በGlass Via(TGV) እና በሲሊኮን ቪያ፣ TSV (TSV) ሂደቶች በTGV በኩል ያሉት ጥቅሞች ምንድ ናቸው?

ጥቅሞች የበመስታወት በኩል (TGV)እና በTGV ላይ በሲሊኮን ቪያ(TSV) ሂደቶች በዋናነት፡-

(1) በጣም ጥሩ ከፍተኛ-ድግግሞሽ የኤሌክትሪክ ባህሪያት. የመስታወት ቁሳቁስ የኢንሱሌተር ቁሳቁስ ነው ፣ የዲኤሌክትሪክ ቋሚው ከሲሊኮን ቁሳቁስ 1/3 ብቻ ነው ፣ እና የጠፋው ምክንያት ከሲሊኮን ቁሳቁስ 2-3 ትእዛዞች ያነሰ ነው ፣ ይህም የንዑስ መጥፋት እና የጥገኛ ተፅእኖ በእጅጉ ይቀንሳል ። እና የተላለፈውን ምልክት ትክክለኛነት ያረጋግጣል;

(2)ትልቅ መጠን እና እጅግ በጣም ቀጭን የመስታወት ንጣፍለማግኘት ቀላል ነው. ኮርኒንግ፣ አሳሂ እና SCHOTT እና ሌሎች የመስታወት አምራቾች እጅግ በጣም ትልቅ መጠን (>2m × 2m) እና እጅግ በጣም ቀጭን (<50µm) የፓነል ብርጭቆ እና በጣም ቀጭን ተጣጣፊ የመስታወት ቁሳቁሶችን ማቅረብ ይችላሉ።

3) ዝቅተኛ ወጪ. ትልቅ መጠን እጅግ በጣም ቀጭን ፓነል መስታወት ቀላል መዳረሻ ከ ጥቅም, እና insulating ንብርብሮች ማስቀመጥ አይጠይቅም, መስታወት አስማሚ የታርጋ ምርት ዋጋ ብቻ ሲልከን ላይ የተመሠረተ አስማሚ የታርጋ ገደማ 1/8 ነው;

4) ቀላል ሂደት. በ substrate ወለል እና TGV ያለውን ውስጣዊ ግድግዳ ላይ የማያስተላልፍና ንብርብር ማስቀመጥ አያስፈልግም, እና ምንም ቀጭን በጣም ቀጭን አስማሚ ሳህን ውስጥ ምንም ቀጭን ያስፈልጋል;

(5) ጠንካራ የሜካኒካዊ መረጋጋት. የአስማሚው ንጣፍ ውፍረት ከ100µm ባነሰ ጊዜም እንኳ ጦርነቱ አሁንም ትንሽ ነው።

(6) አፕሊኬሽኖች ሰፊ ክልል፣ ብቅ ያለ ቁመታዊ ትስስር ቴክኖሎጂ በዋፈር ደረጃ ማሸጊያ መስክ ላይ የሚተገበር ነው፣ በዋፈር-ዋፈር መካከል ያለውን አጭር ርቀት ለማሳካት፣ የኢንተር ግኑኙነቱ ዝቅተኛው ቃና አዲስ የቴክኖሎጂ መንገድን ይሰጣል፣ ጥሩ የኤሌክትሪክ , የሙቀት, ሜካኒካል ባህሪያት, በ RF ቺፕ ውስጥ, ከፍተኛ-መጨረሻ MEMS ዳሳሾች, ከፍተኛ- ጥግግት ሥርዓት ውህደት እና ልዩ ጥቅሞች ጋር ሌሎች አካባቢዎች, 5G, 6G ከፍተኛ-ድግግሞሽ ቺፕ 3D ቀጣዩ ትውልድ አንዱ ነው ለ የመጀመሪያ ምርጫዎች አንዱ ነው. የሚቀጥለው ትውልድ 5ጂ እና 6ጂ ከፍተኛ ድግግሞሽ ቺፖችን 3D ማሸግ።

