በሲሊኮን ካርቦይድ ውህደት ምድጃ ውስጥ ከፍተኛ ንፅህና ያለው የሲሲ ጥሬ እቃዎችን ለማምረት የሲቪዲ ዘዴ በ1600℃

አጭር መግለጫ፡

የሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) ውህደት ምድጃ (CVD)። ለካርቦን ምንጮች (ለምሳሌ C₃H₈፣ CH₄) ምላሽ በሚሰጡበት ከፍተኛ የሙቀት መጠን አካባቢ ውስጥ የኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (CVD) ቴክኖሎጂን ይጠቀማል። በንጣፍ (ግራፋይት ወይም SiC ዘር) ላይ ከፍተኛ ንፁህ የሲሊኮን ካርቦይድ ክሪስታሎችን ለማብቀል ቁልፍ መሳሪያ። ቴክኖሎጂው በዋናነት የሚጠቀመው የኃይል ሴሚኮንዳክተሮችን (እንደ MOSFET፣ SBD ያሉ) ለማምረት ዋና የሂደት መሳሪያ የሆነውን የSiC ነጠላ ክሪስታል ንጣፍ (4H/6H-SiC) ለማዘጋጀት ነው።

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

የአሠራር መርህ፡

1. የቅድመ-መቅጃ አቅርቦት። የሲሊኮን ምንጭ (ለምሳሌ SiH₄) እና የካርቦን ምንጭ (ለምሳሌ C₃H₈) ጋዞች በተመጣጣኝ መጠን ተቀላቅለው ወደ ምላሽ ክፍሉ ይመገባሉ።

2. ከፍተኛ የሙቀት መጠን መበታተን፡- በ1500~2300℃ ከፍተኛ የሙቀት መጠን፣ የጋዝ መበታተን የSi እና C አክቲቭ አቶሞችን ያመነጫል።

3. የገጽታ ምላሽ፡- የSi እና የC አቶሞች በንጣፉ ወለል ላይ ተቀምጠው የSiC ክሪስታል ንብርብር ይፈጥራሉ።

4. የክሪስታል እድገት፡- የሙቀት መጠንን በመቀነስ፣ የጋዝ ፍሰት እና ግፊትን በመቆጣጠር፣ በሲ ዘንግ ወይም በኤ ዘንግ በኩል የአቅጣጫ እድገትን ለማሳካት።

ቁልፍ መለኪያዎች፡

· የሙቀት መጠን፡ 1600~2200℃ (>2000℃ ለ4H-SiC)

· ግፊት፡ 50~200ሜባ (የጋዝ ኑክሌሽንን ለመቀነስ ዝቅተኛ ግፊት)

· የጋዝ ጥምርታ፡ Si/C≈1.0~1.2 (የSi ወይም C ማበልጸጊያ ጉድለቶችን ለማስወገድ)

ዋና ዋና ባህሪያት:

(1) የክሪስታል ጥራት
ዝቅተኛ የጉድለት ጥግግት፡ የማይክሮቱቡል ጥግግት < 0.5ሴሜ ⁻²፣ የመፈናቀል ጥግግት < 10⁴ ሴሜ⁻²።

የፖሊክሪስታሊን አይነት ቁጥጥር፡ 4H-SiC (ዋናው)፣ 6H-SiC፣ 3C-SiC እና ሌሎች የክሪስታል ዓይነቶችን ሊያድግ ይችላል።

(2) የመሳሪያዎች አፈጻጸም
ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት፡ የግራፋይት ኢንዳክሽን ማሞቂያ ወይም የመቋቋም ማሞቂያ፣ የሙቀት መጠን > 2300℃

ወጥነት ቁጥጥር፡ የሙቀት መጠን መለዋወጥ ±5℃፣ የእድገት መጠን 10~50μm/ሰዓት።

የጋዝ ስርዓት፡ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የጅምላ ፍሰት መለኪያ (MFC)፣ የጋዝ ንፅህና ≥99.999%።

