6 ኢንች 4H ሴሚአይ ዓይነት የሲሲ ጥንቅር ንጣፍ ውፍረት 500μm TTV≤5μm MOS ደረጃ

አጭር መግለጫ፡-

በ5ጂ ኮሙኒኬሽን እና ራዳር ቴክኖሎጂ ፈጣን እድገት ባለ 6 ኢንች ከፊል-ኢንሱላር የሲሲሲ ኮምፕሳይት ንጣፍ ለከፍተኛ ድግግሞሽ መሳሪያ ማምረቻ ዋና ቁሳቁስ ሆኗል። ከተለምዷዊ የGaAs ንኡስ ንጣፎች ጋር ሲነፃፀር፣ ይህ ንጥረ ነገር ከፍተኛ የመቋቋም ችሎታን ይይዛል (>10⁸ Ω · ሴሜ) የሙቀት መቆጣጠሪያን ከ 5x በላይ በማሻሻል በሚሊሚተር ሞገድ መሳሪያዎች ውስጥ ያሉ የሙቀት መበታተን ተግዳሮቶችን በብቃት ይፈታል። እንደ 5ጂ ስማርት ፎኖች እና የሳተላይት መገናኛ ተርሚናሎች ያሉ የእለት ተእለት መሳሪያዎች ውስጥ ያሉት የሃይል ማጉሊያዎች በዚህ ንኡስ ክፍል ላይ የተገነቡ ሊሆኑ ይችላሉ። የኛን የባለቤትነት የ"buffer Layer doping compensation" ቴክኖሎጂን በመጠቀም፣ የማይክሮ ፓይፕ ትፍገትን ከ0.5/ሴሜ² በታች ዝቅ አድርገን እና እጅግ በጣም ዝቅተኛ የማይክሮዌቭ 0.05 ዲቢቢ/ሚሜ መጥፋት ደርሰናል።


የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

ቴክኒካዊ መለኪያዎች

እቃዎች

ዝርዝር መግለጫ

እቃዎች

ዝርዝር መግለጫ

ዲያሜትር

150 ± 0.2 ሚሜ

የፊት (Si-face) ሻካራነት

ራ≤0.2 nm (5μm×5μm)

ፖሊታይፕ

4H

የጠርዝ ቺፕ፣ ጭረት፣ ክራክ (የእይታ ምርመራ)

ምንም

የመቋቋም ችሎታ

≥1E8 Ω·ሴሜ

ቲቲቪ

≤5 μm

የማስተላለፊያ ንብርብር ውፍረት

≥0.4 ማይክሮን

ዋርፕ

≤35 μm

ባዶ (2 ሚሜ> ዲ> 0.5 ሚሜ)

≤5 ኢ/ዋፈር

ውፍረት

500± 25 μm

ቁልፍ ባህሪያት

1. ልዩ የከፍተኛ ድግግሞሽ አፈጻጸም
ባለ 6-ኢንች ከፊል-መከላከያ የሲሲ ኮምፕሳይት ንጣፍ ደረጃውን የጠበቀ የዲኤሌክትሪክ ንብርብር ንድፍ ይጠቀማል፣ ይህም የዳይኤሌክትሪክ ቋሚ ልዩነት <2% በካ-ባንድ (26.5-40 GHz) እና የደረጃውን ወጥነት በ40% ያሻሽላል። 15% የውጤታማነት መጨመር እና 20% ዝቅተኛ የኃይል ፍጆታ በ T / R ሞጁሎች ይህንን ንኡስ ክፍል በመጠቀም።

2. ግኝት የሙቀት አስተዳደር
ልዩ የሆነ "የሙቀት ድልድይ" የተዋሃደ መዋቅር የ 400 W/m·K የላተራል የሙቀት መጠን እንዲኖር ያስችላል። በ 28 GHz 5G ቤዝ ጣቢያ PA ሞጁሎች ከ24 ሰአታት ተከታታይ ስራ በኋላ የመገናኛው የሙቀት መጠን በ28 ° ሴ ብቻ ይጨምራል - ከተለመዱት መፍትሄዎች 50 ° ሴ ያነሰ።

3. የላቀ Wafer ጥራት
በተመቻቸ የአካላዊ ትነት ትራንስፖርት (PVT) ዘዴ፣ የመፈናቀል ጥግግት <500/cm² እና ጠቅላላ ውፍረት ልዩነት (TTV) <3 μm እናሳካለን።
4. ማምረት-ጓደኛ ማቀነባበሪያ
የእኛ ሌዘር የማጣራት ሂደት በተለይ ለ6-ኢንች ከፊል-ኢንሱላር ሲሲ ኮምፕሳይት ኮምፖዚትድ ንጣፍ የገጽታ ሁኔታን በመጠን በሁለት ቅደም ተከተሎች ይቀንሳል።

ዋና መተግበሪያዎች

1. 5ጂ ቤዝ ጣቢያ ዋና ክፍሎች
በMassive MIMO አንቴና ድርድር ውስጥ፣ የGaN HEMT መሳሪያዎች በ6-ኢንች ከፊል-መከላከያ የሲሲ ኮምፕሳይት ሰርጦች 200W የውጤት ሃይል እና>65% ቅልጥፍናን ያገኛሉ። በ 3.5 GHz ላይ የተደረጉ የመስክ ሙከራዎች የሽፋን ራዲየስ 30% ጭማሪ አሳይተዋል.

