የማይክሮጄት ሌዘር ቴክኖሎጂ መሳሪያዎች የዋፈር መቁረጥ SiC ቁሳቁስ ማቀነባበሪያ
የአሠራር መርህ፡
1. የሌዘር ማያያዣ፡- የተወዛወዘ ሌዘር (UV/አረንጓዴ/ኢንፍራሬድ) በፈሳሽ ጄት ውስጥ በማተኮር የተረጋጋ የኃይል ማስተላለፊያ ቻናል ይፈጥራል።
2. ፈሳሽ መመሪያ፡- ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ጄት (የፍሰት መጠን ከ50-200ሜ/ሰ) የሙቀት ክምችትንና ብክለትን ለማስወገድ የማቀነባበሪያ ቦታውን ማቀዝቀዝ እና ፍርስራሾችን ማስወገድ።
3. የቁሳቁስ ማስወገድ፡ የሌዘር ኃይል በፈሳሹ ውስጥ የካቪቴሽን ውጤት ያስከትላል፣ ይህም ቁሱ ቀዝቃዛ ሂደትን (በሙቀት የተጎዳው ዞን <1μm) ለማሳካት ያስችላል።
4. ተለዋዋጭ ቁጥጥር፡ የተለያዩ ቁሳቁሶችን እና መዋቅሮችን ፍላጎቶች ለማሟላት የሌዘር መለኪያዎችን (ኃይል፣ ድግግሞሽ) እና የጄት ግፊትን በእውነተኛ ጊዜ ማስተካከል።
ቁልፍ መለኪያዎች፡
1. የሌዘር ኃይል፡ 10-500 ዋት (ሊስተካከል የሚችል)
2. የጄት ዲያሜትር፡ 50-300μm
3. የማሽን ትክክለኛነት፡ ±0.5μm (መቁረጥ)፣ ጥልቀት እስከ ስፋት ጥምርታ 10:1 (ቁፋሮ)
የቴክኒክ ጥቅሞች፡
(1) የሙቀት ጉዳት ዜሮ ማለት ይቻላል
- ፈሳሽ ጄት ማቀዝቀዣ በሙቀት የተጎዳውን ዞን (HAZ) እስከ **<1μm** ድረስ ይቆጣጠራል፣ ይህም በተለመደው የሌዘር ማቀነባበሪያ ምክንያት የሚከሰቱ ጥቃቅን ስንጥቆችን ያስወግዳል (HAZ ብዙውን ጊዜ ከ10μm በላይ ነው)።
(2) እጅግ በጣም ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው ማሽን
- እስከ **±0.5μm** ድረስ የመቁረጥ/የመቆፈር ትክክለኛነት፣ የጠርዝ ሸካራነት Ra<0.2μm፣ ለቀጣይ የማጥራት አስፈላጊነትን ይቀንሳል።
- ውስብስብ የ3-ልኬት መዋቅር ሂደትን ይደግፉ (እንደ ሾጣጣ ቀዳዳዎች፣ ቅርጽ ያላቸው ቦታዎች)።
(3) ሰፊ የቁሳቁስ ተኳሃኝነት
- ጠንካራ እና የተሰበረ ቁሶች፡ SiC፣ ሰንፔር፣ ብርጭቆ፣ ሴራሚክስ (ባህላዊ ዘዴዎች ለመስበር ቀላል ናቸው)።
- ለሙቀት ስሜታዊ የሆኑ ቁሳቁሶች፡ ፖሊመሮች፣ ባዮሎጂካል ቲሹዎች (የሙቀት ዲናቱሬሽን አደጋ የለም)።
(4) የአካባቢ ጥበቃ እና ቅልጥፍና
- የአቧራ ብክለት የለም፣ ፈሳሹ እንደገና ጥቅም ላይ ሊውል እና ሊጣራ ይችላል።
- የማቀነባበሪያ ፍጥነት ከ30%-50% ጭማሪ (ከማሽን ጋር ሲነጻጸር)።
(5) ብልህ ቁጥጥር
- የተቀናጀ የእይታ አቀማመጥ እና የ AI መለኪያ ማመቻቸት፣ ተለዋዋጭ የቁሳቁስ ውፍረት እና ጉድለቶች።
ቴክኒካዊ ዝርዝሮች፡
| የጠረጴዛው መጠን | 300*300*150 | 400*400*200 |
| መስመራዊ ዘንግ XY | ሊኒያር ሞተር። ሊኒያር ሞተር | ሊኒያር ሞተር። ሊኒያር ሞተር |
| መስመራዊ ዘንግ ዜድ | 150 | 200 |
| የአቀማመጥ ትክክለኛነት μm | +/-5 | +/-5 |
