማ በሆነ መንገድ ይፈታዋል። እንደ 5ጂ ስማርትፎኖች እና የሳተላይት የመገናኛ ተርሚናሎች ባሉ የዕለት ተዕለት መሳሪያዎች ውስጥ ያሉት የኃይል ማጉያዎች በዚህ ንጣፉ ላይ የተገነቡ ሊሆኑ ይችላሉ። የባለቤትነት መብታችንን በመጠቀም፣ የማይክሮፓይፕ ጥግግት ከ0.5/ሴሜ² በታች ቀንሷል እና እጅግ በጣም ዝቅተኛ የማይክሮዌቭ ኪሳራ 0.05 dB/mm አሳክተናል።

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

ቴክኒካዊ መለኪያዎች

እቃዎች	ዝርዝር መግለጫ	እቃዎች	ዝርዝር መግለጫ
ዲያሜትር	150±0.2 ሚሜ	የፊት (Si-face) ሸካራነት	ራ≤0.2 nm (5μm×5μm)
ፖሊታይፕ	4H	የኤጅ ቺፕ፣ ጭረት፣ ስንጥቅ (የእይታ ምርመራ)	ምንም
የመቋቋም ችሎታ	≥1E8 Ω·ሴሜ	ቲቲቪ	≤5 μm
የንብርብር ትራንስፈር ውፍረት	≥0.4 μm	ዋርፕ	≤35 μm
ባዶነት (2ሚሜ>ዲ>0.5ሚሜ)	≤5 ኤ/ዋፈር	ውፍረት	500±25 μm

ቁልፍ ባህሪያት

1. እጅግ በጣም ከፍተኛ ድግግሞሽ አፈፃፀም
የ6 ኢንች ከፊል-ኢንሱሌሽን SiC ኮምፖዚት ንጣፉ ደረጃውን የጠበቀ የዲኤሌክትሪክ ንብርብር ዲዛይን ይጠቀማል፣ ይህም በካ-ባንድ (26.5-40 GHz) ውስጥ <2% የሆነ የዲኤሌክትሪክ ቋሚ ልዩነትን ያረጋግጣል እና የደረጃ ወጥነትን በ40% ያሻሽላል። ይህንን ንጣፉ በመጠቀም በT/R ሞጁሎች ውስጥ 15% ቅልጥፍናን እና 20% ያነሰ የኃይል ፍጆታን ይጨምራል።

2. የብልጽግና የሙቀት አስተዳደር
ልዩ የሆነ "የሙቀት ድልድይ" የተዋሃደ መዋቅር 400 W/m·K የጎን የሙቀት አማቂነት እንዲኖር ያስችላል። በ28 GHz 5G የመሠረት ጣቢያ PA ሞጁሎች ውስጥ፣ የመገጣጠሚያው የሙቀት መጠን ለ24 ሰዓታት ያለማቋረጥ ከተደረገ በኋላ በ28°ሴ ብቻ ይጨምራል - ከባህላዊ መፍትሄዎች በ50°ሴ ያነሰ።

3. ሱፐር ዋፈር ጥራት
በተመቻቸ የፊዚካል ትነት ትራንስፖርት (PVT) ዘዴ፣ ከ500/ሴሜ² በታች ያለውን የመናድ ጥግግት እና ከ3 μm በታች የሆነውን አጠቃላይ ውፍረት ልዩነት (TTV) እናገኛለን።
4. ለማምረቻ ተስማሚ የሆነ ሂደት
ለ6 ኢንች ከፊል-ኢንሱሌሽን ሲሲ ኮምፖዚት ንጣፎች የተዘጋጀው የሌዘር ማጥለያ ሂደታችን ከኤፒታክሲ በፊት የገጽታ ሁኔታን ጥግግት በሁለት ቅደም ተከተሎች ይቀንሳል።

ዋና ዋና አፕሊኬሽኖች

1. የ5ጂ መሰረታዊ ጣቢያ ዋና ክፍሎች
በMassive MIMO አንቴናዎች ድርድሮች ውስጥ፣ በ6-ኢንች ከፊል-ኢንሱሌሽን SiC ኮምፖዚት ንጣፎች ላይ ያሉ የGaN HEMT መሳሪያዎች 200 ዋት የውጤት ኃይል እና ከ65% በላይ ቅልጥፍናን ያገኛሉ። በ3.5 GHz ላይ የተደረጉ የመስክ ሙከራዎች የሽፋን ራዲየስ 30% ጭማሪ አሳይተዋል።

2. የሳተላይት ኮሙኒኬሽን ሲስተሞች
ይህንን ንኡስ ንኡስ ንኡስ ምህዋር (LEO) የሚጠቀሙ የሳተላይት አስተላላፊዎች በQ-ባንድ (40 GHz) ውስጥ ከ8 dB በላይ EIRP ያሳያሉ፣ ክብደትን በ40% ይቀንሳሉ። የSpaceX Starlink ተርሚናሎች ለጅምላ ምርት ተቀብለውታል።

