ሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂ ቀጣይነት ያለው እድገት በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ አልፎ ተርፎም የፎቶቫልታይክ ኢንዱስትሪ ውስጥ የዋፈር ንጣፍ ወይም ኤፒታክሲያል ሉህ ወለል ጥራት መስፈርቶች በጣም ጥብቅ ናቸው።ስለዚህ, ለ wafers የጥራት መስፈርቶች ምንድን ናቸው?የሰንፔር ቫፈርን እንደ ምሳሌ ብንወስድ የዋፍሮችን ወለል ጥራት ለመገምገም ምን አመላካቾችን መጠቀም ይቻላል?
የዋፌር ግምገማ አመልካቾች ምንድ ናቸው?
ሶስት አመልካቾች
ለሳፋየር ዋፈርስ፣ የግምገማ አመላካቾች አጠቃላይ ውፍረት ልዩነት (TTV)፣ መታጠፊያ (ቀስት) እና ዋርፕ (ዋርፕ) ናቸው።እነዚህ ሶስት መመዘኛዎች አንድ ላይ ሆነው የሲሊኮን ዋፈር ጠፍጣፋ እና ውፍረት ተመሳሳይነት ያንፀባርቃሉ እና የዋፋውን ሞገድ መጠን ይለካሉ።የቫፈርን ንጣፍ ጥራት ለመገምገም ኮርፖሬሽኑ ከጠፍጣፋው ጋር ሊጣመር ይችላል.
TTV፣ BOW፣ Warp ምንድን ነው?
ቲቲቪ (ጠቅላላ ውፍረት ልዩነት)
ቲቲቪ በከፍተኛው እና በትንሹ ውፍረት መካከል ያለው ልዩነት ነው።ይህ ግቤት የዋፈር ውፍረት ተመሳሳይነት ለመለካት የሚያገለግል ጠቃሚ መረጃ ጠቋሚ ነው።በሴሚኮንዳክተር ሂደት ውስጥ የቫፈር ውፍረት በጠቅላላው ወለል ላይ በጣም ተመሳሳይ መሆን አለበት.መለኪያዎች ብዙውን ጊዜ በቫፈር ላይ በአምስት ቦታዎች ላይ ይደረጋሉ እና ልዩነቱ ይሰላል.በመጨረሻም, ይህ ዋጋ የቫፈርን ጥራት ለመገምገም አስፈላጊ መሠረት ነው.
ቀስት
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ቀስት የዋፈር መታጠፍን የሚያመለክት ሲሆን ይህም ባልተሸፈነው ዋፈር መካከለኛ ነጥብ እና በማጣቀሻው አውሮፕላን መካከል ያለውን ርቀት ነፃ ያደርገዋል።ቃሉ ምናልባት እንደ ጥምዝ ቀስት ቅርጽ ያለው ነገር ሲታጠፍ ከሚገልጸው መግለጫ የመጣ ነው።የቀስት እሴቱ በሲሊኮን ዋፈር መሃል እና ጠርዝ መካከል ያለውን ልዩነት በመለካት ይገለጻል።ይህ ዋጋ ብዙውን ጊዜ በማይክሮሜትሮች (µm) ይገለጻል።
ዋርፕ
ዋርፕ በነፃነት ባልተሸፈነ ዋፈር እና በማጣቀሻው አውሮፕላን መካከል ባለው ከፍተኛ እና ዝቅተኛ ርቀት መካከል ያለውን ልዩነት የሚለካ የዋፈርዎች ዓለም አቀፍ ንብረት ነው።ከሲሊኮን ዋፈር ወለል ወደ አውሮፕላኑ ያለውን ርቀት ይወክላል.
በቲቲቪ፣ ቦው፣ ዋርፕ መካከል ያለው ልዩነት ምንድን ነው?
ቲቲቪ የሚያተኩረው በወፍራም ለውጥ ላይ ነው እና የዋፈር መታጠፍ እና መዛባት አያሳስበውም።
ቀስት በአጠቃላይ ማጠፍ ላይ ያተኩራል, በዋናነት የመሃል ነጥቡን እና የጠርዙን መታጠፍ ግምት ውስጥ በማስገባት.
ዋርፕ ሙሉውን የዋፈር ወለል ማጠፍ እና መጠምዘዝን ጨምሮ የበለጠ ሁሉን አቀፍ ነው።
ምንም እንኳን እነዚህ ሶስት መመዘኛዎች ከሲሊኮን ዋፈር ቅርጽ እና ጂኦሜትሪክ ባህሪያት ጋር የተዛመዱ ቢሆኑም, ይለካሉ እና በተለየ መንገድ ይገለፃሉ, እና በሴሚኮንዳክተር ሂደት እና በ wafer ሂደት ላይ ያላቸው ተጽእኖ እንዲሁ የተለየ ነው.
ሦስቱ መመዘኛዎች አነስ ያሉ, የተሻሉ እና ትልቅ መለኪያው, በሴሚኮንዳክተር ሂደት ላይ አሉታዊ ተጽእኖ ይጨምራል.ስለዚህ ሴሚኮንዳክተር ባለሙያ እንደመሆናችን መጠን ለጠቅላላው ሂደት የ wafer መገለጫ መለኪያዎችን አስፈላጊነት መገንዘብ አለብን ፣ ሴሚኮንዳክተር ሂደትን ያድርጉ ፣ ለዝርዝሮች ትኩረት መስጠት አለበት።
(ሳንሱር)
የልጥፍ ሰዓት፡- ሰኔ-24-2024