የTGV የመቅረጽ ሂደት በዋናነት የአሸዋ ፍንዳታ፣ የአልትራሳውንድ ቁፋሮ፣ እርጥብ ማሳከክ፣ ጥልቅ ምላሽ ሰጪ ion etching፣ photosensitive etching፣ laser etching፣ laser-induced deep etching እና የትኩረት መፍሰሻ ቀዳዳ መፈጠርን ያጠቃልላል።

የቅርብ ጊዜ የምርምር እና የእድገት ውጤቶች እንደሚያሳዩት ቴክኖሎጂው በቀዳዳዎች እና 5፡1 ዓይነ ስውር ጉድጓዶች ከጥልቅ እስከ ወርዱ 20፡1 ጥምርታ በማዘጋጀት ጥሩ ስነ-ቅርጽ ያለው ነው። በሌዘር የሚመረኮዝ ጥልቀት ያለው ማሳከክ፣ ይህም ትንሽ የገጽታ ሸካራነት ያስከትላል፣ በአሁኑ ጊዜ በጣም የተጠና ዘዴ ነው። በስእል 1 ላይ እንደሚታየው በተለመደው የሌዘር ቁፋሮ ዙሪያ ግልጽ የሆኑ ስንጥቆች ሲኖሩ በሌዘር የተመረተ የጠለቀ ማሳከክ ዙሪያ እና የጎን ግድግዳዎች ንጹህ እና ለስላሳ ናቸው.

የሂደቱ ሂደትቲጂቪኢንተርፖሰር በስእል 2 ይታያል። አጠቃላይ መርሃግብሩ በመጀመሪያ በመስታወት ወለል ላይ ቀዳዳዎችን መቆፈር እና የጎን ግድግዳ እና ገጽ ላይ የከርሰ ምድር ንጣፍ እና የዘር ንጣፍ ማስቀመጥ ነው። የ ማገጃ ንብርብር መስታወት substrate ወደ Cu ስርጭት ይከላከላል, ሁለቱ መካከል ታደራለች እየጨመረ ሳለ እርግጥ ነው, አንዳንድ ጥናቶች ውስጥ ደግሞ ማገጃ ንብርብር አስፈላጊ እንዳልሆነ አገኘ. ከዚያም የኩው ሽፋን በኤሌክትሮላይት (ኤሌክትሮፕላንት) ይቀመጣል, ከዚያም ይደመሰሳል, እና የ Cu ንብርብሩ በሲኤምፒ ይወገዳል. በመጨረሻም, የ RDL rewiring ንብርብር በ PVD ሽፋን lithography ተዘጋጅቷል, እና ማለፊያ ንብርብር ሙጫ ከተወገደ በኋላ ይመሰረታል.

(ሀ) የዋፈር ዝግጅት፣ (ለ) የቲጂቪ ምስረታ፣ (ሐ) ባለ ሁለት ጎን ኤሌክትሮፕላቲንግ - የመዳብ ማከማቻ፣ (መ) የማጣራት እና የሲኤምፒ ኬሚካዊ-ሜካኒካል ማጥራት፣ የላይ መዳብ ንብርብርን ማስወገድ፣ (ሠ) የ PVD ሽፋን እና ሊቶግራፊ , (ረ) የ RDL rewiring ንብርብር አቀማመጥ, (g) deluing እና Cu/Ti etching, (h) passivation ንብርብር ምስረታ.

ለማጠቃለል ያህል.መስታወት ቀዳዳ (TGV)የትግበራ ተስፋዎች ሰፊ ናቸው ፣ እና አሁን ያለው የሀገር ውስጥ ገበያ እያደገ ደረጃ ላይ ነው ፣ ከመሳሪያዎች እስከ ምርት ዲዛይን እና የምርምር እና የእድገት እድገት ከአለም አቀፍ አማካይ ከፍ ያለ ነው።

ጥሰት ካለ እውቂያ ሰርዝ