ዜና - ዋፈር ቲቲቪ፣ ቦው፣ ዋርፕ ምንድን ናቸው እና እንዴት ይለካሉ?

.ማውጫ

1. ዋና ፅንሰ ሀሳቦች እና መለኪያዎች

2. የመለኪያ ቴክኒኮች

3. የውሂብ ሂደት እና ስህተቶች

4. የሂደት አንድምታዎች

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ፣ የዋፈር ውፍረት ወጥነት እና የገጽታ ጠፍጣፋነት የሂደቱን ውጤት የሚነኩ ወሳኝ ምክንያቶች ናቸው። እንደ አጠቃላይ ውፍረት ልዩነት (TTV)፣ ቦው (arcuate warpage)፣ ዋርፕ (global warpage) እና ማይክሮዋርፕ (nano-topography) ያሉ ቁልፍ መለኪያዎች እንደ ፎቶሊቶግራፊ ትኩረት፣ የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ (CMP) እና ቀጭን ፊልም ክምችት ያሉ የዋና ሂደቶችን ትክክለኛነት እና መረጋጋት በቀጥታ ይነካሉ።

ዋና ፅንሰ-ሀሳቦች እና መለኪያዎች

TTV (ጠቅላላ ውፍረት ልዩነት)

TTV በተወሰነ የመለኪያ ክልል ውስጥ ባለው የዋፈር ወለል ላይ ያለውን ከፍተኛ የውፍረት ልዩነት ያመለክታል Ω (በተለምዶ የጠርዝ ማግለያ ዞኖችን እና በኖቶች ወይም ጠፍጣፋዎች አቅራቢያ ያሉ ክልሎችን አያካትትም)። በሂሳብ፣ TTV = max(t(x,y)) - min(t(x,y))። ከገጽታ ሸካራነት ወይም ከቀጭን ፊልም ወጥነት የተለየ የዋፈር ንጣፍ ውስጣዊ ውፍረት ወጥነት ላይ ያተኩራል።

ቦው

ቀስት የዋፈር ማዕከላዊ ነጥብ ከዝቅተኛ ካሬዎች ጋር ከተገጠመ የማጣቀሻ ፕላን ቀጥ ያለ መዛባትን ይገልጻል። አዎንታዊ ወይም አሉታዊ እሴቶች ዓለም አቀፋዊ ወደ ላይ ወይም ወደ ታች ኩርባን ያመለክታሉ።

ዋርፕ

ዋርፕ ከማጣቀሻው አውሮፕላን አንፃር በሁሉም የገጽታ ነጥቦች ላይ ያለውን ከፍተኛውን የጫፍ-ወደ-ሸለቆ ልዩነት ይለካል፣ የዋፈርን አጠቃላይ ጠፍጣፋነት በነጻ ሁኔታ ይገመግማል።

ማይክሮዋርፕ

ማይክሮዋርፕ (ወይም ናኖቶፖግራፊ) በተወሰኑ የቦታ የሞገድ ርዝመት ክልሎች ውስጥ ያሉ የገጽታ ማይክሮ-ዱንዴላቶችን ይመረምራል (ለምሳሌ፣ ከ0.5-20 ሚሜ)። ትናንሽ መጠኖች ቢኖሩም፣ እነዚህ ልዩነቶች የሊቶግራፊ ጥልቀት የትኩረት ጥልቀት (DOF) እና የCMP ወጥነት ላይ ከፍተኛ ተጽዕኖ ያሳድራሉ።

የመለኪያ ማጣቀሻ ማዕቀፍ

ሁሉም መለኪያዎች የሚሰሉት በጂኦሜትሪክ መነሻ መስመር፣ በተለይም በትንሹ ካሬዎች የተገጠመለት ፕላን (LSQ ፕላን) በመጠቀም ነው። የውፍረት መለኪያዎች የፊት እና የኋላ ወለል ውሂብን በዋፈር ጠርዞች፣ ኖቶች ወይም የአሰላለፍ ምልክቶች በኩል ማመጣጠን ያስፈልጋቸዋል። የማይክሮዋርፕ ትንተና የሞገድ ርዝመት-ተኮር ክፍሎችን ለማውጣት የቦታ ማጣሪያን ያካትታል።

የመለኪያ ቴክኒኮች

1. የቲቪ መለኪያ ዘዴዎች

ባለሁለት ወለል ፕሮፊሎሜትሪ
የፊዞ ኢንተርፌሮሜትሪ፡በማጣቀሻ ፕላን እና በዋፈር ወለል መካከል ያሉ ጣልቃገብነቶችን ይጠቀማል። ለስላሳ ቦታዎች ተስማሚ ነው ነገር ግን በትላልቅ ኩርባ ዋፈሮች የተገደበ።
የነጭ ብርሃን ቅኝት ኢንተርፌሮሜትሪ (SWLI):ፍፁም ቁመቶችን የሚለካው በዝቅተኛ ወጥነት ባላቸው የብርሃን ኤንቨሎፖች ነው። ደረጃ ለሚመስሉ ቦታዎች ውጤታማ ቢሆንም በሜካኒካል የፍተሻ ፍጥነት የተገደበ ነው።
የኮንፎካል ዘዴዎች፡በፒንሆል ወይም በተበታተነ መርሆዎች የንዑስ ማይክሮን ጥራት ያግኙ። ለሻካራ ወይም ግልጽ ለሆኑ ቦታዎች ተስማሚ ነው ነገር ግን በነጥብ-በነጥብ ቅኝት ምክንያት ቀርፋፋ።
የሌዘር ትሪያንግል፡ፈጣን ምላሽ ነገር ግን በወለል አንጸባራቂነት ልዩነቶች ምክንያት ለትክክለኛነት መጥፋት የተጋለጠ።