(3) የቴክኖሎጂ ጥቅሞች
ከፍተኛ ንፅህና፡ የጀርባ ንጽህና ክምችት <10¹⁶ cm⁻³ (N፣ B፣ ወዘተ)።

ትልቅ መጠን፡ 6 "/8" የሲሲ ንጣፎችን እድገት ይደግፋል።

(4) የኃይል ፍጆታ እና ወጪ
ከፍተኛ የኃይል ፍጆታ (በእሳት ምድጃ 200 ~ 500kW·h)፣ ይህም የSiC ንጣፍ ምርት ዋጋ 30% ~ 50% ነው።

ዋና አፕሊኬሽኖች፡

1. የኃይል ሴሚኮንዳክተር ንጣፍ፡- የኤሌክትሪክ ተሽከርካሪዎችን እና የፎቶቮልታይክ ኢንቨርተሮችን ለማምረት የሚያገለግሉ የሲሲ ሞስፌትስ።

2. የRf መሳሪያ፡ 5G የመሠረት ጣቢያ GaN-on-SiC ኤፒታክሲያል ንጣብ።

3. እጅግ በጣም ከፍተኛ የአካባቢ መሳሪያዎች፡ ለአየር ወለድ እና ለኑክሌር ኃይል ማመንጫዎች ከፍተኛ የሙቀት ዳሳሾች።

ቴክኒካዊ ዝርዝር መግለጫ፡

ዝርዝር መግለጫ	ዝርዝሮች
ልኬቶች (ሊትር × ወ × ሰትር)	4000 x 3400 x 4300 ሚሜ ወይም ብጁ ያድርጉ
የእቶን ክፍል ዲያሜትር	1100ሚሜ
የመጫኛ አቅም	50 ኪ.ግ.
የቫክዩም ገደብ ዲግሪ	10-2Pa (ሞለኪውላዊ ፓምፑ ከጀመረ 2 ሰዓት በኋላ)
የክፍል ግፊት መጨመር መጠን	≤10ፓ/ሰ (ካልሲኔሽን ከተደረገ በኋላ)
የታችኛው የእቶን ሽፋን የማንሳት ምት	1500ሚሜ
የማሞቂያ ዘዴ	የኢንዳክሽን ማሞቂያ
በምድጃ ውስጥ ከፍተኛው የሙቀት መጠን	2400°ሴ
የማሞቂያ የኃይል አቅርቦት	2X40kW
የሙቀት መለኪያ	ባለ ሁለት ቀለም የኢንፍራሬድ የሙቀት መጠን መለኪያ
የሙቀት ክልል	900~3000℃
የሙቀት መቆጣጠሪያ ትክክለኛነት	±1°ሴ
የመቆጣጠሪያ ግፊት ክልል	1~700ሜባ
የግፊት መቆጣጠሪያ ትክክለኛነት	1~5ሜባ ±0.1ሜባ; 5~100ሜባ ±0.2ሜባ; 100~700ሜባ ±0.5ሜባ
የመጫኛ ዘዴ	ዝቅተኛ ጭነት;
አማራጭ ውቅር	ድርብ የሙቀት መለኪያ ነጥብ፣ የፎርክሊፍት ጭነትን የሚያራግፍ።

የXKH አገልግሎቶች፡

XKH ለሲሊኮን ካርቦይድ ሲቪዲ ምድጃዎች ሙሉ ዑደት አገልግሎቶችን ይሰጣል፣ ይህም የመሳሪያ ማበጀት (የሙቀት ዞን ዲዛይን፣ የጋዝ ስርዓት ውቅር)፣ የሂደት ልማት (ክሪስታል ቁጥጥር፣ የብልሽት ማመቻቸት)፣ የቴክኒክ ስልጠና (ኦፕሬሽን እና ጥገና) እና ከሽያጭ በኋላ ድጋፍ (የቁልፍ ክፍሎች መለዋወጫ አቅርቦት፣ የርቀት ምርመራ) ደንበኞች ከፍተኛ ጥራት ያለው የሲሲ ንጣፍ የጅምላ ምርት እንዲያገኙ ለመርዳት ነው። እና የክሪስታል ምርትን እና የእድገት ቅልጥፍናን ያለማቋረጥ ለማሻሻል የሂደት ማሻሻያ አገልግሎቶችን ይሰጣል።