2. የሳተላይት ግንኙነት ስርዓቶች
ዝቅተኛ-ምድር ምህዋር (LEO) የሳተላይት ትራንስፎርመሮች ይህንን ንኡስ ክፍል በመጠቀም 8 ዲቢቢ ከፍ ያለ EIRP በQ-band (40 GHz) ሲያሳዩ ክብደቱን በ 40 በመቶ ይቀንሳል. SpaceX Starlink ተርሚናሎች ለጅምላ ምርት ወስደዋል።

3. ወታደራዊ ራዳር ሲስተምስ
ደረጃ-የተደራጁ ራዳር ቲ/አር ሞጁሎች በዚህ ንዑሳን ክፍል ላይ ከ6-18 ጊኸ የመተላለፊያ ይዘት እና የጩኸት ምስል እስከ 1.2 ዲቢቢ ዝቅተኛ ሲሆን ይህም በቅድሚያ ማስጠንቀቂያ ራዳር ሲስተሞች ውስጥ የመለየት ወሰን በ50 ኪ.ሜ.

4. አውቶሞቲቭ ሚሊሜትር-ሞገድ ራዳር
79 GHz አውቶሞቲቭ ራዳር ቺፖችን ይህንን ንዑሳን ክፍል በመጠቀም አንግል ጥራትን ወደ 0.5° ያሻሽላሉ፣ የL4 ራስን በራስ የማሽከርከር መስፈርቶችን ያሟላሉ።

ለ 6-ኢንች ከፊል-ኢንሱላር የሲሲ ድብልቅ ንጣፎች ሁሉን አቀፍ ብጁ አገልግሎት መፍትሄ እናቀርባለን። የቁሳቁስ መለኪያዎችን ከማበጀት አንፃር፣ ከ10⁶-10¹⁰ Ω·ሴሜ ባለው ክልል ውስጥ ትክክለኛ የመቋቋም ቁጥጥርን እንደግፋለን። በተለይ ለወታደራዊ አፕሊኬሽኖች >10⁹ Ω·cm የሆነ እጅግ በጣም ከፍተኛ የመከላከያ አማራጭ ማቅረብ እንችላለን። የ 200μm, 350μm እና 500μm ውፍረት ያላቸውን ሶስት ውፍረት በአንድ ጊዜ ያቀርባል, መቻቻል በ ± 10μm ውስጥ ጥብቅ ቁጥጥር ይደረግበታል, ከከፍተኛ ድግግሞሽ መሳሪያዎች እስከ ከፍተኛ ኃይል አፕሊኬሽኖች የተለያዩ መስፈርቶችን ያሟላል.

የገጽታ ህክምና ሂደቶችን በተመለከተ, ሁለት ሙያዊ መፍትሄዎችን እናቀርባለን: የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ (ሲኤምፒ) የአቶሚክ ደረጃ ወለል ጠፍጣፋ በራ<0.15nm, በጣም የሚፈለጉትን የኤፒታክሲያል እድገት መስፈርቶች ማሟላት ይችላል; ለፈጣን የምርት ፍላጎት የኤፒታክሲያል ዝግጁ የወለል ህክምና ቴክኖሎጂ እጅግ በጣም ለስላሳ የሆኑ ንጣፎችን ስኩዌር<0.3nm እና ቀሪው ኦክሳይድ ውፍረት <1nm ያቀርባል፣ይህም በደንበኛው መጨረሻ ላይ የቅድመ-ህክምና ሂደቱን በእጅጉ ያቃልላል።

XKH ለ 6-ኢንች ከፊል-መከላከያ የሲሲ ድብልቅ ንጣፎች አጠቃላይ ብጁ መፍትሄዎችን ይሰጣል

1. የቁሳቁስ መለኪያ ማበጀት
ከ10⁶-10¹⁰ Ω·ሴሜ ባለው ክልል ውስጥ ትክክለኛ የመቋቋም ችሎታ ማስተካከያ እናቀርባለን፣ ልዩ እጅግ በጣም ከፍተኛ የመቋቋም አማራጮች > 10⁹ Ω·ሴሜ ለውትድርና/ኤሮስፔስ አፕሊኬሽኖች ይገኛሉ።

2. ውፍረት ዝርዝሮች
ሶስት ደረጃውን የጠበቀ ውፍረት አማራጮች፡-

· 200μm (ለከፍተኛ ድግግሞሽ መሣሪያዎች የተመቻቸ)

· 350μm (መደበኛ ዝርዝር)

· 500μm (ለከፍተኛ ኃይል መተግበሪያዎች የተነደፈ)
· ሁሉም ተለዋጮች ± 10μm ጥብቅ ውፍረት መቻቻል ይጠብቃሉ.

3. የገጽታ ሕክምና ቴክኖሎጂዎች

የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ (ሲኤምፒ): የአቶሚክ ደረጃ የገጽታ ጠፍጣፋ በራ<0.15nm ያሳካል፣ ለRF እና ለኃይል መሳሪያዎች ጥብቅ የኤፒታክሲያል እድገት መስፈርቶችን ያሟላል።

4. Epi-Ready Surface Processing

· እጅግ በጣም ለስላሳ ወለሎችን በካሬ<0.3nm ሸካራነት ያቀርባል

· የቤተኛ ኦክሳይድ ውፍረት ወደ <1nm ይቆጣጠራል

· በደንበኛ መገልገያዎች እስከ 3 የቅድመ-ሂደት ሂደቶችን ያስወግዳል

ባለ6-ኢንች ከፊል-ኢንሱላር የሲሲሲ ጥንቅር ንጣፍ 1
6-ኢንች ከፊል-ኢንሱላር የሲሲሲ ጥንቅር ንጣፍ 4

  • ቀዳሚ፡
  • ቀጣይ፡-

  • መልእክትህን እዚህ ጻፍ እና ላኩልን።