የማይክሮጄት ሌዘር ቴክኖሎጂ መሳሪያዎች የ Wafer መቁረጫ SiC ቁሳቁስ ማቀነባበሪያ
የአሠራር መርህ;
1. ሌዘር መጋጠሚያ፡ pulsed laser (UV/አረንጓዴ/ኢንፍራሬድ) በፈሳሽ ጄት ውስጥ የተረጋጋ የኃይል ማስተላለፊያ ቻናል ለመፍጠር ያተኮረ ነው።
2. ፈሳሽ መመሪያ፡- ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ጄት (የፍሰት መጠን 50-200ሜ/ሰ) የማቀነባበሪያውን ቦታ ማቀዝቀዝ እና የሙቀት መከማቸትን እና ብክለትን ለማስወገድ ፍርስራሹን ያስወግዳል።
3. የቁሳቁስ ማስወገጃ፡- የሌዘር ኢነርጂ ቁሳቁሱ ቀዝቃዛ ሂደትን ለማግኘት በፈሳሽ ውስጥ የመቦርቦርን ውጤት ያስከትላል (በሙቀት የተጎዳ ዞን <1μm)።
4. ተለዋዋጭ ቁጥጥር: የተለያዩ ቁሳቁሶችን እና መዋቅሮችን ፍላጎቶች ለማሟላት የሌዘር መለኪያዎች (ኃይል, ድግግሞሽ) እና የጄት ግፊት በእውነተኛ ጊዜ ማስተካከል.
ቁልፍ መለኪያዎች
1. ሌዘር ኃይል: 10-500W (የሚስተካከል)
2. የጄት ዲያሜትር: 50-300μm
3.Machining ትክክለኛነት: ± 0.5μm (መቁረጥ), ጥልቀት ወደ ስፋት ጥምርታ 10: 1 (ቁፋሮ)
ቴክኒካዊ ጥቅሞች:
(1) የሙቀት ጉዳት ከሞላ ጎደል ዜሮ
- ፈሳሽ ጄት ማቀዝቀዣ በሙቀት የተጎዳውን ዞን (HAZ) ወደ **<1μm** ይቆጣጠራል, በተለመደው የሌዘር ማቀነባበሪያ ምክንያት የሚመጡ ጥቃቅን ስንጥቆችን ያስወግዳል (HAZ ብዙውን ጊዜ> 10μm ነው).
(2) እጅግ በጣም ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው ማሽን
- የመቁረጥ / የመቆፈር ትክክለኛነት እስከ ** ± 0.5μm **, የጠርዝ ሻካራነት ራ<0.2μm, ቀጣይ የጽዳት ፍላጎትን ይቀንሳል.
- ውስብስብ የ3-ል መዋቅር ሂደትን ይደግፉ (እንደ ሾጣጣ ቀዳዳዎች ፣ ቅርፅ ያላቸው ክፍተቶች)።
(3) ሰፊ የቁስ ተኳኋኝነት
- ጠንካራ እና ብስባሽ ቁሶች: ሲሲ, ሰንፔር, ብርጭቆ, ሴራሚክስ (ባህላዊ ዘዴዎች ለመሰባበር ቀላል ናቸው).
- ሙቀትን የሚነኩ ቁሶች: ፖሊመሮች, ባዮሎጂካል ቲሹዎች (የሙቀት ዲንቴሽን ምንም አደጋ የለም).
(4) የአካባቢ ጥበቃ እና ቅልጥፍና
- ምንም የአቧራ ብክለት የለም, ፈሳሽ እንደገና ጥቅም ላይ ሊውል እና ሊጣራ ይችላል.
- 30% -50% የማቀነባበሪያ ፍጥነት መጨመር (ከማሽን ጋር ሲነጻጸር).
