ስለ ሲሲ ነጠላ ክሪስታል እድገት ሂደት ምን ያህል ያውቃሉ?

አካላዊ የእንፋሎት ማስተላለፊያ ዘዴ (PVT)
የአካላዊ የእንፋሎት ማስተላለፊያ ዘዴ በብዛት ጥቅም ላይ ከሚውሉት የሲሊኮን ካርቦይድ የእድገት ሂደቶች አንዱ ነው. የነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ካርቦዳይድ እድገት በዋነኝነት የሚወሰነው በከፍተኛ የሙቀት ሁኔታ ውስጥ ባለው የዘር ክሪስታል ላይ በሲክ ዱቄት sublimation እና እንደገና በመቀየር ላይ ነው። በተዘጋ ግራፋይት ክሬዲት ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ ዱቄት በከፍተኛ ሙቀት ይሞቃል ፣ በሙቀት ቅልጥፍና ቁጥጥር ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ እንፋሎት በዘር ክሪስታል ላይ ይጨመቃል እና ቀስ በቀስ ትልቅ መጠን ያለው ነጠላ ክሪስታል ያድጋል።
በአሁኑ ጊዜ የምናቀርበው እጅግ በጣም ብዙ የሞኖክሪስታሊን ሲሲ በዚህ የእድገት መንገድ የተሰሩ ናቸው። በኢንዱስትሪው ውስጥ ዋናው መንገድም ነው.

ፈሳሽ ደረጃ ኤፒታክሲ (LPE)
የሲሊኮን ካርቦዳይድ ክሪስታሎች የሚዘጋጁት በፈሳሽ ደረጃ ኤፒታክሲ ውስጥ በክሪስታል እድገት ሂደት በጠንካራ ፈሳሽ በይነገጽ ነው። በዚህ ዘዴ, የሲሊኮን ካርቦይድ ዱቄት በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ በሲሊኮን-ካርቦን መፍትሄ ውስጥ ይሟሟል, ከዚያም የሙቀት መጠኑ ይቀንሳል, ስለዚህም የሲሊኮን ካርቦይድ ከመፍትሔው ውስጥ ተጭኖ በዘር ክሪስታሎች ላይ ይበቅላል. የ LPE ዘዴ ዋነኛው ጠቀሜታ ዝቅተኛ የእድገት ሙቀት ውስጥ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ክሪስታሎች የማግኘት ችሎታ ነው, ዋጋው በአንጻራዊነት ዝቅተኛ ነው, እና ለትላልቅ ምርቶች ተስማሚ ነው.

ከፍተኛ ሙቀት ኬሚካዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (ኤችቲ-ሲቪዲ)
ሲሊኮን እና ካርቦን የያዘውን ጋዝ በከፍተኛ ሙቀት ወደ ምላሽ ክፍል በማስተዋወቅ ነጠላ ክሪስታል ንብርብር የሲሊኮን ካርቦዳይድ በኬሚካላዊ ምላሽ በዘር ክሪስታል ላይ በቀጥታ ይቀመጣል። የዚህ ዘዴ ጠቀሜታ የጋዝ ፍሰት መጠን እና ምላሽ ሁኔታ በትክክል ቁጥጥር ሊደረግበት ስለሚችል የሲሊኮን ካርቦይድ ክሪስታል ከፍተኛ ንፅህና እና ጥቂት ጉድለቶችን ለማግኘት ነው። የኤችቲ-ሲቪዲ ሂደት እጅግ በጣም ጥሩ የሆኑ የሲሊኮን ካርቦይድ ክሪስታሎችን ማምረት ይችላል, ይህም በተለይ እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥራት ያላቸው ቁሳቁሶች ለሚያስፈልጉ አፕሊኬሽኖች ጠቃሚ ነው.