AlN-on-NPSS Wafer፡- ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የአሉሚኒየም ናይትሬድ ንብርብር ለከፍተኛ ሙቀት፣ ለከፍተኛ ኃይል እና ለRF አፕሊኬሽኖች ባልተወለወለ የሳፋየር ንጣፎች ላይ
ባህሪያት
ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የAlN ንብርብርአሉሚኒየም ናይትሬድ (AlN) በ... ይታወቃልከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ(~200 W/m·K)፣ሰፊ ባንድ ክፍተትእናከፍተኛ የብልሽት ቮልቴጅለሚከተሉት ተስማሚ ቁሳቁስ ያደርገዋልከፍተኛ ኃይል ያለው, ከፍተኛ ድግግሞሽእናከፍተኛ የሙቀት መጠንአፕሊኬሽኖች።
ያልተወለወለ የሳፋየር ንጣፍ (NPSS)፦ ያልተወለወለው ሰንፔር አንድ ያቀርባልወጪ ቆጣቢ, በሜካኒካል ጠንካራመሠረት፣ የገጽታ ማጥራት ውስብስብነት ሳይኖር ለኤፒታክሲያል እድገት የተረጋጋ መሠረት መኖሩን ያረጋግጣል። የNPSS እጅግ በጣም ጥሩ የሜካኒካል ባህሪያት ለአስቸጋሪ አካባቢዎች ዘላቂ ያደርጉታል።
ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋትየ AlN-on-NPSS ዋፈር ከፍተኛ የሙቀት መጠን መለዋወጥን መቋቋም የሚችል ሲሆን ይህም ለአጠቃቀም ተስማሚ ያደርገዋልየኃይል ኤሌክትሮኒክስ, የመኪና ስርዓቶች, ኤልኢዲዎችእናየኦፕቲካል አፕሊኬሽኖችበከፍተኛ የሙቀት መጠን ሁኔታዎች ውስጥ የተረጋጋ አፈፃፀም የሚያስፈልጋቸው።
የኤሌክትሪክ መከላከያ: AlN እጅግ በጣም ጥሩ የኤሌክትሪክ መከላከያ ባህሪያት ስላለው፣ ለትግበራዎች ተስማሚ ያደርገዋልየኤሌክትሪክ ማግለልወሳኝ ነው፣ ጨምሮየአርኤፍ መሳሪያዎችእናየማይክሮዌቭ ኤሌክትሮኒክስ.
የላቀ የሙቀት ስርጭት፦ ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ አቅም ስላለው፣ የAlN ንብርብር ውጤታማ የሆነ የሙቀት መበታተን ያረጋግጣል፣ ይህም በከፍተኛ ኃይል እና ድግግሞሽ ስር የሚሰሩ መሳሪያዎችን አፈጻጸም እና ረጅም ጊዜ ለመጠበቅ አስፈላጊ ነው።
የቴክኒክ መለኪያዎች
| መለኪያ | ዝርዝር መግለጫ |
| የዋፈር ዲያሜትር | 2 ኢንች፣ 4 ኢንች (ብጁ መጠኖች ይገኛሉ) |
| የንዑስ ክፍል አይነት | ያልተወለወለ የሳፋየር ንጣፍ (NPSS) |
| የAlN ንብርብር ውፍረት | ከ2µሜ እስከ 10µm (ሊበጅ የሚችል) |
| የንዑስ ወለል ውፍረት | 430µm ± 25µm (ለ2 ኢንች)፣ 500µm ± 25µm (ለ4 ኢንች) |
| የሙቀት ማስተላለፊያ | 200 ዋት/ሜ·ኬ |
| የኤሌክትሪክ መቋቋም ችሎታ | ከፍተኛ መከላከያ፣ ለ RF አፕሊኬሽኖች ተስማሚ |
| የወለል ሻካራነት | ራ ≤ 0.5µm (ለAlN ንብርብር) |
| የቁሳዊ ንፅህና | ከፍተኛ ንፅህና AlN (99.9%) |
| ቀለም | ነጭ/ነጭ-ነጭ (ቀላል ቀለም ያለው የNPSS ንጣፍ ያለው የAlN ንብርብር) |
| ዋፈር ዋርፕ | < 30µm (መደበኛ) |
| የዶፒንግ አይነት | ያልተወሰደ (ሊበጅ ይችላል) |
አፕሊኬሽኖች
የAlN-on-NPSS ዋፈርበተለያዩ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ላሉ የተለያዩ ከፍተኛ አፈጻጸም ላላቸው አፕሊኬሽኖች የተነደፈ ነው፡
