በወርቅ የተሸፈነ የሲሊኮን ዋፈርስ 2ኢንች 4ኢንች 6ኢንች የወርቅ ንብርብር ውፍረት፡ 50nm (± 5nm) ወይም ማበጀት የሽፋን ፊልም Au፣ 99.999% ንፅህና
ቁልፍ ባህሪያት
| ባህሪ | መግለጫ |
| ዋፈር ዲያሜትር | ውስጥ ይገኛል2-ኢንች, 4-ኢንች, 6-ኢንች |
| የወርቅ ንብርብር ውፍረት | 50nm (± 5nm)ወይም ለተወሰኑ መስፈርቶች ሊበጅ የሚችል |
| የወርቅ ንፅህና | 99.999% አው(ለተለየ አፈፃፀም ከፍተኛ ንፅህና) |
| የሽፋን ዘዴ | ኤሌክትሮላይንግወይምየቫኩም ማስቀመጫለአንድ ወጥ ንብርብር |
| የገጽታ ማጠናቀቅ | ለስላሳ እና ጉድለት የሌለበት ገጽ, ለትክክለኛ ሥራ አስፈላጊ |
| የሙቀት ማስተላለፊያ አሠራር | ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ, ውጤታማ የሙቀት አስተዳደርን ማረጋገጥ |
| የኤሌክትሪክ ማስተላለፊያ | ከፍተኛ አፈፃፀም ላላቸው መሳሪያዎች ተስማሚ የሆነ ከፍተኛ የኤሌክትሪክ ምቹነት |
| የዝገት መቋቋም | ለኦክሳይድ በጣም ጥሩ የመቋቋም ችሎታ ፣ ለከባድ አካባቢዎች ተስማሚ |
በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ የወርቅ ሽፋን ለምን አስፈላጊ ነው?
የኤሌክትሪክ ማስተላለፊያ
ወርቅ ለምርጥ ቁሳቁሶች አንዱ ነውየኤሌክትሪክ ማስተላለፊያለኤሌክትሪክ ፍሰት ዝቅተኛ የመቋቋም መንገዶችን መስጠት። ይህ በወርቅ የተለበጡ ዋፍሮችን ተስማሚ ያደርገዋልግንኙነትውስጥማይክሮ ቺፕስበሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ ውጤታማ እና የተረጋጋ የሲግናል ስርጭትን ማረጋገጥ.
የዝገት መቋቋም
ለመሸፈኛ ወርቅ ለመምረጥ ከዋና ዋና ምክንያቶች አንዱ ነውየዝገት መቋቋም. ወርቅ ለአየር፣ ለእርጥበት ወይም ለጠንካራ ኬሚካሎች ቢጋለጥም በጊዜ ሂደት አይበላሽም ወይም አይበላሽም። ይህ ለረጅም ጊዜ የሚቆዩ የኤሌክትሪክ ግንኙነቶችን እናመረጋጋትለተለያዩ የአካባቢ ሁኔታዎች በተጋለጡ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ.
የሙቀት አስተዳደር
የከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያወርቅ ሙቀትን ውጤታማ በሆነ መንገድ ለማስወገድ ይረዳል, በወርቅ የተሸፈኑ ዊንዶዎች ከፍተኛ ሙቀት ለሚፈጥሩ መሳሪያዎች ተስማሚ ናቸው, ለምሳሌከፍተኛ ኃይል ያላቸው LEDsእናማይክሮፕሮሰሰሮች. ትክክለኛው የሙቀት አስተዳደር የመሳሪያውን ብልሽት አደጋን ይቀንሳል እና በጭነት ውስጥ ወጥነት ያለው አፈፃፀምን ያቆያል።
መካኒካል ጥንካሬ
የወርቅ ንብርብር በዋፈር ወለል ላይ ተጨማሪ ሜካኒካል ጥንካሬን ይጨምራል፣ ይህም ወደ ውስጥ ይረዳልአያያዝ, መጓጓዣ, እናማቀነባበር. በተለያዩ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ደረጃዎች ውስጥ በተለይም በጥቃቅን ትስስር እና በማሸጊያ ሂደቶች ውስጥ ቫፈር ሳይበላሽ መቆየቱን ያረጋግጣል።
የድህረ-ሽፋን ባህሪያት
ለስላሳ የገጽታ ጥራት
የወርቅ ሽፋን ለስላሳ እና ተመሳሳይነት ያለው ገጽታ ያረጋግጣል, ይህም ለ ወሳኝ ነውትክክለኛ መተግበሪያዎችእንደሴሚኮንዳክተር ማሸጊያ. በላዩ ላይ ያሉ ማናቸውም ጉድለቶች ወይም አለመግባባቶች የመጨረሻውን ምርት አፈፃፀም ላይ አሉታዊ ተጽዕኖ ሊያሳድሩ ይችላሉ, ይህም ከፍተኛ ጥራት ያለው ሽፋን አስፈላጊ ያደርገዋል.
