Ion Beam Polishing Machine ለሳፋየር ሲሲሲ ሲ

Ion Beam Polishing Machine for sapphire SiC Si ተለይቶ የቀረበ ምስል

አጭር መግለጫ፡-

የ Ion Beam Figuring እና Polishing Machine በሚለው መርህ ላይ የተመሰረተ ነውion sputtering. ከፍተኛ ክፍተት ባለው ክፍል ውስጥ, የ ion ምንጭ ፕላዝማን ያመነጫል, ይህም ወደ ከፍተኛ ኃይል ion ጨረር ይጨመራል. ይህ ጨረር የኦፕቲካል ክፍላትን ወለል ላይ ቦምብ ይገድባል፣እቃውን በአቶሚክ ሚዛን በማስወገድ እጅግ በጣም ትክክለኛ የሆነ የገጽታ እርማት እና አጨራረስ።

ኢሜይል ይላኩልን።

ባህሪያት

ዝርዝር ሥዕላዊ መግለጫ

Ion Beam Polishing Machine የምርት አጠቃላይ እይታ

የ Ion Beam Figuring እና Polishing Machine በ ion sputtering መርህ ላይ የተመሰረተ ነው. ከፍተኛ ክፍተት ባለው ክፍል ውስጥ, የ ion ምንጭ ፕላዝማን ያመነጫል, ይህም ወደ ከፍተኛ ኃይል ion ጨረር ይጨመራል. ይህ ጨረር የኦፕቲካል ክፍላትን ወለል ላይ ቦምብ ይገድባል፣እቃውን በአቶሚክ ሚዛን በማስወገድ እጅግ በጣም ትክክለኛ የሆነ የገጽታ እርማት እና አጨራረስ።

እንደ ግንኙነት ያልሆነ ሂደት ፣ ion beam polishing የሜካኒካዊ ጭንቀትን ያስወግዳል እና ከመሬት በታች ያሉ ጉዳቶችን ያስወግዳል ፣ ይህም በአስትሮኖሚ ፣ በአይሮስፔስ ፣ በሴሚኮንዳክተሮች እና የላቀ የምርምር አፕሊኬሽኖች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ ከፍተኛ ትክክለኛነትን ኦፕቲክስ ለማምረት ተስማሚ ያደርገዋል ።

የ Ion Beam Polishing Machine የስራ መርህ

ion ትውልድ
የማይነቃነቅ ጋዝ (ለምሳሌ፣ argon) ወደ ቫክዩም ቻምበር ውስጥ ይገባል እና ionized በኤሌክትሪክ ፈሳሽ በኩል ወደ ፕላዝማ ይመሰረታል።

ማጣደፍ እና የጨረር ምስረታ
ionዎቹ ወደ ብዙ መቶ ወይም ሺህ ኤሌክትሮኖች ቮልት (ኢቪ) የተፋጠነ እና የተረጋጋ፣ ያተኮረ የጨረር ቦታ ቅርጽ አላቸው።

የቁሳቁስ ማስወገድ
የ ion beam ኬሚካዊ ግብረመልሶችን ሳያስጀምር በሰውነት ላይ አቶሞችን ከውስጥ ይረጫል።

የስህተት ማወቂያ እና መንገድ ማቀድ
የገጽታ ስእል መዛባት የሚለካው በኢንተርፌሮሜትሪ ነው። የማስወገጃ ተግባራት የሚተገበሩት የመኖሪያ ጊዜዎችን ለመወሰን እና የተመቻቹ የመሳሪያ መንገዶችን ለማመንጨት ነው።

