በዋፈር ማኑፋክቸሪንግ ውስጥ የ SPC ስርዓትን በጥልቀት መረዳት

1. የSPC ስርዓት አጠቃላይ እይታ

SPC የማኑፋክቸሪንግ ሂደቶችን ለመከታተል እና ለመቆጣጠር የስታቲስቲክስ ቴክኒኮችን የሚጠቀም ዘዴ ነው። ዋናው ተግባሩ በእውነተኛ ጊዜ መረጃዎችን በመሰብሰብ እና በመተንተን በምርት ሂደቱ ውስጥ ያልተለመዱ ነገሮችን መለየት፣ መሐንዲሶች ወቅታዊ ማስተካከያዎችን እና ውሳኔዎችን እንዲያደርጉ በመርዳት ነው። የSPC ግብ በምርት ሂደቱ ውስጥ ያለውን ልዩነት መቀነስ፣ የምርት ጥራት የተረጋጋ ሆኖ እንዲቆይ እና ዝርዝር ሁኔታዎችን የሚያሟላ መሆኑን ማረጋገጥ ነው።

SPC በመቅረጽ ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው ለሚከተሉት ነው፡

ወሳኝ የሆኑ የመሳሪያ መለኪያዎችን ይከታተሉ (ለምሳሌ፣ የኤች መጠን፣ የRF ኃይል፣ የክፍል ግፊት፣ የሙቀት መጠን፣ ወዘተ)

ቁልፍ የምርት ጥራት አመልካቾችን ይተንትኑ (ለምሳሌ፣ የመስመር ስፋት፣ የጥፍር ጥልቀት፣ የጠርዝ ሸካራነት፣ ወዘተ)

እነዚህን መለኪያዎች በመከታተል፣ መሐንዲሶች በምርት ሂደቱ ውስጥ የመሳሪያዎችን አፈጻጸም መበላሸት ወይም ልዩነቶችን የሚያመለክቱ አዝማሚያዎችን መለየት ይችላሉ፣ በዚህም የቆሻሻ መጣያ መጠኖችን ይቀንሳሉ።

2. የ SPC ስርዓት መሰረታዊ ክፍሎች

የ SPC ስርዓት በርካታ ቁልፍ ሞጁሎችን ያቀፈ ነው-

የውሂብ አሰባሰብ ሞዱል፡ ከመሳሪያዎች እና ከሂደት ፍሰቶች (ለምሳሌ፣ በኤፍዲሲ፣ ኢኢኤስ ስርዓቶች) የእውነተኛ ጊዜ መረጃን ይሰበስባል እና አስፈላጊ መለኪያዎችን እና የምርት ውጤቶችን ይመዘግባል።

የመቆጣጠሪያ ገበታ ሞዱል፡ የሂደቱን መረጋጋት በዓይነ ሕሊናችን ለማየት እና ሂደቱ በቁጥጥር ስር መሆኑን ለማወቅ የስታቲስቲክስ ቁጥጥር ገበታዎችን (ለምሳሌ፣ የX-Bar ገበታ፣ የR ገበታ፣ የCp/Cpk ገበታ) ይጠቀማል።

የማንቂያ ስርዓት፡- ወሳኝ መለኪያዎች ከቁጥጥር ገደቦች በላይ ሲሄዱ ወይም የአዝማሚያ ለውጦችን ሲያሳዩ ማንቂያዎችን ያስነሳል፣ ይህም መሐንዲሶች እርምጃ እንዲወስዱ ያነሳሳል።

የትንታኔ እና የሪፖርት ማቅረቢያ ሞጁል፡- በSPC ገበታዎች ላይ በመመስረት ያልተለመዱ ነገሮችን ዋና መንስኤ ይተነትናል እና ለሂደቱ እና ለመሳሪያዎቹ የአፈጻጸም ሪፖርቶችን በየጊዜው ያመነጫል።

3. በ SPC ውስጥ የቁጥጥር ገበታዎች ዝርዝር ማብራሪያ

የቁጥጥር ገበታዎች በSPC ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ ከሚውሉ መሳሪያዎች ውስጥ አንዱ ሲሆኑ፣ "መደበኛ ልዩነት" (በተፈጥሮ ሂደት ልዩነቶች ምክንያት የሚመጣ) እና "ያልተለመደ ልዩነት" (በመሳሪያ ውድቀቶች ወይም በሂደት መዛባት ምክንያት የሚመጣ) መካከል ለመለየት ይረዳሉ። የተለመዱ የቁጥጥር ገበታዎች የሚከተሉትን ያካትታሉ፡

የኤክስ-ባር እና የR ገበታዎች፡- ሂደቱ የተረጋጋ መሆኑን ለማየት በምርት ስብስቦች ውስጥ ያለውን አማካይ እና ክልል ለመከታተል ይጠቅማል።