ከፍተኛ ኃይል ያለው ኤሌክትሮኒክስየAlN ንብርብር ከፍተኛ የሙቀት አማቂ ኃይል እና የሙቀት መከላከያ ባህሪያት ለሙቀት አማቂ ኃይል ተስማሚ ቁሳቁስ ያደርጉታልየኃይል ትራንዚስተሮች, ሬክተፋየሮችእናየኃይል አይሲዎችጥቅም ላይ የዋለው በአውቶሞቲቭ, ኢንዱስትሪያልእናታዳሽ ኃይልስርዓቶች።
የሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ (RF) ክፍሎችየAlN እጅግ በጣም ጥሩ የኤሌክትሪክ መከላከያ ባህሪያት ከዝቅተኛ ኪሳራው ጋር ተዳምረው የሚከተሉትን ምርቶች ማምረት ያስችላሉየRF ትራንዚስተሮች, HEMTs (ከፍተኛ-ኤሌክትሮን-ተንቀሳቃሽ ትራንዚስተሮች)እና ሌሎችምየማይክሮዌቭ ክፍሎችበከፍተኛ ድግግሞሽ እና የኃይል ደረጃዎች በብቃት የሚሰሩ።
የኦፕቲካል መሳሪያዎች: AlN-on-NPSS ዋፈሮች ጥቅም ላይ ይውላሉየሌዘር ዳዮዶች, ኤልኢዲዎችእናፎቶ ጠቋሚዎች፣ የትከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያእናሜካኒካል ጠጣርነትለረጅም ጊዜ አፈጻጸምን ለመጠበቅ አስፈላጊ ናቸው።
ከፍተኛ የሙቀት መጠን ዳሳሾች: የዋፈር ከፍተኛ ሙቀትን የመቋቋም ችሎታው ለዚህ ተስማሚ ያደርገዋልየሙቀት ዳሳሾችእናየአካባቢ ክትትልባሉ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ እንደኤሮስፔስ, አውቶሞቲቭእናዘይት እና ጋዝ.
ሴሚኮንዳክተር ማሸጊያ: ጥቅም ላይ የዋለ የሙቀት ማሰራጫዎችእናየሙቀት አስተዳደር ንብርብሮችበማሸጊያ ስርዓቶች ውስጥ፣ የሴሚኮንዳክተሮችን አስተማማኝነት እና ውጤታማነት ማረጋገጥ።
ጥያቄ እና መልስ
ጥ፡- እንደ ሲሊኮን ካሉ ባህላዊ ቁሳቁሶች ይልቅ የAlN-on-NPSS ዋፈሮች ዋና ጥቅም ምንድነው?
ሀ፡ ዋናው ጥቅም የAlNs ነው።ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያይህም ሙቀትን በብቃት እንዲያስወግድ ያስችለዋል፣ ይህም ለሚከተሉት ተስማሚ ያደርገዋልከፍተኛ ኃይል ያለውእናከፍተኛ ድግግሞሽ አፕሊኬሽኖችየሙቀት አስተዳደር ወሳኝ በሆነበት ቦታ። በተጨማሪም፣ AlNሰፊ ባንድ ክፍተትእና በጣም ጥሩየኤሌክትሪክ መከላከያለመጠቀም የላቀ ያደርገዋል፣RFእናየማይክሮዌቭ መሳሪያዎችከባህላዊ ሲሊኮን ጋር ሲነጻጸር።
ጥ፡ በNPSS ዋፈር ላይ ያለው የAlN ንብርብር ሊበጅ ይችላል?
መ፡ አዎ፣ የAlN ንብርብር የአፕሊኬሽንዎን ልዩ ፍላጎቶች ለማሟላት በውፍረት (ከ2µm እስከ 10µm ወይም ከዚያ በላይ) ሊበጅ ይችላል። እንዲሁም ለልዩ ተግባራት በዶፒንግ አይነት (N-type ወይም P-type) እና ተጨማሪ ንብርብሮችን በማበጀት እናቀርባለን።
ጥ፡- በአውቶሞቲቭ ኢንዱስትሪ ውስጥ ለዚህ ዋፈር የተለመደው አተገባበር ምንድነው?
መ፡ በአውቶሞቲቭ ኢንዱስትሪ ውስጥ፣ AlN-on-NPSS ዋፈሮች በተለምዶ ጥቅም ላይ ይውላሉየኃይል ኤሌክትሮኒክስ, የ LED መብራት ስርዓቶችእናየሙቀት ዳሳሾች. ከፍተኛ የሙቀት አስተዳደር እና የኤሌክትሪክ መከላከያ ይሰጣሉ፣ ይህም በተለያዩ የሙቀት ሁኔታዎች ውስጥ ለሚሰሩ ከፍተኛ ብቃት ላላቸው ስርዓቶች አስፈላጊ ነው።
ዝርዝር ዲያግራም