የተዘጋ-ሉፕ እርማት
RMS/PV ትክክለኛ ኢላማዎች እስኪሳኩ ድረስ ተደጋጋሚ የማቀነባበር እና የመለኪያ ዑደቶች ይቀጥላሉ ።

የ Ion Beam Polishing Machine ቁልፍ ባህሪያት

ሁለንተናዊ የገጽታ ተኳኋኝነት– ጠፍጣፋ፣ ሉላዊ፣ አስፈሪ እና ነጻ የሆኑ ንጣፎችን ያስኬዳል

እጅግ በጣም የተረጋጋ የማስወገድ መጠን– የንዑስ ናኖሜትር አሃዝ እርማትን ያስችላል

ከጉዳት ነጻ የሆነ ሂደት- ምንም የከርሰ ምድር ጉድለቶች ወይም መዋቅራዊ ለውጦች የሉም

ወጥነት ያለው አፈጻጸም- በተለዋዋጭ ጥንካሬ ቁሳቁሶች ላይ በእኩልነት ይሰራል

ዝቅተኛ/መካከለኛ ድግግሞሽ እርማት- መካከለኛ/ከፍተኛ ድግግሞሽ ቅርሶችን ሳያመነጭ ስህተቶችን ያስወግዳል

ዝቅተኛ የጥገና መስፈርት- ረጅም ቀጣይነት ያለው ክዋኔ ከዝቅተኛ ጊዜ ጋር

የ Ion Beam Polishing Machine ዋና ቴክኒካዊ ዝርዝሮች

ንጥል	ዝርዝር መግለጫ
የማስኬጃ ዘዴ	ከፍተኛ-vacuum አካባቢ ውስጥ ion sputtering
የማስኬጃ አይነት	ግንኙነት የሌለው የገጽታ ምስል እና መሳል
ከፍተኛ የስራ ቁራጭ መጠን	Φ4000 ሚሜ
Motion Axes	3-ዘንግ / 5-ዘንግ
የማስወገድ መረጋጋት	≥95%
የገጽታ ትክክለኛነት	ፒቪ <10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (የተለመደ RMS< 1 nm፤ PV < 15 nm)
የድግግሞሽ ማስተካከያ ችሎታ	መካከለኛ/ከፍተኛ ድግግሞሽ ስህተቶችን ሳያስተዋውቅ ዝቅተኛ-መካከለኛ ድግግሞሽ ስህተቶችን ያስወግዳል
ቀጣይነት ያለው ክዋኔ	ከ3-5 ሳምንታት ያለ የቫኩም ጥገና
የጥገና ወጪ	ዝቅተኛ

የ Ion Beam Polishing Machine የማቀነባበር ችሎታዎች

የሚደገፉ የወለል ዓይነቶች

ቀላል፡ ጠፍጣፋ፣ ሉላዊ፣ ፕሪዝም

ውስብስብ፡ ሲሜትሪክ/አሲሜትሪክ አስፌር፣ ከዘንግ ውጪ አስፌር፣ ሲሊንደሪክ

ልዩ፡ እጅግ በጣም ቀጭን ኦፕቲክስ፣ ስላት ኦፕቲክስ፣ hemispherical optics፣ conformal optics፣ phase plates፣ freeform surfaces

የሚደገፉ ቁሳቁሶች

የኦፕቲካል ብርጭቆ: ኳርትዝ, ማይክሮ ክሪስታል, K9, ወዘተ.

የኢንፍራሬድ ቁሶች: ሲሊኮን, ጀርመኒየም, ወዘተ.

ብረቶች: አሉሚኒየም, አይዝጌ ብረት, የታይታኒየም ቅይጥ, ወዘተ.

ክሪስታሎች: YAG, ነጠላ-ክሪስታል ሲሊከን ካርቦይድ, ወዘተ.

ጠንካራ/የሚሰባበር ቁሶች፡- ሲሊኮን ካርቦይድ ወዘተ.