የተሻሻሉ የመተሳሰሪያ እና የመሸጫ ባህሪያት
በወርቅ የተሸፈኑ የሲሊኮን መጋገሪያዎች የላቀ ይሰጣሉትስስርእናመሸጥባህሪያት, በ ውስጥ ለመጠቀም ተስማሚ ያደርጋቸዋልየሽቦ ትስስርእናፍሊፕ-ቺፕ ትስስርሂደቶች. ይህ በሴሚኮንዳክተር አካላት እና በንጥረ ነገሮች መካከል አስተማማኝ የኤሌክትሪክ ግንኙነቶችን ያመጣል.
ዘላቂነት እና ረጅም ዕድሜ
የወርቅ ሽፋን ተጨማሪ የመከላከያ ሽፋን ይሰጣልኦክሳይድእናመጥላት, ማራዘምየህይወት ዘመንየ wafer. ይህ በተለይ በከባድ ሁኔታዎች ውስጥ ለመስራት ወይም ረጅም የስራ ጊዜ ላላቸው መሳሪያዎች ጠቃሚ ነው።
አስተማማኝነት መጨመር
የሙቀት እና የኤሌትሪክ አፈጻጸምን በማሻሻል የወርቅ ንብርብር ዋፈር እና የመጨረሻው መሳሪያ በትልቁ መስራታቸውን ያረጋግጣልአስተማማኝነት. ይህ ወደ ይመራልከፍተኛ ምርትእናየተሻለ መሣሪያ አፈጻጸምከፍተኛ መጠን ያለው ሴሚኮንዳክተር ለማምረት በጣም አስፈላጊ ነው.
መለኪያዎች
| ንብረት | ዋጋ |
| ዋፈር ዲያሜትር | 2-ኢንች፣ 4-ኢንች፣ 6-ኢንች |
| የወርቅ ንብርብር ውፍረት | 50nm (± 5nm) ወይም ሊበጅ የሚችል |
| የወርቅ ንፅህና | 99.999% አው |
| የሽፋን ዘዴ | ኤሌክትሮላይት ወይም የቫኩም ክምችት |
| የገጽታ ማጠናቀቅ | ለስላሳ፣ እንከን የለሽ |
| የሙቀት ማስተላለፊያ አሠራር | 315 ዋ/ኤም·ኬ |
| የኤሌክትሪክ ማስተላለፊያ | 45.5 x 10⁶ ሰ/ሜ |
| የወርቅ ጥግግት | 19.32 ግ/ሴሜ³ |
| የወርቅ መቅለጥ ነጥብ | 1064 ° ሴ |
በወርቅ የተሸፈኑ የሲሊኮን ዋፍሎች አፕሊኬሽኖች
ሴሚኮንዳክተር ማሸጊያ
በወርቅ የተሸፈኑ የሲሊኮን መጋገሪያዎች አስፈላጊ ናቸውአይሲ ማሸግበምርጥነታቸው ምክንያትየኤሌክትሪክ ንክኪነትእናየሜካኒካዊ ጥንካሬ. የወርቅ ንብርብር አስተማማኝነትን ያረጋግጣልእርስ በርስ ይገናኛልበሴሚኮንዳክተር ቺፕስ እና ንጣፎች መካከል, ከፍተኛ አፈፃፀም ባላቸው አፕሊኬሽኖች ውስጥ የመውደቅ አደጋን ይቀንሳል.
የ LED ማምረት
In የ LED ምርት፣ በወርቅ የተለበጡ ዋፍሮች ለማሻሻል ጥቅም ላይ ይውላሉየኤሌክትሪክ አፈፃፀምእናየሙቀት አስተዳደርየ LED መሳሪያዎች. የወርቅ ከፍተኛ conductivity እና አማቂ dissipation ባህርያት ቅልጥፍናን ለመጨመር ይረዳል እናየህይወት ዘመንየ LEDs.
ኦፕቶኤሌክትሮኒክስ
በወርቅ የተለበጡ ዋፍሮች በማምረት ረገድ ወሳኝ ናቸውoptoelectronic መሣሪያዎችእንደሌዘር ዳዮዶች, ፎቶ ጠቋሚዎች, እናየብርሃን ዳሳሾች, ከፍተኛ ጥራት ያላቸው የኤሌክትሪክ ግንኙነቶች እና ቀልጣፋ የሙቀት አስተዳደር ለተሻለ አፈፃፀም የሚያስፈልጉበት.
የፎቶቮልቲክ መተግበሪያዎች
በወርቅ የተለበጡ የሲሊኮን መጋገሪያዎች በፋብሪካ ውስጥም ጥቅም ላይ ይውላሉየፀሐይ ሕዋሳት, የሚያበረክቱትከፍተኛ ውጤታማነትሁለቱንም በማሻሻልየኤሌክትሪክ ንክኪነትእናየዝገት መቋቋምየፀሐይ ፓነሎች.
