6ኢንች SiC Epitaxy wafer N/P አይነት ብጁ መቀበል
የሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ቫፈር የማዘጋጀት ሂደት የኬሚካል ትነት ማጠራቀሚያ (ሲቪዲ) ቴክኖሎጂን በመጠቀም ዘዴ ነው.የሚከተሉት አግባብነት ያላቸው ቴክኒካዊ መርሆዎች እና የዝግጅት ሂደት ደረጃዎች ናቸው.
ቴክኒካዊ መርህ፡-
የኬሚካል የእንፋሎት ክምችት፡- በጋዝ ደረጃ ላይ ያለውን ጥሬ እቃ ጋዝ በመጠቀም፣በተለየ የምላሽ ሁኔታዎች መበስበስ እና በመሬት ላይ ተከማችቶ የሚፈለገውን ቀጭን ፊልም ይፈጥራል።
ጋዝ-ደረጃ ምላሽ: በፒሮሊሲስ ወይም ስንጥቅ ምላሽ, በጋዝ ደረጃ ውስጥ ያሉ የተለያዩ ጥሬ ዕቃዎች ጋዞች በምላሽ ክፍል ውስጥ በኬሚካል ይለወጣሉ.
የዝግጅት ሂደት ደረጃዎች:
የንዑስ ፕላስተር ህክምና፡- የንጥረ-ነገር (epitaxial wafer) ጥራት እና ክሪስታሊንነት ለማረጋገጥ ንጣፉ በንፅህና እና በቅድመ-ህክምና የተጋለጠ ነው።
ምላሽ ክፍል ማረም: የሙቀት, ግፊት እና ምላሽ ክፍል ፍሰት መጠን እና ሌሎች መለኪያዎች መረጋጋት እና ምላሽ ሁኔታዎች ቁጥጥር ለማረጋገጥ.
የጥሬ ዕቃ አቅርቦት፡- የሚፈለጉትን የጋዝ ጥሬ ዕቃዎች ወደ ምላሽ ክፍል ያቅርቡ፣ እንደ አስፈላጊነቱ የፍሰት መጠኑን በመቀላቀል እና በመቆጣጠር።
ምላሽ ሂደት: ምላሽ ክፍል በማሞቅ, gaseous feedstock በክፍሉ ውስጥ ኬሚካላዊ ምላሽ የሚፈለገውን ተቀማጭ ለማምረት, ማለትም ሲሊከን ካርቦይድ ፊልም.
ማቀዝቀዝ እና ማራገፍ: በምላሹ መጨረሻ ላይ, የሙቀት መጠኑ ቀስ በቀስ ወደ ቀዝቃዛ እና በምላሽ ክፍሉ ውስጥ ያሉትን ክምችቶች ለማጠናከር.
ኤፒታክሲያል ዋይፈር ማደንዘዣ እና ድህረ-ማቀነባበር፡ የተቀመጠው ኤፒታክሲያል ዋይፈር ተጠርጎ ከሂደት በኋላ የኤሌክትሪክ እና የእይታ ባህሪያቱን ለማሻሻል።
የሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ቫፈር ዝግጅት ሂደት ልዩ ደረጃዎች እና ሁኔታዎች እንደ ልዩ መሳሪያዎች እና መስፈርቶች ሊለያዩ ይችላሉ.ከላይ ያለው አጠቃላይ የሂደት ፍሰት እና መርህ ብቻ ነው, የተወሰነውን አሠራር እንደ ተጨባጭ ሁኔታ ማስተካከል እና ማመቻቸት ያስፈልጋል.
ዝርዝር ሥዕላዊ መግለጫ
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)