የሲፒ እና የሲፒኬ አመላካቾች፡- የሂደት አቅምን ለመለካት ጥቅም ላይ ይውላል፣ ማለትም የሂደቱ ውጤት የዝርዝር መስፈርቶችን በተከታታይ ማሟላት ይችል እንደሆነ። ሲፒኬ እምቅ አቅምን ይለካል፣ ሲፒኬ ደግሞ የሂደት ማዕከሉን ከዝርዝር ገደቦች ማዛወርን ይመለከታል።

ለምሳሌ፣ በመቅረጽ ሂደት ውስጥ፣ እንደ መቅረጽ ፍጥነት እና የወለል ሸካራነት ያሉ መለኪያዎችን መከታተል ይችላሉ። የአንድ የተወሰነ የመሳሪያ ክፍል የመቅረጽ ፍጥነት ከቁጥጥር ገደቡ በላይ ከሆነ፣ ይህ የተፈጥሮ ልዩነት ወይም የመሳሪያ ብልሽት ምልክት መሆኑን ለማወቅ የቁጥጥር ገበታዎችን መጠቀም ይችላሉ።

4. በቅርጫት መሳሪያዎች ውስጥ የ SPC አተገባበር

በመቅረጽ ሂደት ውስጥ የመሳሪያ መለኪያዎችን መቆጣጠር ወሳኝ ነው፣ እና SPC በሚከተሉት መንገዶች የሂደቱን መረጋጋት ለማሻሻል ይረዳል፡

የመሳሪያዎች ሁኔታ ክትትል፡ እንደ FDC ያሉ ስርዓቶች በቅርጫት መሳሪያዎች ቁልፍ መለኪያዎች (ለምሳሌ፣ የRF ኃይል፣ የጋዝ ፍሰት) ላይ የእውነተኛ ጊዜ ውሂብ ይሰበስባሉ እና ይህንን መረጃ ከ SPC መቆጣጠሪያ ገበታዎች ጋር በማጣመር ሊሆኑ የሚችሉ የመሳሪያ ችግሮችን መለየት ይችላሉ። ለምሳሌ፣ በቁጥጥር ገበታ ላይ ያለው የRF ኃይል ከተወሰነው እሴት ቀስ በቀስ እየራቀ መሆኑን ካዩ፣ የምርት ጥራት ላይ ተጽዕኖ እንዳያሳድር ለማስተካከል ወይም ለጥገና ቀደም ብለው እርምጃ መውሰድ ይችላሉ።

የምርት ጥራት ክትትል፡- እንዲሁም ቁልፍ የምርት ጥራት መለኪያዎችን (ለምሳሌ፣ የመለጠጥ ጥልቀት፣ የመስመር ስፋት) ወደ SPC ሲስተም ማስገባት ይችላሉ። አንዳንድ ወሳኝ የምርት አመልካቾች ቀስ በቀስ ከዒላማ እሴቶች የሚለዩ ከሆነ፣ የSPC ስርዓቱ ማንቂያ ያወጣል፣ ይህም የሂደት ማስተካከያዎች እንደሚያስፈልጉ ያሳያል።

የመከላከያ ጥገና (PM): SPC ለመሳሪያዎች የመከላከያ ጥገና ዑደትን ለማመቻቸት ይረዳል። በመሳሪያዎች አፈጻጸም እና በሂደቱ ውጤቶች ላይ የረጅም ጊዜ መረጃን በመተንተን፣ ለመሳሪያዎች ጥገና ተስማሚውን ጊዜ መወሰን ይችላሉ። ለምሳሌ፣ የRF ኃይልን እና የESC የህይወት ዘመንን በመከታተል፣ የጽዳት ወይም የክፍሉን መተካት መቼ እንደሚያስፈልግ መወሰን፣ የመሳሪያዎች ውድቀት መጠኖችን እና የምርት ማቆያ ጊዜን መቀነስ ይችላሉ።

5. ለ SPC ስርዓት ዕለታዊ የአጠቃቀም ምክሮች

በዕለት ተዕለት ስራዎች ውስጥ የ SPC ስርዓትን ሲጠቀሙ የሚከተሉትን ደረጃዎች መከተል ይችላሉ:

የቁልፍ መቆጣጠሪያ መለኪያዎችን (KPI) ይግለጹ፡- በምርት ሂደት ውስጥ በጣም አስፈላጊ የሆኑትን መለኪያዎች ይለዩ እና በSPC ክትትል ውስጥ ያካትቱ። እነዚህ መለኪያዎች ከምርት ጥራት እና ከመሳሪያዎች አፈጻጸም ጋር በቅርበት የተቆራኙ መሆን አለባቸው።