የማስተላለፊያ/የነጸብራቅ ትስስር
ባለሁለት ጭንቅላት አቅም ዳሳሾች፡- በሁለቱም በኩል የዳሳሾች ሲሜትሪክ አቀማመጥ ውፍረትን የሚለካው T = L – d₁ – d₂ (L = የመነሻ ርቀት) ነው። ፈጣን ግን ለቁሳዊ ባህሪያት ስሜታዊ ነው።
ኤሊፕሶሜትሪ/ስፔክትሮስኮፒክ ሪፍሌክሜትሪ፡- ቀጭን ፊልም ውፍረትን በተመለከተ የብርሃን-ቁስ መስተጋብርን ይተነትናል ነገር ግን ለጅምላ ቲቲቪ ተስማሚ አይደለም።

2. የቀስት እና የክር መለኪያ

ባለብዙ-ምርመራ አቅም ድርድሮች፡- ፈጣን የ3-ልኬት መልሶ ግንባታን ለማግኘት በአየር ተሸካሚ ደረጃ ላይ የሙሉ መስክ ቁመት መረጃን ይቅረጹ።
የተዋቀረ የብርሃን ትንበያ፡- ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ባለ 3-ልኬት ፕሮፋይል በኦፕቲካል ቅርፅ በመጠቀም።
ዝቅተኛ-NA ኢንተርፌሮሜትሪ፡ ከፍተኛ ጥራት ያለው የወለል ካርታ ስራ ግን ንዝረት ስሜታዊ ነው።

3. የማይክሮዋርድ መለኪያ

የቦታ ድግግሞሽ ትንተና;

ከፍተኛ ጥራት ያለው የወለል ጂኦግራፊ ያግኙ።
የኃይል ስፔክትራል ጥግግት (PSD)ን በ2D FFT በኩል ያስሉ።
ወሳኝ የሞገድ ርዝመቶችን ለመለየት የባንድፓስ ማጣሪያዎችን (ለምሳሌ፣ 0.5–20 ሚሜ) ይተግብሩ።
ከተጣራው መረጃ የRMS ወይም PV እሴቶችን ያሰሉ።

የቫክዩም ቹክ ማስመሰልበሊቶግራፊ ወቅት የሚመስሉ የእውነተኛ ዓለም ክላምፕንግ ውጤቶች።

የውሂብ ሂደት እና የስህተት ምንጮች

የሥራ ፍሰት ማቀነባበር

ቲቲቪ፡የፊት/የኋላ ወለል መጋጠሚያዎችን አስተካክል፣ የውፍረት ልዩነትን አስላ፣ እና ስልታዊ ስህተቶችን (ለምሳሌ፣ የሙቀት መንሸራተት) ቀንስ።
.ቀስት/ዋርፍ፦የLSQ ፕላንን ከፍታ ዳታ ጋር አስተካክል፤ ቀስት = የመሃል ነጥብ ቀሪ፣ ዋርፕ = ከጫፍ እስከ ሸለቆ ቀሪ።
.ማይክሮዌቭ;የቦታ ድግግሞሾችን ያጣሩ፣ ስታቲስቲክስን ያሰሉ (RMS/PV)።

ቁልፍ የስህተት ምንጮች

የአካባቢ ሁኔታዎች፡ንዝረት (ለኢንተርፌሮሜትሪ ወሳኝ)፣ የአየር ብጥብጥ፣ የሙቀት መንሸራተት።
የዳሳሽ ገደቦች፡የደረጃ ጫጫታ (ኢንተርፌሮሜትሪ)፣ የሞገድ ርዝመት ማስተካከያ ስህተቶች (ኮንፎካል)፣ በቁሳቁስ ላይ የተመሰረቱ ምላሾች (capacitance)።
የዋፈር አያያዝ;የጠርዝ ማግለል አለመመጣጠን፣ በስፌት ላይ የእንቅስቃሴ ደረጃ ስህተቶች።

በሂደቱ ወሳኝነት ላይ ያለው ተጽእኖ

ሊቶግራፊ፡አካባቢያዊ ማይክሮዌቭ የ DOF መጠንን ይቀንሳል፣ ይህም የሲዲ ልዩነት እና የተደራቢ ስህተቶችን ያስከትላል።
ሲኤምፒ፦የመጀመሪያው የቲቪ (TTV) አለመመጣጠን ወጥ ያልሆነ የማጥራት ግፊት ያስከትላል።
የጭንቀት ትንተና;የቦው/ዋርፕ ዝግመተ ለውጥ የሙቀት/ሜካኒካል ውጥረት ባህሪን ያሳያል።
ማሸጊያ፡ከመጠን በላይ የሆነ የቲቪ (TTV) በማገናኘት በይነገጾች ላይ ክፍተቶችን ይፈጥራል።

የXKH's Sapphire Wafer

የፖስታ ሰዓት፡- ሴፕቴምበር-28-2025