AlN-on-NPSS Wafer፡ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የአሉሚኒየም ናይትራይድ ንብርብር ለከፍተኛ ሙቀት፣ ከፍተኛ-ኃይል እና RF መተግበሪያዎች ባልተወለወለ የሳፋየር ንጣፍ ላይ።
ባህሪያት
ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው አልኤን ንብርብርአልሙኒየም ናይትራይድ (አልኤን) በእሱ ይታወቃልከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ(~200 ዋ/ሚክ)፣ሰፊ ማሰሪያ, እናከፍተኛ ብልሽት ቮልቴጅ, ተስማሚ ቁሳቁስ በማድረግከፍተኛ ኃይል, ከፍተኛ ድግግሞሽ, እናከፍተኛ ሙቀትመተግበሪያዎች.
ያልተወለወለ የሳፋየር ንጣፍ (NPSS): ያልተወለወለ ሰንፔር ሀወጪ ቆጣቢ, ሜካኒካል ጠንካራመሠረት ፣ የገጽታ ማፅዳት ውስብስብነት ሳይኖር ለ epitaxial እድገት የተረጋጋ መሠረት ማረጋገጥ። የኤንፒኤስኤስ ምርጥ ሜካኒካል ባህሪያት ፈታኝ ለሆኑ አካባቢዎች ዘላቂ ያደርገዋል።
ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋትየ AlN-on-NPSS ዋፈር ከፍተኛ የሙቀት መጠን መለዋወጥን ይቋቋማል፣ ይህም ለአገልግሎት ተስማሚ ያደርገዋል።የኃይል ኤሌክትሮኒክስ, አውቶሞቲቭ ስርዓቶች, LEDs, እናየጨረር መተግበሪያዎችበከፍተኛ ሙቀት ሁኔታዎች ውስጥ የተረጋጋ አፈፃፀም የሚያስፈልጋቸው.
የኤሌክትሪክ መከላከያ: አልኤን እጅግ በጣም ጥሩ የኤሌክትሪክ መከላከያ ባህሪያት አለው, ይህም ለትግበራዎች ተስማሚ ያደርገዋልየኤሌክትሪክ ማግለልጨምሮ ወሳኝ ነው።የ RF መሳሪያዎችእናማይክሮዌቭ ኤሌክትሮኒክስ.
የላቀ የሙቀት መበታተን: በከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity) አማካኝነት, የ AlN ንብርብር በከፍተኛ ኃይል እና ድግግሞሽ ውስጥ የሚሰሩ መሳሪያዎችን አፈፃፀም እና ረጅም ጊዜ ለመጠበቅ በጣም አስፈላጊ የሆነውን ውጤታማ ሙቀትን ያስወግዳል.
ቴክኒካዊ መለኪያዎች
መለኪያ | ዝርዝር መግለጫ |
ዋፈር ዲያሜትር | 2-ኢንች፣ 4-ኢንች (ብጁ መጠኖች ይገኛሉ) |
Substrate አይነት | ያልተወለወለ የሳፋየር ንጣፍ (NPSS) |
የአልኤን ንብርብር ውፍረት | 2µm እስከ 10µm (ሊበጅ የሚችል) |
የከርሰ ምድር ውፍረት | 430µm ± 25µm (ለ2-ኢንች)፣ 500µm ± 25µm (ለ4-ኢንች) |
የሙቀት ማስተላለፊያ አሠራር | 200 ዋ/ኤም·ኬ |
የኤሌክትሪክ መቋቋም | ለ RF አፕሊኬሽኖች ተስማሚ የሆነ ከፍተኛ ሽፋን |
የገጽታ ሸካራነት | ራ ≤ 0.5µm (ለአልኤን ንብርብር) |
የቁሳቁስ ንፅህና | ከፍተኛ ንፅህና አልኤን (99.9%) |
ቀለም | ነጭ/ኦፍ-ነጭ (የአልኤን ንብርብር ከቀላል ቀለም NPSS ንጣፍ ጋር) |
Wafer Warp | < 30µm (የተለመደ) |
የዶፒንግ ዓይነት | ያልተደገፈ (ሊበጅ ይችላል) |
መተግበሪያዎች
የAlN-on-NPSS ዋፈርበተለያዩ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ለተለያዩ ከፍተኛ አፈፃፀም ትግበራዎች የተነደፈ ነው-
ከፍተኛ-ኃይል ኤሌክትሮኒክስየ AlN ንብርብር ከፍተኛ የሙቀት አማቂ conductivity እና insulating ንብረቶች ለ ተስማሚ ቁሳዊ ያደርገዋልየኃይል ትራንዚስተሮች, ማስተካከያዎች, እናየኃይል አይሲዎችውስጥ ጥቅም ላይ ይውላልአውቶሞቲቭ, የኢንዱስትሪ, እናታዳሽ ኃይልስርዓቶች.