(5) ብልህ ቁጥጥር
- የተቀናጀ የእይታ አቀማመጥ እና የ AI መለኪያ ማመቻቸት ፣ የሚለምደዉ የቁስ ውፍረት እና ጉድለቶች።
ቴክኒካዊ ዝርዝሮች;
| የቆጣሪ ድምጽ | 300*300*150 | 400*400*200 |
| መስመራዊ ዘንግ XY | መስመራዊ ሞተር. መስመራዊ ሞተር | መስመራዊ ሞተር. መስመራዊ ሞተር |
| መስመራዊ ዘንግ Z | 150 | 200 |
| የአቀማመጥ ትክክለኛነት μm | +/-5 | +/-5 |
| ተደጋጋሚ አቀማመጥ ትክክለኛነት μm | +/-2 | +/-2 |
| ማጣደፍ ጂ | 1 | 0.29 |
| የቁጥር ቁጥጥር | 3 ዘንግ / 3+1 ዘንግ / 3+2 ዘንግ | 3 ዘንግ / 3+1 ዘንግ / 3+2 ዘንግ |
| የቁጥር ቁጥጥር አይነት | DPSS ንድ፡ YAG | DPSS ንድ፡ YAG |
| የሞገድ ርዝመት nm | 532/1064 | 532/1064 |
| ደረጃ የተሰጠው ኃይል W | 50/100/200 | 50/100/200 |
| የውሃ ጄት | 40-100 | 40-100 |
| የኖዝል ግፊት አሞሌ | 50-100 | 50-600 |
| ልኬቶች (የማሽን መሳሪያ) (ስፋት * ርዝመት * ቁመት) ሚሜ | 1445*1944*2260 | 1700*1500*2120 |
| መጠን (የቁጥጥር ካቢኔ) (W * L * H) | 700*2500*1600 | 700*2500*1600 |
| ክብደት (መሳሪያ) ቲ | 2.5 | 3 |
| ክብደት (የቁጥጥር ካቢኔ) ኪ.ግ | 800 | 800 |
| የማቀነባበር ችሎታ | የገጽታ ሸካራነት Ra≤1.6um የመክፈቻ ፍጥነት ≥1.25mm/s ዙሪያ መቁረጥ ≥6mm/s መስመራዊ የመቁረጥ ፍጥነት ≥50mm/s | የገጽታ ሸካራነት Ra≤1.2um የመክፈቻ ፍጥነት ≥1.25mm/s ዙሪያ መቁረጥ ≥6mm/s መስመራዊ የመቁረጥ ፍጥነት ≥50mm/s |
| ለጋሊየም ናይትራይድ ክሪስታል ፣ እጅግ በጣም ሰፊ የባንድ ክፍተት ሴሚኮንዳክተር ቁሶች (አልማዝ / ጋሊየም ኦክሳይድ) ፣ ኤሮስፔስ ልዩ ቁሶች ፣ LTCC የካርቦን ሴራሚክ ንጣፍ ፣ የፎቶቮልታይክ ፣ scintillator ክሪስታል እና ሌሎች ቁሳቁሶች ማቀነባበሪያ። ማሳሰቢያ: የማቀነባበር አቅም እንደ ቁሳቁስ ባህሪያት ይለያያል
| ||
የማስኬጃ መያዣ፡
የ XKH አገልግሎቶች፡-
XKH ከመጀመሪያ ሂደት ልማት እና መሳሪያዎች ምርጫ ምክክር ጀምሮ ማይክሮጄት ሌዘር ቴክኖሎጂ መሣሪያዎች ሙሉ የሕይወት ዑደት አገልግሎት ድጋፍ, አጋማሽ-ጊዜ ብጁ ሥርዓት ውህደት (የሌዘር ምንጭ, ጄት ሥርዓት እና አውቶማቲክ ሞጁል ያለውን ልዩ ተዛማጅ ጨምሮ), ወደ በኋላ ቀዶ ጥገና እና ጥገና ስልጠና እና ቀጣይነት ያለው ሂደት ማመቻቸት, አጠቃላይ ሂደቱ ሙያዊ የቴክኒክ ቡድን ድጋፍ ጋር የታጠቁ ነው; የ20 ዓመታት ትክክለኛ የማሽን ልምድን መሰረት በማድረግ ለተለያዩ ኢንዱስትሪዎች እንደ ሴሚኮንዳክተር እና ሜዲካል ላሉ ኢንዱስትሪዎች የመሳሪያ ማረጋገጫ፣ የጅምላ ምርት መግቢያ እና ከሽያጭ በኋላ ፈጣን ምላሽ (የ24 ሰአታት የቴክኒክ ድጋፍ + ቁልፍ መለዋወጫ ክምችት) ጨምሮ የአንድ-ማቆሚያ መፍትሄዎችን እናቀርባለን። የደንበኛ መሳሪያዎች ሁልጊዜ የኢንዱስትሪ-መሪ ሂደት አፈፃፀም እና መረጋጋትን እንደሚጠብቁ ያረጋግጡ።
ዝርዝር ሥዕላዊ መግለጫ