የመቆጣጠሪያ ገደቦችን እና የማንቂያ ገደቦችን ያዘጋጁ፡- በታሪካዊ መረጃ እና የሂደት መስፈርቶች ላይ በመመስረት፣ ለእያንዳንዱ መለኪያ ምክንያታዊ የቁጥጥር ገደቦችን እና የማንቂያ ገደቦችን ያዘጋጁ። የቁጥጥር ገደቦች ብዙውን ጊዜ የሚቀመጡት በ ±3σ (መደበኛ ልዩነቶች) ሲሆን የማንቂያ ገደቦች ደግሞ በሂደቱ እና በመሳሪያዎቹ ልዩ ሁኔታዎች ላይ የተመሰረቱ ናቸው።

ቀጣይነት ያለው ክትትል እና ትንተና፡- የውሂብ አዝማሚያዎችን እና ልዩነቶችን ለመተንተን የSPC መቆጣጠሪያ ገበታዎችን በመደበኛነት ይገምግሙ። አንዳንድ መለኪያዎች ከቁጥጥር ገደቦች በላይ ከሆኑ፣ እንደ የመሳሪያ መለኪያዎችን ማስተካከል ወይም የመሳሪያ ጥገና ማድረግ ያሉ ፈጣን እርምጃ ያስፈልጋል።

ያልተለመደ አያያዝ እና የስር መንስኤ ትንተና፡- ያልተለመደ ሁኔታ ሲከሰት የSPC ስርዓት ስለ ክስተቱ ዝርዝር መረጃ ይመዘግባል። በዚህ መረጃ ላይ በመመስረት የችግሩን ዋና መንስኤ መላ መፈለግ እና መተንተን ያስፈልግዎታል። ችግሩ በመሳሪያ ውድቀት፣ በሂደት መዛባት ወይም በውጫዊ የአካባቢ ሁኔታዎች ምክንያት መሆኑን ለመተንተን ብዙውን ጊዜ ከኤፍዲሲ ስርዓቶች፣ ከኢኢኤስ ስርዓቶች፣ ወዘተ የተገኙ መረጃዎችን ማጣመር ይቻላል።

ቀጣይነት ያለው ማሻሻያ፡- በSPC ስርዓት የተመዘገበውን ታሪካዊ መረጃ በመጠቀም፣ በሂደቱ ውስጥ ያሉትን ደካማ ነጥቦች ለይተው የማሻሻያ ዕቅዶችን ያቅርቡ። ለምሳሌ፣ በመቅረጽ ሂደት ውስጥ፣ የESC የህይወት ዘመን እና የጽዳት ዘዴዎች በመሳሪያዎች ጥገና ዑደቶች ላይ ያላቸውን ተጽእኖ ይተንትኑ እና የመሳሪያዎችን የአሠራር መለኪያዎች ያለማቋረጥ ያመቻቹ።

6. ተግባራዊ የማመልከቻ ጉዳይ

ለምሳሌ፣ ለመቅረጽ መሳሪያዎች E-MAX ኃላፊነት አለብዎት እንበል፣ እና የቻምበር ካቶድ ያለጊዜው መበላሸት እያጋጠመው ነው እንበል፣ ይህም የD0 (BARC ጉድለት) እሴቶች እንዲጨምር ያደርጋል። በSPC ስርዓት በኩል የRF ኃይል እና የኤች መጠንን በመከታተል፣ እነዚህ መለኪያዎች ከተቀመጡት እሴቶቻቸው ቀስ በቀስ የሚለዩበት አዝማሚያ ያስተውላሉ። የSPC ማንቂያ ከተቀሰቀሰ በኋላ፣ ከFDC ስርዓት የተገኘውን መረጃ ያጣምራሉ እና ችግሩ በቻምበር ውስጥ ባለው ያልተረጋጋ የሙቀት መቆጣጠሪያ ምክንያት መሆኑን ይወስናሉ። ከዚያም አዳዲስ የጽዳት ዘዴዎችን እና የጥገና ስልቶችን ተግባራዊ ያደርጋሉ፣ በመጨረሻም የD0 ዋጋውን ከ4.3 ወደ 2.4 በመቀነስ የምርት ጥራትን ያሻሽላሉ።

7. በ XINKEHUI ውስጥ ማግኘት ይችላሉ።

በXINKEHUI፣ የሲሊኮን ዋፈርም ይሁን የሲሲ ዋፈር ፍጹም የሆነውን ዋፈር ማግኘት ይችላሉ። ለተለያዩ ኢንዱስትሪዎች ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ዋፈርዎች በማቅረብ ላይ እንሰራለን፣ በትክክለኛነት እና በአፈጻጸም ላይ እናተኩራለን።