8 ኢንች SiC የምርት ደረጃ ዋፈር 4H-N SiC ንጣፍ
የሚከተለው ሰንጠረዥ የ8 ኢንች SiC ዋፈሮቻችንን ዝርዝር መግለጫዎች ያሳያል፡
| 8 ኢንች N-type SiC DSP ዝርዝሮች | |||||
| ቁጥር | እቃ | ዩኒት | ፕሮዳክሽን | ምርምር | ውሸታም |
| 1: መለኪያዎች | |||||
| 1.1 | ፖሊታይፕ | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | የወለል አቀማመጥ | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: የኤሌክትሪክ መለኪያ | |||||
| 2.1 | ዶፓንት | -- | n-አይነት ናይትሮጅን | n-አይነት ናይትሮጅን | n-አይነት ናይትሮጅን |
| 2.2 | የመቋቋም ችሎታ | ኦህም · ሴሜ | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3:ሜካኒካል መለኪያ | |||||
| 3.1 | ዲያሜትር | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | ውፍረት | μሜ | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | የኖት አቀማመጥ | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | የሾልት ጥልቀት | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | ኤልቲቪ (LTV) | μሜ | ≤5(10ሚሜ*10ሚሜ) | ≤5(10ሚሜ*10ሚሜ) | ≤10(10ሚሜ*10ሚሜ) |
| 3.6 | ቲቲቪ | μሜ | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | ቦው | μሜ | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | ዋርፕ | μሜ | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | ራ≤0.2 | ራ≤0.2 | ራ≤0.2 |
| 4፡ ስቴክቸር | |||||
| 4.1 | የማይክሮፓይፕ ጥግግት | ኢአ/ሴሜ 2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | የብረት ይዘት | አቶሞች/ሴሜ2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | ቲኤስዲ | ኢአ/ሴሜ 2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | ቢፒዲ (BPD) | ኢአ/ሴሜ 2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | ቴድ | ኢአ/ሴሜ 2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. የፊት ጥራት | |||||
| 5.1 | ፊት ለፊት | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | የወለል አጨራረስ | -- | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ |
| 5.3 | ቅንጣት | ኢአ/ዋፈር | ≤100(መጠን≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | ጭረት | ኢአ/ዋፈር | ≤5፣ ጠቅላላ ርዝመት ≤200ሚሜ | NA | NA |
| 5.5 | ጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንስ/ስንጥቆች/እድፍ/ብክለት | -- | ምንም | ምንም | NA |
| 5.6 | የፖሊታይፕ አካባቢዎች | -- | ምንም | አካባቢ ≤10% | አካባቢ ≤30% |
| 5.7 | የፊት ምልክት ማድረጊያ | -- | ምንም | ምንም | ምንም |
| 6፡ የኋላ ጥራት | |||||
| 6.1 | የኋላ አጨራረስ | -- | ሲ-ፊት ኤምፒ | ሲ-ፊት ኤምፒ | ሲ-ፊት ኤምፒ |
| 6.2 | ጭረት | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | የኋላ ጉድለቶች ጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ | -- | ምንም | ምንም | NA |
| 6.4 | የጀርባ ሸካራነት | nm | ራ≤5 | ራ≤5 | ራ≤5 |
| 6.5 | የኋላ ምልክት ማድረጊያ | -- | ኖች | ኖች | ኖች |
| 7:ጠርዝ | |||||
| 7.1 | ጠርዝ | -- | ቻምፈር | ቻምፈር | ቻምፈር |
| 8:ጥቅል | |||||
| 8.1 | ማሸጊያ | -- | ኤፒ-ዝግጁ ከቫክዩም ጋር ማሸጊያ | ኤፒ-ዝግጁ ከቫክዩም ጋር ማሸጊያ | ኤፒ-ዝግጁ ከቫክዩም ጋር ማሸጊያ |
| 8.2 | ማሸጊያ | -- | ባለብዙ-ዋፈር የካሴት ማሸጊያ | ባለብዙ-ዋፈር የካሴት ማሸጊያ | ባለብዙ-ዋፈር የካሴት ማሸጊያ |
ዝርዝር ዲያግራም
ተዛማጅ ምርቶች
መልእክትዎን እዚህ ይፃፉ እና ይላኩልን