የገጽታ ጥራት / ትክክለኛነት

ፒቪ <10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

የ Ion Beam Polishing Machine የጉዳይ ጥናቶችን ማካሄድ

ጉዳይ 1 - መደበኛ ጠፍጣፋ መስታወት

የስራ ቦታ: D630 ሚሜ ኳርትዝ ጠፍጣፋ

ውጤት: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

ጉዳይ 2 - የኤክስሬይ አንጸባራቂ መስታወት

የስራ ቦታ: 150 × 30 ሚሜ የሲሊኮን ጠፍጣፋ

ውጤት: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; ተዳፋት 0.13 µrad

ጉዳይ 3 - ከዘንግ ውጭ መስታወት

የስራ ቦታ፡-D326 ሚሜ ከዘንግ ውጭ የሆነ የመሬት መስታወት

ውጤት: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

የኳርትዝ ብርጭቆዎች የሚጠየቁ ጥያቄዎች

ተደጋጋሚ ጥያቄዎች - Ion Beam Polishing Machine

Q1: ion beam polishing ምንድን ነው?
A1፡Ion beam polishing (እንደ አርጎን ions ያሉ) ከ workpiece ወለል ላይ ቁሳቁሶችን ለማስወገድ ትኩረት የተደረገበት የions ጨረር የሚጠቀም ግንኙነት የሌለው ሂደት ነው። ionዎቹ የተጣደፉ እና ወደ ላይኛው አቅጣጫ ይመራሉ፣ ይህም የአቶሚክ ደረጃ ቁሳቁሱን እንዲወገድ ያደርጋል፣ ይህም እጅግ በጣም ለስላሳ የሆነ አጨራረስ ያስከትላል። ይህ ሂደት የሜካኒካዊ ጭንቀትን እና የከርሰ ምድር መጎዳትን ያስወግዳል, ይህም ለትክክለኛው የኦፕቲካል ክፍሎች ተስማሚ ነው.

Q2: Ion Beam Polishing Machine ምን አይነት ንጣፎችን ሊሰራ ይችላል?
A2፡የIon Beam Polishing Machineእንደ ቀላል የኦፕቲካል ክፍሎችን ጨምሮ የተለያዩ ንጣፎችን ማካሄድ ይችላል።ጠፍጣፋ, ሉል እና ፕሪዝም, እንዲሁም እንደ ውስብስብ ጂኦሜትሪaspheres፣ ከዘንግ ውጪ አስፋሮች, እናነፃ ቅርጾች. በተለይም እንደ ኦፕቲካል መስታወት፣ ኢንፍራሬድ ኦፕቲክስ፣ ብረታ ብረት እና ጠንካራ/ሚሰባበር ቁሶች ላይ ውጤታማ ነው።

Q3: Ion Beam Polishing Machine ከየትኞቹ ቁሳቁሶች ጋር ሊሠራ ይችላል?
A3፡የIon Beam Polishing Machineየሚከተሉትን ጨምሮ የተለያዩ ቁሳቁሶችን ማፅዳት ይችላል-

የኦፕቲካል ብርጭቆ: ኳርትዝ ፣ ማይክሮ ክሪስታሊን ፣ K9 ፣ ወዘተ.
የኢንፍራሬድ ቁሶች: ሲሊኮን, ጀርመኒየም, ወዘተ.
ብረቶች: አሉሚኒየም, አይዝጌ ብረት, የታይታኒየም ቅይጥ, ወዘተ.
ክሪስታል ቁሶች: YAG, ነጠላ-ክሪስታል ሲሊከን ካርቦይድ, ወዘተ.
ሌሎች ጠንካራ/የሚሰባበሩ ቁሶች: ሲሊኮን ካርቦይድ, ወዘተ.

ስለ እኛ

XKH በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ልማት፣ ምርት እና ልዩ የኦፕቲካል መስታወት እና አዲስ ክሪስታል ቁሶች ሽያጭ ላይ ያተኮረ ነው። የእኛ ምርቶች ኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ፣ የሸማች ኤሌክትሮኒክስ እና ወታደራዊ አገልግሎት ይሰጣሉ። የሳፒየር ኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የሞባይል ስልክ ሌንስ ሽፋኖችን፣ ሴራሚክስ፣ LT፣ ሲሊኮን ካርቦይድ ኤስአይሲ፣ ኳርትዝ እና ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል ዋፈርዎችን እናቀርባለን። በሰለጠነ ችሎታ እና በቴክኖሎጂ መሳሪያዎች ግንባር ቀደም የኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቁሶች ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ኢንተርፕራይዝ ለመሆን በማቀድ መደበኛ ባልሆኑ የምርት ማቀነባበሪያዎች እንበልጣለን ።