በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ እና በፎቶቮልታይክ ኢንዱስትሪ ውስጥም ቢሆን የሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂ ቀጣይነት ባለው እድገት፣ የዋፈር ንጣፍ ወይም የኤፒታክሲያል ሉህ የገጽታ ጥራት መስፈርቶችም በጣም ጥብቅ ናቸው። ስለዚህ፣ ለዋፈር የጥራት መስፈርቶች ምንድን ናቸው?የሰፔር ዋፈርለምሳሌ፣ የዋፈርን ወለል ጥራት ለመገምገም ምን አመልካቾች ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ?
የዋፈር ግምገማ አመልካቾች ምንድናቸው?
ሦስቱ ጠቋሚዎች
ለሰንፔር ዋፈርስ፣ የግምገማ አመላካቾቹ አጠቃላይ ውፍረት መዛባት (TTV)፣ መታጠፍ (ቦው) እና ዋርፕ (ዋርፕ) ናቸው። እነዚህ ሶስት መለኪያዎች አንድ ላይ የሲሊኮን ዋፈርን ጠፍጣፋነት እና ውፍረት ተመሳሳይነት ያንፀባርቃሉ፣ እና የዋፈርን የሞገድ መጠን ሊለኩ ይችላሉ። የዋፈር ወለል ጥራትን ለመገምገም ቆርቆሮው ከጠፍጣፋነቱ ጋር ሊጣመር ይችላል።
TTV፣ BOW፣ Warp ምንድን ነው?
TTV (ጠቅላላ ውፍረት ልዩነት)
ቲቲቪ የዋፈር ከፍተኛ እና ዝቅተኛ ውፍረት መካከል ያለው ልዩነት ነው። ይህ መለኪያ የዋፈር ውፍረት ወጥነትን ለመለካት የሚያገለግል አስፈላጊ ኢንዴክስ ነው። በሴሚኮንዳክተር ሂደት ውስጥ የዋፈር ውፍረት በጠቅላላው ወለል ላይ በጣም ተመሳሳይ መሆን አለበት። መለኪያዎች ብዙውን ጊዜ በዋፈር ላይ በአምስት ቦታዎች ይከናወናሉ እና ልዩነቱ ይሰላል። በመጨረሻም፣ ይህ እሴት የዋፈርን ጥራት ለመገምገም አስፈላጊ መሠረት ነው።
ቦው
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ቀስት ማለት የዋፈር መታጠፍን ያመለክታል፣ ይህም ያልተሸፈነ ዋፈር መሃል ላይ እና በማጣቀሻው አውሮፕላን መካከል ያለውን ርቀት ነፃ ያደርጋል። ቃሉ ምናልባት የመጣው አንድ ነገር ሲታጠፍ ከነበረው ቅርፅ መግለጫ ነው፣ ልክ እንደ ቀስት የተጠማዘዘ ቅርጽ። የቀስት እሴት የሚገለጸው በሲሊኮን ዋፈር መሃል እና ጠርዝ መካከል ያለውን ልዩነት በመለካት ነው። ይህ እሴት ብዙውን ጊዜ የሚገለጸው በማይክሮሜትሮች (µm) ነው።
ዋርፕ
ዋርፕ የዋፈር ዓለም አቀፍ ንብረት ሲሆን ይህም በነፃነት ባልተሸፈነው ዋፈር መሃል እና በማጣቀሻው ፕላን መካከል ባለው ከፍተኛ እና ዝቅተኛ ርቀት መካከል ያለውን ልዩነት ይለካል። ከሲሊኮን ዋፈር ወለል እስከ ፕላኑ ያለውን ርቀት ይወክላል።
በTTV፣ Bow እና Warp መካከል ያለው ልዩነት ምንድን ነው?
ቲቲቪ በውፍረት ለውጦች ላይ ያተኩራል እና የዋፈር መታጠፍ ወይም መዛባትን አይመለከትም።
ቀስት በአጠቃላይ መታጠፊያ ላይ ያተኩራል፣ በዋናነት የመሃል ነጥብ እና የጠርዙን መታጠፍ ግምት ውስጥ ያስገባል።
ዋርፕ የበለጠ ሁሉን አቀፍ ሲሆን የዋፈርን ወለል በሙሉ ማጠፍ እና ማጠፍን ያካትታል።
እነዚህ ሶስት መለኪያዎች ከሲሊኮን ዋፈር ቅርፅ እና ጂኦሜትሪክ ባህሪያት ጋር የተያያዙ ቢሆኑም፣ በተለየ መንገድ ይለካሉ እና ይገለፃሉ፣ እና በሴሚኮንዳክተር ሂደት እና በዋፈር ማቀነባበሪያ ላይ ያላቸው ተጽእኖም የተለየ ነው።
ሦስቱ መለኪያዎች ባነሱ ቁጥር፣ የተሻለ እና ፓራሜትር በጨመረ ቁጥር፣ በሴሚኮንዳክተር ሂደቱ ላይ ያለው አሉታዊ ተጽእኖ ይጨምራል። ስለዚህ፣ እንደ ሴሚኮንዳክተር ባለሙያ፣ ለጠቅላላው የሂደት ሂደት የዋፈር ፕሮፋይል መለኪያዎች አስፈላጊነትን መገንዘብ፣ የሴሚኮንዳክተር ሂደትን ማድረግ፣ ለዝርዝሮች ትኩረት መስጠት አለብን።
(ሳንሱር)
የፖስታ ሰዓት፡ ሰኔ-24-2024