| ተደጋጋሚ የአቀማመጥ ትክክለኛነት μm | +/-2 | +/-2 |
| ማጣደፍ ጂ | 1 | 0.29 |
| የቁጥር ቁጥጥር | 3 ዘንግ /3+1 ዘንግ /3+2 ዘንግ | 3 ዘንግ /3+1 ዘንግ /3+2 ዘንግ |
| የቁጥር መቆጣጠሪያ አይነት | DPSS Nd:YAG | DPSS Nd:YAG |
| የሞገድ ርዝመት nm | 532/1064 | 532/1064 |
| ደረጃ የተሰጠው ኃይል W | 50/100/200 | 50/100/200 |
| የውሃ ጄት | 40-100 | 40-100 |
| የአፍንጫ ግፊት አሞሌ | 50-100 | 50-600 |
| ልኬቶች (የማሽን መሳሪያ) (ስፋት * ርዝመት * ቁመት) ሚሜ | 1445*1944*2260 | 1700*1500*2120 |
| መጠን (የቁጥጥር ካቢኔት) (ወ * ሊ * ሸ) | 700*2500*1600 | 700*2500*1600 |
| ክብደት (መሳሪያ) ቲ | 2.5 | 3 |
| ክብደት (የቁጥጥር ካቢኔት) ኪ.ግ | 800 | 800 |
| የማስኬድ አቅም | የወለል ሸካራነት Ra≤1.6um የመክፈቻ ፍጥነት ≥1.25ሚሜ/ሰ የክብ ቅርጽ መቁረጥ ≥6ሚሜ/ሰ መስመራዊ የመቁረጥ ፍጥነት ≥50ሚሜ/ሰ | የወለል ሸካራነት Ra≤1.2um የመክፈቻ ፍጥነት ≥1.25ሚሜ/ሰ የክብ ቅርጽ መቁረጥ ≥6ሚሜ/ሰ መስመራዊ የመቁረጥ ፍጥነት ≥50ሚሜ/ሰ |
| ለጋሊየም ናይትራይድ ክሪስታል፣ እጅግ ሰፊ ባንድ ክፍተት ሴሚኮንዳክተር ቁሶች (ዳይመንድ/ጋሊየም ኦክሳይድ)፣ ለኤሮስፔስ ልዩ ቁሶች፣ ለኤልቲሲሲ የካርቦን ሴራሚክ ንጣፍ፣ ለፎቶቮልታይክ፣ ለስካንቲለተር ክሪስታል እና ለሌሎች የቁሳቁስ ማቀነባበሪያዎች። ማሳሰቢያ፡ የማቀነባበሪያ አቅም እንደ ቁሳቁስ ባህሪያት ይለያያል
| ||
የሂደት ጉዳይ፡
የXKH አገልግሎቶች፡
XKH ለማይክሮጄት ሌዘር ቴክኖሎጂ መሳሪያዎች ሙሉ የህይወት ዑደት አገልግሎት ድጋፍ ይሰጣል፣ ከቅድመ ሂደት ልማት እና የመሳሪያ ምርጫ ምክክር ጀምሮ እስከ መካከለኛ ጊዜ ብጁ የስርዓት ውህደት (የሌዘር ምንጭ፣ የጄት ሲስተም እና አውቶሜሽን ሞጁል ልዩ ማዛመድን ጨምሮ)፣ እስከ በኋላ ላይ የአሠራር እና የጥገና ስልጠና እና ቀጣይነት ያለው የሂደት ማመቻቸት ድረስ፣ አጠቃላይ ሂደቱ በባለሙያ የቴክኒክ ቡድን ድጋፍ የታጠቀ ነው፤ በ20 ዓመታት ትክክለኛ የማሽን ልምድ ላይ በመመስረት፣ እንደ ሴሚኮንዳክተር እና ህክምና ላሉ የተለያዩ ኢንዱስትሪዎች የመሳሪያ ማረጋገጫ፣ የጅምላ ምርት ማስተዋወቅ እና ከሽያጭ በኋላ ፈጣን ምላሽ (24 ሰዓታት የቴክኒክ ድጋፍ + ቁልፍ የመለዋወጫ ክፍሎች ክምችት) ያሉ አንድ ማቆሚያ መፍትሄዎችን ማቅረብ እንችላለን፣ እና ለ12 ወራት የሚቆይ ዋስትና እና የዕድሜ ልክ ጥገና እና የማሻሻያ አገልግሎት ቃል እንገባለን። የደንበኞች መሳሪያዎች ሁልጊዜ በኢንዱስትሪው ውስጥ መሪ የሆነ የማቀነባበሪያ አፈፃፀም እና መረጋጋት እንዲጠብቁ ያረጋግጡ።
ዝርዝር ዲያግራም
