Au የተሸፈነ ዋፍር፣ ሰንፔር ዋፍር፣ ሲሊከን ዋፍር፣ ሲሲ ዋፍር፣ 2ኢንች 4 ኢንች 6 ኢንች፣ በወርቅ የተሸፈነ ውፍረት 10nm 50nm 100nm
ቁልፍ ባህሪያት
ባህሪ | መግለጫ |
Substrate ቁሶች | ሲሊከን (ሲ)፣ ሰንፔር (አል₂O₃)፣ ሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ) |
የወርቅ ሽፋን ውፍረት | 10 nm, 50 nm, 100 nm, 500 nm |
የወርቅ ንፅህና | 99.999%ለተመቻቸ አፈጻጸም ንፅህና |
Adhesion ፊልም | Chromium (CR), 99.98% ንፅህና, ጠንካራ ማጣበቅን ማረጋገጥ |
የገጽታ ሸካራነት | በርካታ nm (ለስላሳ የገጽታ ጥራት ለትክክለኛ መተግበሪያዎች) |
መቋቋም (ሲ ዋፈር) | 1-30 Ohm / ሴሜ(እንደ አይነት) |
የዋፈር መጠኖች | 2-ኢንች, 4-ኢንች, 6-ኢንች, እና ብጁ መጠኖች |
ውፍረት (ሲ ዋፈር) | 275µኤም, 381µኤም, 525µሜ |
ቲቲቪ (ጠቅላላ ውፍረት ልዩነት) | ≤20µኤም |
የመጀመሪያ ደረጃ ፍላት (ሲ ዋፈር) | 15.9 ± 1.65 ሚሜወደ32.5 ± 2.5 ሚሜ |
በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ የወርቅ ሽፋን ለምን አስፈላጊ ነው?
የኤሌክትሪክ ማስተላለፊያ
ወርቅ ለምርጥ ቁሳቁሶች አንዱ ነውየኤሌክትሪክ ማስተላለፊያ. በወርቅ የተለበጡ ዊቶች ፈጣን እና የተረጋጋ የኤሌክትሪክ ግንኙነቶችን ለሚፈልጉ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች አስፈላጊ የሆኑትን ዝቅተኛ የመቋቋም መንገዶችን ያቀርባሉ. የከፍተኛ ንጽሕናወርቃማው የምልክት መጥፋትን በመቀነስ ጥሩ እንቅስቃሴን ያረጋግጣል።
የዝገት መቋቋም
ወርቅ ነው።የማይበሰብስእና ለኦክሳይድ በጣም የሚቋቋም። ይህ ለሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች በአስቸጋሪ አካባቢዎች ውስጥ ለሚሰሩ ወይም ለከፍተኛ ሙቀቶች፣ ለእርጥበት እና ለሌሎች ጎጂ ሁኔታዎች ተስማሚ ያደርገዋል። በወርቅ የተለበጠ ዋፈር በጊዜ ሂደት የኤሌትሪክ ባህሪያቱን እና አስተማማኝነቱን ይጠብቃል፣ ሀረጅም የአገልግሎት ሕይወትጥቅም ላይ ለሚውሉ መሳሪያዎች.
የሙቀት አስተዳደር
ወርቅእጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች በሚሰሩበት ጊዜ የሚፈጠረውን ሙቀት በብቃት መበታተንን ያረጋግጣል. ይህ በተለይ ለከፍተኛ ኃይል አፕሊኬሽኖች በጣም አስፈላጊ ነውLEDs, የኃይል ኤሌክትሮኒክስ, እናoptoelectronic መሣሪያዎች, ከመጠን በላይ ሙቀት በትክክል ካልተያዘ ወደ መሳሪያ ውድቀት ሊያመራ ይችላል.
ሜካኒካል ዘላቂነት
የወርቅ ሽፋኖች ይሰጣሉሜካኒካል ጥበቃወደ ዋፈር, በአያያዝ እና በሚቀነባበርበት ጊዜ የላይኛውን ጉዳት ይከላከላል. ይህ የተጨመረው የጥበቃ ንብርብር ዋፍሮች አስፈላጊ በሆኑ ሁኔታዎች ውስጥም ቢሆን መዋቅራዊነታቸውን እና ተዓማኒነታቸውን እንደያዙ ያረጋግጣል።
የድህረ-ሽፋን ባህሪያት
የተሻሻለ የገጽታ ጥራት
የወርቅ ሽፋንን ያሻሽላልየገጽታ ቅልጥፍናየ wafer, ይህም ለ ወሳኝ ነውከፍተኛ ትክክለኛነትመተግበሪያዎች. የየወለል ንጣፍለመሳሰሉት ሂደቶች እንከን የለሽ የሆነ ንጣፍ በማረጋገጥ ወደ በርካታ ናኖሜትሮች ይቀንሳልየሽቦ ትስስር, መሸጥ, እናፎቶግራፊ.