የሬዲዮ-ድግግሞሽ (RF) ክፍሎች: የአልኤን እጅግ በጣም ጥሩ የኤሌክትሪክ መከላከያ ባህሪያት, ከዝቅተኛ ኪሳራው ጋር ተዳምሮ, ለማምረት ያስችላልRF ትራንዚስተሮች, HEMTs (ከፍተኛ-ኤሌክትሮን-ተንቀሳቃሽ ትራንዚስተሮች)እና ሌሎችም።የማይክሮዌቭ አካላትበከፍተኛ ድግግሞሽ እና በኃይል ደረጃዎች በብቃት የሚሰሩ።
ኦፕቲካል መሳሪያዎች: AlN-on-NPSS ዋፍሮች በ ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉሌዘር ዳዮዶች, LEDs, እናፎቶ ጠቋሚዎች፣ የትከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያእናየሜካኒካዊ ጥንካሬረዘም ላለ ጊዜ አፈፃፀምን ለመጠበቅ አስፈላጊ ናቸው ።
ከፍተኛ-ሙቀት ዳሳሾች: ዋፈር ከፍተኛ ሙቀትን የመቋቋም ችሎታ ተስማሚ ያደርገዋልየሙቀት ዳሳሾችእናየአካባቢ ክትትልእንደ ኢንዱስትሪዎች ውስጥኤሮስፔስ, አውቶሞቲቭ, እናዘይት እና ጋዝ.
ሴሚኮንዳክተር ማሸጊያውስጥ ጥቅም ላይ የዋለ የሙቀት ማሰራጫዎችእናየሙቀት አስተዳደር ንብርብሮችበማሸጊያ ስርዓቶች, የሴሚኮንዳክተሮች አስተማማኝነት እና ውጤታማነት ማረጋገጥ.
ጥያቄ እና መልስ
ጥ፡- እንደ ሲሊከን ባሉ ባህላዊ ቁሶች ላይ የ AlN-on-NPSS ዋፍሮች ዋነኛው ጠቀሜታ ምንድነው?
መ: ዋነኛው ጥቅም የአልኤን ነውከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ, ይህም ሙቀትን በብቃት ለማጥፋት ያስችላል, ይህም ለ ተስማሚ ነውከፍተኛ ኃይልእናከፍተኛ ድግግሞሽ መተግበሪያዎችየሙቀት አስተዳደር ወሳኝ በሆነበት. በተጨማሪም፣ አልኤን ኤ አለው።ሰፊ ማሰሪያእና በጣም ጥሩየኤሌክትሪክ መከላከያውስጥ ለመጠቀም የላቀ ያደርገዋልRFእናማይክሮዌቭ መሳሪያዎችከተለምዷዊ ሲሊኮን ጋር ሲነጻጸር.
ጥ፡ በNPSS ላይ ያለው የ AlN ንብርብር ሊበጅ ይችላል?
መ: አዎ፣ የመተግበሪያዎን ልዩ ፍላጎቶች ለማሟላት የአልኤን ንብርብር ውፍረት (ከ2µm እስከ 10µm ወይም ከዚያ በላይ) ባለው ውፍረት ሊበጅ ይችላል። እንዲሁም በዶፒንግ ዓይነት (ኤን-አይነት ወይም ፒ-አይነት) እና ለልዩ ተግባራት ተጨማሪ ንብርብሮችን በተመለከተ ማበጀትን እናቀርባለን።
ጥ: በአውቶሞቲቭ ኢንዱስትሪ ውስጥ ለዚህ ዋፈር የተለመደው መተግበሪያ ምንድነው?
መ: በአውቶሞቲቭ ኢንዱስትሪ ውስጥ፣ AlN-on-NPSS ዋፍሮች በብዛት ጥቅም ላይ ይውላሉየኃይል ኤሌክትሮኒክስ, የ LED ብርሃን ስርዓቶች, እናየሙቀት ዳሳሾች. በተለያየ የሙቀት ሁኔታ ውስጥ ለሚሰሩ ከፍተኛ ቅልጥፍና አሠራሮች አስፈላጊ የሆነውን የላቀ የሙቀት አስተዳደር እና የኤሌክትሪክ መከላከያ ይሰጣሉ.
ዝርዝር ሥዕላዊ መግለጫ



