ለሳፋየር SiC Si የአዮን ቢም ፖሊሽ ማሽን

አጭር መግለጫ፡

የአዮን ጨረር ምስል እና ማጥራት ማሽን የተመሰረተው በአዮን ስፑተርሲንግ መርህ ላይ ነው። በከፍተኛ የቫኩም ክፍል ውስጥ፣ የአዮን ምንጭ ወደ ከፍተኛ ኃይል ወዳለው የአዮን ጨረር የሚፈሰውን ፕላዝማ ያመነጫል። ይህ ጨረር የኦፕቲካል ክፍሉን ወለል ላይ በማጥለቅለቅ እጅግ በጣም ትክክለኛ የሆነ የገጽታ እርማት እና ማጠናቀቅን ያስገኛል።

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

ዝርዝር ዲያግራም

የአዮን ቢም ፖሊሽንግ ማሽን የምርት አጠቃላይ እይታ

እንደ እውቂያ ያልሆነ ሂደት፣ የአዮን ጨረር ፖሊሽንግ ሜካኒካል ውጥረትን ያስወግዳል እና የከርሰ ምድር ጉዳትን ያስወግዳል፣ ይህም በሥነ ፈለክ ጥናት፣ በኤሮስፔስ፣ በሴሚኮንዳክተሮች እና በተራቀቁ የምርምር አፕሊኬሽኖች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸውን ኦፕቲክስ ለማምረት ተስማሚ ያደርገዋል።

የአዮን ቢም ፖሊሽንግ ማሽን የስራ መርህ

የአዮን ትውልድ
የማይንቀሳቀስ ጋዝ (ለምሳሌ፣ አርጎን) ወደ ቫክዩም ክፍሉ ውስጥ ገብቶ በኤሌክትሪክ ፈሳሽ አማካኝነት ionized በማድረግ ፕላዝማ ይፈጥራል።

ማጣደፍ እና የጨረር ምስረታ
አዮኖቹ ወደ ብዙ መቶ ወይም ሺህ የኤሌክትሮን ቮልት (eV) በፍጥነት ይጣደፋሉ እና ወደ የተረጋጋ፣ ትኩረት የተደረገበት የጨረር ቦታ ይቀርጻሉ።

የቁሳቁስ ማስወገጃ
የአዮን ጨረር የኬሚካል ግብረመልሶችን ሳያስጀምር አቶሞችን ከላዩ ላይ በአካል ይረጫል።

የስህተት መለየት እና የመንገድ እቅድ ማውጣት
የወለል አሃዝ ልዩነቶች የሚለኩት በኢንተርፌሮሜትሪ ነው። የማስወገጃ ተግባራት የሚተገበሩት የመቆያ ጊዜዎችን ለመወሰን እና የተመቻቹ የመሳሪያ መንገዶችን ለመፍጠር ነው።

የተዘጋ-ዑደት ማስተካከያ
የRMS/PV ትክክለኛ ኢላማዎች እስኪሳኩ ድረስ ተደጋጋሚ የማቀነባበሪያ እና የመለኪያ ዑደቶች ይቀጥላሉ።