ማይክሮኤሌክትሮኒክስ እና MEMS
In ማይክሮኤሌክትሮኒክስእናMEMS (ማይክሮ-ኤሌክትሮ መካኒካል ሲስተሞች), በወርቅ የተሸፈኑ ዊቶች መረጋጋትን ያረጋግጣሉየኤሌክትሪክ ግንኙነቶችእና ከአካባቢያዊ ሁኔታዎች ጥበቃን, አፈፃፀሙን ማሻሻል እናአስተማማኝነትየመሳሪያዎቹ.
ተደጋጋሚ ጥያቄዎች (ጥያቄ እና መልስ)
Q1: ለምንድነው ወርቅ የሲሊኮን ዋፍሎችን ለመልበስ የሚውለው?
A1፡ወርቅ በእሱ ምክንያት ጥቅም ላይ ይውላልየላቀ የኤሌክትሪክ ንክኪነት, የዝገት መቋቋም, እናየሙቀት መበታተን ባህሪያትበሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች ውስጥ የተረጋጋ የኤሌክትሪክ ግንኙነቶችን ፣ ውጤታማ የሙቀት አያያዝን እና የረጅም ጊዜ አስተማማኝነትን ለማረጋገጥ ወሳኝ ናቸው።
Q2: የወርቅ ንብርብር መደበኛ ውፍረት ምን ያህል ነው?
A2፡መደበኛ የወርቅ ንብርብር ውፍረት ነው50nm (± 5nm). ሆኖም፣ ብጁ ውፍረቶች የተወሰኑ የመተግበሪያ መስፈርቶችን ለማሟላት ሊበጁ ይችላሉ።
Q3: ቫፈርስ በተለያየ መጠን ይገኛሉ?
A3፡አዎ, እናቀርባለን2-ኢንች, 4-ኢንች, እና6-ኢንችበወርቅ የተሸፈኑ የሲሊኮን መጋገሪያዎች. ብጁ የዋፈር መጠኖችም በተጠየቁ ጊዜ ይገኛሉ።
Q4: በወርቅ የተለበጡ የሲሊኮን ዋፍሎች ዋና መተግበሪያዎች ምንድ ናቸው?
A4፡እነዚህ ዋፍሮች በተለያዩ አፕሊኬሽኖች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ, ጨምሮሴሚኮንዳክተር ማሸጊያ, LED ማምረት, ኦፕቶኤሌክትሮኒክስ, የፀሐይ ሕዋሳት, እናMEMS, ከፍተኛ ጥራት ያላቸው የኤሌክትሪክ ግንኙነቶች እና አስተማማኝ የሙቀት አስተዳደር አስፈላጊ ናቸው.
Q5: ወርቅ የዋፈርን አፈፃፀም እንዴት ያሻሽላል?
A5፡ወርቅ ይጨምራልየኤሌክትሪክ ንክኪነት፣ ያረጋግጣልውጤታማ የሙቀት ማባከን, እና ያቀርባልየዝገት መቋቋም, ይህ ሁሉ ለ wafer's አስተዋፅኦ ያደርጋሉአስተማማኝነትእናአፈጻጸምከፍተኛ አፈጻጸም ሴሚኮንዳክተር እና ኦፕቶኤሌክትሮኒክ መሳሪያዎች ውስጥ.
Q6: የወርቅ ሽፋን መሳሪያውን ረጅም ጊዜ እንዴት ይጎዳል?
A6፡የወርቅ ንብርብር ተጨማሪ መከላከያ ይሰጣልኦክሳይድእናዝገት, ማራዘምየህይወት ዘመንበመሳሪያው የስራ ዘመን ሁሉ የተረጋጋ የኤሌክትሪክ እና የሙቀት ባህሪያትን በማረጋገጥ የዋፈር እና የመጨረሻው መሳሪያ።
መደምደሚያ
የእኛ የወርቅ ሽፋን ያለው የሲሊኮን ዋፈርስ ለሴሚኮንዳክተር እና ለኦፕቶኤሌክትሮኒክ አፕሊኬሽኖች የላቀ መፍትሄን ይሰጣል። ከፍተኛ ንፅህና ባለው የወርቅ ንጣፋቸው እነዚህ ዋይፋሪዎች የላቀ የኤሌክትሪክ ምቹነት፣ የሙቀት መበታተን እና የዝገት መቋቋምን ያቀርባሉ፣ ይህም በተለያዩ ወሳኝ አፕሊኬሽኖች ውስጥ ለረጅም ጊዜ የሚቆይ እና አስተማማኝ አፈጻጸምን ያረጋግጣል። በሴሚኮንዳክተር እሽግ፣ በኤልኢዲ ምርት ወይም በፀሃይ ህዋሶች ውስጥ በወርቅ የተለበሱ ዋፍሮቻችን በጣም ለሚያስፈልጉ ሂደቶችዎ ከፍተኛውን ጥራት እና አፈጻጸም ያቀርባሉ።
ዝርዝር ሥዕላዊ መግለጫ
