8ኢንች ሲሲ የማምረቻ ደረጃ ዋፈር 4H-N SiC substrate

አጭር መግለጫ፡-

ባለ 8-ኢንች የሲሲ ንኡስ ንጣፎች እንደ ሃይል MOSFETs (Metal Oxide Semiconductor Field Effect ትራንዚስተሮች)፣ ሾትኪ ዳዮዶች እና ሌሎች የሃይል ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ባሉ ከፍተኛ ሃይል ባላቸው የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ።


የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

የሚከተለው ሠንጠረዥ የእኛን 8inch SiC wafers ዝርዝር ያሳያል፡

8ኢንች N-አይነት SiC DSP ዝርዝሮች

ቁጥር ንጥል ክፍል ማምረት ምርምር ደሚ
1: መለኪያዎች
1.1 ባለ ብዙ ዓይነት -- 4H 4H 4H
1.2 የገጽታ አቀማመጥ ° <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5
2: የኤሌክትሪክ መለኪያ
2.1 ዶፓንት -- n-አይነት ናይትሮጅን n-አይነት ናይትሮጅን n-አይነት ናይትሮጅን
2.2 የመቋቋም ችሎታ ኦህ · ሴሜ 0.015 ~ 0.025 0.01 ~ 0.03 NA
3: ሜካኒካል መለኪያ
3.1 ዲያሜትር mm 200±0.2 200±0.2 200±0.2
3.2 ውፍረት μm 500± 25 500± 25 500± 25
3.3 የኖት አቅጣጫ ° [1-100] ± 5 [1-100] ± 5 [1-100] ± 5
3.4 የኖት ጥልቀት mm 1 ~ 1.5 1 ~ 1.5 1 ~ 1.5
3.5 LTV μm ≤5(10ሚሜ*10ሚሜ) ≤5(10ሚሜ*10ሚሜ) ≤10(10ሚሜ*10ሚሜ)
3.6 ቲቲቪ μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 ቀስት μm -25-25 -45-45 -65-65
3.8 ዋርፕ μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 ኤኤፍኤም nm ራ≤0.2 ራ≤0.2 ራ≤0.2
4: መዋቅር
4.1 ማይክሮፓይፕ እፍጋት ኢ/ሴሜ 2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 የብረት ይዘት አቶሞች / ሴሜ 2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ኢ/ሴሜ 2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 ቢፒዲ ኢ/ሴሜ 2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 ቴዲ ኢ/ሴሜ 2 ≤7000 ≤10000 NA
5.የፊት ጥራት
5.1 ፊት ለፊት -- Si Si Si
5.2 ላዩን ማጠናቀቅ -- ሲ-ፊት ሲኤምፒ ሲ-ፊት ሲኤምፒ ሲ-ፊት ሲኤምፒ
5.3 ቅንጣት ኢ/ዋፈር ≤100(መጠን≥0.3μm) NA NA
5.4 ጭረት ኢ/ዋፈር ≤5፣ጠቅላላ ርዝመት≤200ሚሜ NA NA
5.5 ጠርዝ
ቺፕስ / ውስጠቶች / ስንጥቆች / እድፍ / ብክለት
-- ምንም ምንም NA
5.6 የፖሊታይፕ ቦታዎች -- ምንም አካባቢ ≤10% አካባቢ ≤30%
5.7 የፊት ምልክት ማድረግ -- ምንም ምንም ምንም
6: የኋላ ጥራት
6.1 የኋላ አጨራረስ -- ሲ-ፊት MP ሲ-ፊት MP ሲ-ፊት MP
6.2 ጭረት mm NA NA NA
6.3 የጀርባ ጉድለቶች ጠርዝ
ቺፕስ/ኢንዲትስ
-- ምንም ምንም NA
6.4 የኋላ ሻካራነት nm ራ≤5 ራ≤5 ራ≤5
6.5 የኋላ ምልክት ማድረግ -- ኖት ኖት ኖት
7: ጠርዝ
7.1 ጠርዝ -- ቻምፈር ቻምፈር ቻምፈር
8: ጥቅል
8.1 ማሸግ -- Epi-ዝግጁ ከቫኩም ጋር
ማሸግ
Epi-ዝግጁ ከቫኩም ጋር
ማሸግ
Epi-ዝግጁ ከቫኩም ጋር
ማሸግ
8.2 ማሸግ -- ባለብዙ-ዋፈር
የካሴት ማሸጊያ
ባለብዙ-ዋፈር
የካሴት ማሸጊያ
ባለብዙ-ዋፈር
የካሴት ማሸጊያ

ዝርዝር ሥዕላዊ መግለጫ

አስድ (1)
አስድ (2)
አስድ (3)

  • ቀዳሚ፡
  • ቀጣይ፡-

  • መልእክትህን እዚህ ጻፍና ላኩልን።