የአዮን ቢም ፖሊሽንግ ማሽን ቁልፍ ባህሪያት

ሁለንተናዊ የወለል ተኳሃኝነት- ጠፍጣፋ፣ ሉላዊ፣ አስፌሪካል እና ነፃ ቅርጽ ያላቸውን ቦታዎች ያዘጋጃል

እጅግ በጣም የተረጋጋ የማስወገጃ ፍጥነት- የንዑስ ናኖሜትር ምስል እርማትን ያነቃል

ጉዳት-ነጻ ሂደት- ምንም አይነት የከርሰ ምድር ጉድለቶች ወይም መዋቅራዊ ለውጦች የሉም

ወጥ የሆነ አፈጻጸም- የተለያዩ ጥንካሬ ባላቸው ቁሳቁሶች ላይ በእኩል መጠን በጥሩ ሁኔታ ይሰራል

ዝቅተኛ/መካከለኛ ድግግሞሽ ማስተካከያ- መካከለኛ/ከፍተኛ ድግግሞሽ ቅርሶችን ሳያመነጩ ስህተቶችን ያስወግዳል

ዝቅተኛ የጥገና መስፈርት- ረጅም ቀጣይነት ያለው አሠራር እና አነስተኛ የማቆሚያ ጊዜ

የአዮን ቢም ፖሊሽንግ ማሽን ዋና ዋና ቴክኒካዊ ዝርዝሮች

እቃ	ዝርዝር መግለጫ
የማቀነባበሪያ ዘዴ	ከፍተኛ የቫክዩም አካባቢ ውስጥ የአዮን ስፕሊትንግ
የሂደት አይነት	እውቂያ የሌለውን ወለል መለየት እና ማጽዳት
ከፍተኛው የስራ ቁራጭ መጠን	Φ4000 ሚሜ
የእንቅስቃሴ ዘንጎች	ባለ 3-ዘንግ / ባለ 5-ዘንግ
የማስወገጃ መረጋጋት	≥95%
የገጽታ ትክክለኛነት	ፒቪ < 10 nm፤ አርኤምኤስ ≤ 0.5 nm (መደበኛ አርኤምኤስ < 1 nm፤ ፒቪ < 15 nm)
የድግግሞሽ ማስተካከያ አቅም	መካከለኛ/ከፍተኛ ድግግሞሽ ስህተቶችን ሳያስተዋውቅ ዝቅተኛ-መካከለኛ ድግግሞሽ ስህተቶችን ያስወግዳል
ቀጣይነት ያለው አሠራር	ከ3-5 ሳምንታት ያለ ቫክዩም ጥገና
የጥገና ወጪ	ዝቅተኛ

የአዮን ቢም ፖሊሽንግ ማሽን የማቀነባበሪያ ችሎታዎች

የሚደገፉ የወለል ዓይነቶች

ቀላል: ጠፍጣፋ፣ ክብ ቅርጽ ያለው፣ ፕሪዝም

ውስብስብ፡ ሲሜትሪክ/አሲሜትሪ አስፌር፣ ከዘንግ ውጪ አስፌር፣ ሲሊንደሪክ

ልዩ፡ እጅግ በጣም ቀጭን ኦፕቲክስ፣ ስላት ኦፕቲክስ፣ ሄሚስፌሪካል ኦፕቲክስ፣ ኮንፎርማል ኦፕቲክስ፣ የደረጃ ሰሌዳዎች፣ ነፃ ቅርፅ ያላቸው ገጽታዎች

የሚደገፉ ቁሳቁሶች

የኦፕቲካል ብርጭቆ፡ ኳርትዝ፣ ማይክሮክሪስታሊን፣ K9፣ ወዘተ.

የኢንፍራሬድ ቁሳቁሶች፡ ሲሊኮን፣ ጀርማኒየም፣ ወዘተ.

ብረቶች: አሉሚኒየም፣ አይዝጌ ብረት፣ ቲታኒየም ቅይጥ፣ ወዘተ.

ክሪስታሎች፡ YAG፣ ነጠላ-ክሪስታል ሲሊከን ካርቦይድ፣ ወዘተ.

ጠንካራ/የተበላሸ ቁሳቁስ፡ ሲሊኮን ካርቦይድ፣ ወዘተ.