የተሻሻሉ የመተሳሰሪያ እና የመሸጫ ባህሪያት
ወርቃማው ንብርብር ያሻሽለዋልየማያያዝ ባህሪያትየ wafer, ተስማሚ በማድረግየሽቦ ትስስርእናፍሊፕ-ቺፕ ትስስር. ይህ ደህንነቱ የተጠበቀ እና ረጅም ጊዜ የሚቆይ የኤሌክትሪክ ግንኙነቶችን ያስከትላልአይሲ ማሸግእናሴሚኮንዳክተር ስብሰባዎች.
ከዝገት-ነጻ እና ለረጅም ጊዜ የሚቆይ
የወርቅ ሽፋኑ ለረጅም ጊዜ ለከባድ የአካባቢ ሁኔታዎች ከተጋለጡ በኋላም ቫፈር ከኦክሳይድ እና ከመበላሸት ነፃ ሆኖ እንደሚቆይ ያረጋግጣል። ይህ አስተዋጽኦ ያደርጋልየረጅም ጊዜ መረጋጋትየመጨረሻው ሴሚኮንዳክተር መሳሪያ.
የሙቀት እና የኤሌክትሪክ መረጋጋት
በወርቅ የተለበጡ ዋፍሮች ወጥነት ያለው ይሰጣሉየሙቀት መበታተንእናየኤሌክትሪክ ንክኪነት, ወደ ተሻለ አፈፃፀም እናአስተማማኝነትየመሳሪያዎቹ በጊዜ, በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ እንኳን.
መለኪያዎች
ንብረት | ዋጋ |
Substrate ቁሶች | ሲሊከን (ሲ)፣ ሰንፔር (አል₂O₃)፣ ሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ) |
የወርቅ ንብርብር ውፍረት | 10 nm, 50 nm, 100 nm, 500 nm |
የወርቅ ንፅህና | 99.999%(ለተመቻቸ አፈጻጸም ከፍተኛ ንፅህና) |
Adhesion ፊልም | Chromium (CR)፣99.98%ንጽህና |
የገጽታ ሸካራነት | በርካታ ናኖሜትሮች |
መቋቋም (ሲ ዋፈር) | 1-30 Ohm / ሴሜ |
የዋፈር መጠኖች | 2-ኢንች, 4-ኢንች, 6-ኢንች, ብጁ መጠኖች |
የሲ ዋፈር ውፍረት | 275µኤም, 381µኤም, 525µሜ |
ቲቲቪ | ≤20µኤም |
የመጀመሪያ ደረጃ ፍላት (ሲ ዋፈር) | 15.9 ± 1.65 ሚሜወደ32.5 ± 2.5 ሚሜ |
የወርቅ-የተሸፈኑ Wafers መተግበሪያዎች
ሴሚኮንዳክተር ማሸጊያ
በወርቅ የተለበጡ ዋፍሮች በብዛት ጥቅም ላይ ይውላሉአይሲ ማሸግ, የት የእነሱየኤሌክትሪክ ንክኪነት, የሜካኒካዊ ጥንካሬ, እናየሙቀት መበታተንንብረቶች አስተማማኝነትን ያረጋግጣሉእርስ በርስ ይገናኛልእናትስስርበሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ.
የ LED ማምረት
በወርቅ የተለበጡ ዋፍሮች ወሳኝ ሚና ይጫወታሉLED ማምረት, የሚያሻሽሉበትየሙቀት አስተዳደርእናየኤሌክትሪክ አፈፃፀም. የወርቅ ንብርብር በከፍተኛ ኃይል LED ዎች የሚመነጨው ሙቀት በብቃት መበተኑን ያረጋግጣል, ረጅም ዕድሜ እና የተሻለ ቅልጥፍና አስተዋጽኦ.
ኦፕቶኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች
In ኦፕቶኤሌክትሮኒክስ፣ በወርቅ የተለበጡ ዋፍሮች በመሳሰሉት መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉፎቶ ጠቋሚዎች, ሌዘር ዳዮዶች, እናየብርሃን ዳሳሾች. የወርቅ ሽፋን በጣም ጥሩ ያቀርባልየሙቀት መቆጣጠሪያእናየኤሌክትሪክ መረጋጋትየብርሃን እና የኤሌክትሪክ ምልክቶችን በትክክል መቆጣጠር በሚፈልጉ መሳሪያዎች ውስጥ ወጥነት ያለው አፈፃፀም ማረጋገጥ.
የኃይል ኤሌክትሮኒክስ
በወርቅ የተለበጡ ዋፍሮች አስፈላጊ ናቸውየኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ኃይል, ከፍተኛ ቅልጥፍና እና አስተማማኝነት ወሳኝ በሆኑበት. እነዚህ ዋፍሮች መረጋጋትን ያረጋግጣሉየኃይል መለዋወጥእናየሙቀት መበታተንበመሳሰሉት መሳሪያዎች ውስጥየኃይል ትራንዚስተሮችእናየቮልቴጅ መቆጣጠሪያዎች.