3. የወታደራዊ ራዳር ስርዓቶች
በዚህ ንኡስ ክፍል ላይ ያሉ የደረጃ-ደረጃ አደራደር ራዳር T/R ሞጁሎች ከ6-18 GHz የመተላለፊያ ይዘት እና እስከ 1.2 dB ዝቅተኛ የድምፅ መጠን ያመጣሉ፣ በቅድመ ማስጠንቀቂያ ራዳር ስርዓቶች ውስጥ የመለየት ክልሉን በ50 ኪ.ሜ ያራዝማል።

4. አውቶሞቲቭ ሚሊሜትር-ሞገድ ራዳር
ይህንን ንኡስ ክፍል የሚጠቀሙ 79 ጊኸ አውቶሞቲቭ ራዳር ቺፖች የማዕዘን ጥራትን ወደ 0.5° ያሻሽላሉ፣ ይህም የL4 ራስን በራስ የማንቀሳቀስ መስፈርቶችን ያሟላል።

ለ6 ኢንች ከፊል-ኢንሱሌሽን ሲሲ ኮምፖዚት ንጣፎች ሁሉን አቀፍ ብጁ የአገልግሎት መፍትሄ እናቀርባለን። የቁሳቁስ መለኪያዎችን በማበጀት ረገድ፣ በ10⁶-10¹⁰ Ω·ሴሜ ክልል ውስጥ ትክክለኛ የተቃውሞ መቆጣጠሪያን እንደግፋለን። በተለይም ለወታደራዊ አፕሊኬሽኖች፣ >10⁹ Ω·ሴሜ የሆነ እጅግ በጣም ከፍተኛ የመቋቋም አማራጭ ማቅረብ እንችላለን። በአንድ ጊዜ 200μm፣ 350μm እና 500μm የሆኑ ሶስት ውፍረት ያላቸውን ዝርዝሮች ያቀርባል፣ መቻቻል በጥብቅ በ±10μm ውስጥ ቁጥጥር ይደረግበታል፣ ከከፍተኛ ድግግሞሽ መሳሪያዎች እስከ ከፍተኛ ኃይል አፕሊኬሽኖች የተለያዩ መስፈርቶችን ያሟላል።

የገጽታ ህክምና ሂደቶችን በተመለከተ፣ ሁለት ሙያዊ መፍትሄዎችን እናቀርባለን፡ ኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ (CMP) በRa<0.15nm አማካኝነት የአቶሚክ ደረጃ ወለል ጠፍጣፋነትን ማሳካት ይችላል፣ ይህም በጣም የሚፈለጉትን የኤፒታክሲያል እድገት መስፈርቶችን ያሟላል፤ ለፈጣን የምርት ፍላጎቶች የኤፒታክሲያል ዝግጁ የወለል ህክምና ቴክኖሎጂ እጅግ በጣም ለስላሳ የሆኑ ቦታዎችን በSq<0.3nm እና በ1nm የተረፈ ኦክሳይድ ውፍረት ሊያቀርብ ይችላል፣ ይህም በደንበኛው መጨረሻ ላይ የቅድመ-ህክምና ሂደቱን በእጅጉ ያቃልላል።

XKH ለ6 ኢንች ከፊል-ኢንሱሌሽን SiC ውህድ ንጣፎች ሁሉን አቀፍ ብጁ መፍትሄዎችን ይሰጣል

1. የቁሳቁስ መለኪያ ማበጀት
በ10⁶-10¹⁰ Ω·ሴንቲ ሜትር ክልል ውስጥ ትክክለኛ የሆነ የተቃውሞ ማስተካከያ እናቀርባለን፣ ለወታደራዊ/ለአየር ስፔስ አፕሊኬሽኖች ከ10⁹ Ω·ሴንቲ ሜትር በላይ የሆኑ ልዩ የሆኑ እጅግ በጣም ከፍተኛ የተቃውሞ አማራጮችም አሉ።

2. የውፍረት ዝርዝር መግለጫዎች
ሶስት ደረጃውን የጠበቀ የውፍረት አማራጮች፡

· 200μm (ለከፍተኛ ድግግሞሽ መሣሪያዎች የተመቻቸ)

· 350μm (መደበኛ ዝርዝር መግለጫ)

· 500μm (ለከፍተኛ ኃይል አፕሊኬሽኖች የተነደፈ)
· ሁሉም ልዩነቶች ±10μm የሆነ ጥብቅ ውፍረት ያላቸውን መቻቻል ይይዛሉ።

3. የገጽታ ህክምና ቴክኖሎጂዎች

ኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ (ሲኤምፒ)፡- በRa<0.15nm አማካኝነት የአቶሚክ ደረጃ ወለል ጠፍጣፋነትን ያሳካል፣ ለRF እና ለኃይል መሳሪያዎች ጥብቅ የሆነ የኤፒታክሲያል እድገት መስፈርቶችን ያሟላል።

4. ኤፒ-ሬዲ የሱፍ ማቀነባበሪያ

· እጅግ በጣም ለስላሳ የሆኑ ቦታዎችን በስኩዌር<0.3nm ሸካራነት ያቀርባል

· የኦክሳይድ ውፍረትን እስከ <1nm ድረስ ይቆጣጠራል

· በደንበኛ ተቋማት እስከ 3 የቅድመ-ሂደት ደረጃዎችን ያስወግዳል