የገጽታ ጥራት/ትክክለኛነት

ፒቪ < 10 nm

አርኤምኤስ ≤ 0.5 nm

የአዮን ቢም ፖሊሽንግ ማሽን የጉዳይ ጥናቶችን በማስኬድ ላይ

ኬዝ 1 - መደበኛ ጠፍጣፋ መስታወት

የስራ ቁራጭ፡ D630 ሚሜ ኳርትዝ ጠፍጣፋ

ውጤት፡ PV 46.4 nm፤ RMS 4.63 nm

ኬዝ 2 - የኤክስሬይ አንጸባራቂ መስታወት

የስራ ቁራጭ፡ 150 × 30 ሚሜ የሲሊኮን ጠፍጣፋ

ውጤት፡ PV 8.3 nm፤ RMS 0.379 nm፤ ስሎፕ 0.13 µrad

ኬዝ 3 - ከዘንግ ውጪ መስታወት

የስራ ቦታ፡ D326 ሚሜ ከዘንግ ውጭ የመሬት መስታወት

ውጤት፡ PV 35.9 nm፤ RMS 3.9 nm

የኳርትዝ ብርጭቆዎች ተደጋጋሚ ጥያቄዎች

ተደጋጋሚ ጥያቄዎች - የአዮን ቢም ፖሊሽንግ ማሽን

ጥ 1፡ የአዮን ጨረር ማጥራት ምንድን ነው?
A1፡የአዮን ጨረር ማጥራት (አይዮን ጨረር ማጥራት) ከስራ ቦታ ላይ ያለውን ቁሳቁስ ለማስወገድ ትኩረት የተደረገባቸውን የአዮኖች ጨረር (እንደ አርጎን አየኖች ያሉ) የሚጠቀም ንክኪ የሌለው ሂደት ነው። አዮኖቹ በፍጥነት ወደ ላይኛው ክፍል ይመራሉ፣ ይህም የአቶሚክ ደረጃ ቁሳቁስ እንዲወገድ ያደርጋል፣ ይህም እጅግ በጣም ለስላሳ አጨራረስ ያስከትላል። ይህ ሂደት ሜካኒካል ውጥረትን እና የከርሰ ምድር ጉዳትን ያስወግዳል፣ ይህም ለትክክለኛ የኦፕቲካል ክፍሎች ተስማሚ ያደርገዋል።

ጥ 2፡ የአዮን ቢም ፖሊሽንግ ማሽን ምን አይነት ገጽታዎችን ሊያከናውን ይችላል?
A2፡የየአዮን ጨረር ፖሊሽ ማሽንእንደ ቀላል የኦፕቲካል ክፍሎችን ጨምሮ የተለያዩ ገጽታዎችን ማስኬድ ይችላልጠፍጣፋዎች፣ ሉሎች እና ፕሪዝምእንዲሁም እንደ ውስብስብ ጂኦሜትሪዎችአስፌሮች፣ ከዘንግ ውጪ አስፌሮችእናነፃ ቅርጽ ያላቸው ገጽታዎችበተለይም እንደ ኦፕቲካል ብርጭቆ፣ ኢንፍራሬድ ኦፕቲክስ፣ ብረቶች እና ጠንካራ/የተበላሹ ቁሳቁሶች ባሉ ቁሳቁሶች ላይ ውጤታማ ነው።

ጥ 3፡ የአዮን ቢም ፖሊሽንግ ማሽን ከምን አይነት ቁሳቁሶች ጋር ሊሰራ ይችላል?
A3፡የየአዮን ጨረር ፖሊሽ ማሽንየተለያዩ ቁሳቁሶችን ማጥራት ይችላል፣ ከእነዚህም ውስጥ፡-

የኦፕቲካል ብርጭቆ: ኳርትዝ፣ ማይክሮክሪስታሊን፣ K9፣ ወዘተ.
የኢንፍራሬድ ቁሳቁሶች: ሲሊኮን፣ ጀርማኒየም፣ ወዘተ.
ብረቶች: አሉሚኒየም፣ አይዝጌ ብረት፣ የቲታኒየም ቅይጥ፣ ወዘተ.
የክሪስታል ቁሳቁሶች: YAG፣ ነጠላ-ክሪስታል ሲሊከን ካርቦይድ፣ ወዘተ.
ሌሎች ጠንካራ/የተበላሹ ቁሳቁሶች: ሲሊኮን ካርቦይድ፣ ወዘተ.

ስለ እኛ

XKH በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ልማት፣ ምርት እና ልዩ የኦፕቲካል መስታወት እና አዳዲስ ክሪስታል ቁሳቁሶችን ሽያጭ ላይ ያተኩራል። ምርቶቻችን የኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ፣ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ እና ወታደራዊ አገልግሎት ይሰጣሉ። የሳፋየር ኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የሞባይል ስልክ ሌንስ ሽፋኖችን፣ ሴራሚክስን፣ ኤልቲ፣ ሲሊከን ካርባይድ ሲአይሲ፣ ኳርትዝ እና ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል ዋፈርስን እናቀርባለን። በሙያዊ እውቀት እና ዘመናዊ መሳሪያዎች፣ መደበኛ ባልሆነ የምርት ማቀነባበሪያ ውስጥ የላቀ ችሎታ አለን፣ እናም ግንባር ቀደም የኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቁሶች ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ድርጅት ለመሆን እንጥራለን።