ማይክሮኤሌክትሮኒክስ እና MEMS
In ማይክሮኤሌክትሮኒክስእናMEMS (ማይክሮ-ኤሌክትሮ መካኒካል ሲስተሞች), በወርቅ የተሸፈኑ ዊቶች ለመፍጠር ጥቅም ላይ ይውላሉማይክሮኤሌክትሮ መካኒካል ክፍሎችከፍተኛ ትክክለኛነት እና ረጅም ጊዜ የሚጠይቁ. የወርቅ ንብርብር የተረጋጋ የኤሌክትሪክ አፈጻጸም እና ያቀርባልሜካኒካል ጥበቃስሱ በማይክሮኤሌክትሮኒካዊ መሳሪያዎች ውስጥ.
ተደጋጋሚ ጥያቄዎች (ጥያቄ እና መልስ)
ጥ 1፡ ለምንድነው ወርቅን ለመሸፈኛ ዋፈር የሚጠቀመው?
A1፡ወርቅ ለእሱ ጥቅም ላይ ይውላልየላቀ የኤሌክትሪክ ንክኪነት, የዝገት መቋቋም, እናየሙቀት አስተዳደርንብረቶች. ያረጋግጣልአስተማማኝ ትስስር, የመሳሪያው ረጅም ዕድሜ, እናወጥነት ያለው አፈጻጸምሴሚኮንዳክተር መተግበሪያዎች ውስጥ.
Q2: በሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች ውስጥ በወርቅ የተለበጡ ዋፍሮችን መጠቀም ምን ጥቅሞች አሉት?
A2፡በወርቅ የተለበጡ ዋፍሮች ይሰጣሉከፍተኛ አስተማማኝነት, የረጅም ጊዜ መረጋጋት, እናየተሻለ የኤሌክትሪክ እና የሙቀት አፈፃፀም. እነሱም ያጠናክራሉየማያያዝ ባህሪያትእና መከላከልኦክሳይድእናዝገት.
Q3: ለትግበራዬ ምን ዓይነት የወርቅ ሽፋን ውፍረት መምረጥ አለብኝ?
A3፡ተስማሚው ውፍረት በተለየ መተግበሪያዎ ላይ የተመሰረተ ነው.10 nmለትክክለኛ, ለስላሳ መተግበሪያዎች ተስማሚ ነው, ሳለ50 nmወደ100 nmሽፋኖች ለከፍተኛ ኃይል መሳሪያዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ.500 nmወፍራም ንብርብሮችን ለሚፈልጉ ከባድ-ተረኛ መተግበሪያዎች ሊያገለግል ይችላል።ዘላቂነትእናየሙቀት መበታተን.
Q4: የዋፈር መጠኖችን ማበጀት ይችላሉ?
A4፡አዎ፣ ዋፍሮች በ ውስጥ ይገኛሉ2-ኢንች, 4-ኢንች, እና6-ኢንችመደበኛ መጠኖች, እና የእርስዎን ልዩ መስፈርቶች ለማሟላት ብጁ መጠኖችን ማቅረብ እንችላለን.
Q5: የወርቅ ሽፋን የመሳሪያውን አፈፃፀም እንዴት ያሳድጋል?
A5፡ወርቅ ይሻሻላልየሙቀት መበታተን, የኤሌክትሪክ ንክኪነት, እናየዝገት መቋቋም, ሁሉም የበለጠ ውጤታማ እናአስተማማኝ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችከረጅም የስራ ጊዜ ጋር።
Q6: የማጣበቅ ፊልም የወርቅ ሽፋንን እንዴት ያሻሽላል?
A6፡የክሮሚየም (CR)የማጣበቅ ፊልም በ መካከል ጠንካራ ትስስር መኖሩን ያረጋግጣልየወርቅ ንብርብርእና የsubstrate, በሂደት እና በአጠቃቀም ጊዜ የመርከስ መከላከያን መከላከል እና የቫፈርን ትክክለኛነት ማረጋገጥ.
መደምደሚያ
የእኛ የወርቅ ሽፋን ያለው ሲሊኮን፣ ሳፒየር እና ሲሲ ዋይፈርስ ለሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች የላቀ የኤሌክትሪክ ምቹነት፣ የሙቀት መበታተን እና የዝገት መቋቋምን በማቅረብ የላቀ መፍትሄዎችን ይሰጣሉ። እነዚህ ዋፍሮች ለሴሚኮንዳክተር ማሸጊያዎች፣ ለ LED ማምረቻ፣ ለኦፕቶኤሌክትሮኒክስ እና ለሌሎችም ተስማሚ ናቸው። ከፍተኛ ንፅህና ባለው ወርቅ፣ ሊበጅ በሚችል የሽፋን ውፍረት እና እጅግ በጣም ጥሩ የሜካኒካል ጥንካሬ፣ የረጅም ጊዜ አስተማማኝነት እና ቀጣይነት ባለው ተፈላጊ አካባቢዎች ውስጥ አፈጻጸምን ያረጋግጣሉ።
ዝርዝር ሥዕላዊ መግለጫ



