p-type 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC substrate 4inch 〈111〉± 0.5°ዜሮ MPD

አጭር መግለጫ፡-

የፒ-አይነት 4H/6H-P 3C-N አይነት የሲሲ ንኡስ ክፍል፣ 4-ኢንች በ〈111〉± 0.5° አቅጣጫ እና ዜሮ MPD (ማይክሮ ፓይፕ ጉድለት) ደረጃ ያለው፣ የላቀ አፈጻጸም ያለው ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ የላቀ የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያ ነው። ማምረት. እጅግ በጣም ጥሩ በሆነ የሙቀት አማቂነት፣ ከፍተኛ የቮልቴጅ ብልሽት እና ለከፍተኛ ሙቀት እና ዝገት ጠንካራ የመቋቋም ችሎታ የሚታወቅ ይህ ንኡስ ክፍል ለኤሌክትሪክ ኤሌክትሮኒክስ እና ለ RF አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ነው። የዜሮ MPD ደረጃ አነስተኛ ጉድለቶችን ያረጋግጣል፣ ከፍተኛ አፈጻጸም ባላቸው መሳሪያዎች ውስጥ አስተማማኝነትን እና መረጋጋትን ያረጋግጣል። ትክክለኛው የ〈111〉± 0.5° አቀማመጡ በፋብሪካው ወቅት ትክክለኛ አሰላለፍ እንዲኖር ያስችላል፣ ይህም ለትላልቅ የምርት ሂደቶች ተስማሚ ያደርገዋል። ይህ ንጥረ ነገር በከፍተኛ ሙቀት፣ ከፍተኛ-ቮልቴጅ እና ከፍተኛ-ተደጋጋሚ የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች እንደ ሃይል መቀየሪያ፣ ኢንቮርተርስ እና የ RF ክፍሎች በብዛት ጥቅም ላይ ይውላል።

ኢሜይል ይላኩልን።

የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

4H/6H-P አይነት የሲሲ ጥምር ንጣፎች የጋራ መለኪያ ሰንጠረዥ

4 ኢንች ዲያሜትር የሲሊኮንካርቦይድ (SiC) Substrate ዝርዝር መግለጫ

ደረጃ			ዜሮ MPD ምርት ደረጃ (Z ደረጃ)	መደበኛ ምርት ደረጃ (ፒ ደረጃ)	ዱሚ ደረጃ (D ደረጃ)
ዲያሜትር			99.5 ሚሜ ~ 100.0 ሚሜ
ውፍረት			350 μm ± 25 μm
የዋፈር አቀማመጥ			የጠፋ ዘንግ፡ 2.0°-4.0°ወደ [112(-)0] ± 0.5° ለ 4H/6H-P, On ዘንግ:〈111〉± 0.5 ° ለ 3C-N
የማይክሮ ፓይፕ ትፍገት			0 ሴሜ-2
የመቋቋም ችሎታ	p-አይነት 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏ ሴሜ		≤0.3 Ωꞏ ሴሜ
	n-አይነት 3C-N		≤0.8 mΩꞏ ሴሜ		≤1 ሜትር Ωꞏ ሴሜ
የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቀማመጥ		4H/6H-P	- {1010} ± 5.0°
		3ሲ-ኤን	- {110} ± 5.0°
የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት			32.5 ሚሜ ± 2.0 ሚሜ
ሁለተኛ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት			18.0 ሚሜ ± 2.0 ሚሜ
ሁለተኛ ደረጃ ጠፍጣፋ አቀማመጥ			የሲሊኮን ፊት: 90° CW ከፕራይም ጠፍጣፋ±5.0°
የጠርዝ ማግለል			3 ሚ.ሜ		6 ሚሜ
LTV/TTV/ቀስት/ዋርፕ			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
ሸካራነት			የፖላንድ ራ≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		ራ≤0.5 nm
የጠርዝ ስንጥቅ በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን			ምንም		ድምር ርዝመት ≤ 10 ሚሜ፣ ነጠላ ርዝመት≤2 ሚሜ
የሄክስ ፕሌትስ በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን			ድምር አካባቢ ≤0.05%		ድምር አካባቢ ≤0.1%
የፖሊታይፕ ቦታዎች በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን			ምንም		ድምር አካባቢ≤3%
ቪዥዋል ካርቦን ማካተት			ድምር አካባቢ ≤0.05%		ድምር አካባቢ ≤3%
የሲሊኮን ወለል ቧጨራዎች በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን			ምንም		ድምር ርዝመት≤1× ዋፈር ዲያሜትር
የጠርዝ ቺፕስ ከፍተኛ በኃይለኛ ብርሃን			አንዳቸውም አይፈቀዱም ≥0.2ሚሜ ስፋት እና ጥልቀት		5 ተፈቅዷል፣ እያንዳንዳቸው ≤1 ሚሜ
የሲሊኮን ወለል ብክለት በከፍተኛ ጥንካሬ			ምንም
ማሸግ			ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ወይም ነጠላ ዋፈር መያዣ

ማስታወሻዎች፡-

※የጉድለቶች ገደቦች ከዳርቻው ማግለል በስተቀር በጠቅላላው የዋፈር ወለል ላይ ይተገበራሉ። # ጭረቶች በሲ ፊት ላይ ብቻ መፈተሽ አለባቸው።

የፒ-አይነት 4H/6H-P 3C-N አይነት 4-ኢንች ሲሲ substrate ከ〈111〉± 0.5° orientation እና ዜሮ MPD ግሬድ ከፍተኛ አፈጻጸም ባላቸው የኤሌክትሮኒክስ አፕሊኬሽኖች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና ከፍተኛ የብልሽት ቮልቴጅ ለኤሌክትሮኒካዊ መሳሪያዎች እንደ ከፍተኛ-ቮልቴጅ ማብሪያ / ማጥፊያዎች, ኢንቬንተሮች እና የኃይል መቀየሪያዎች በአስቸጋሪ ሁኔታዎች ውስጥ እንዲሰሩ ያደርገዋል. በተጨማሪም የንዑስ ፕላስቱ ከፍተኛ ሙቀትን የመቋቋም እና የዝገት መቋቋም በአስቸጋሪ አካባቢዎች ውስጥ የተረጋጋ አፈጻጸምን ያረጋግጣል። ትክክለኛው የ〈111〉± 0.5° አቅጣጫ የማምረት ትክክለኛነትን ያሳድጋል፣ ለ RF መሳሪያዎች እና ለከፍተኛ ድግግሞሽ አፕሊኬሽኖች እንደ ራዳር ሲስተም እና ገመድ አልባ የመገናኛ መሳሪያዎች ተስማሚ ያደርገዋል።

የኤን-አይነት ሲሲ ድብልቅ ንጣፎች ጥቅሞች የሚከተሉትን ያካትታሉ:

1. ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal Conductivity): ውጤታማ የሆነ የሙቀት መበታተን, ለከፍተኛ ሙቀት አካባቢዎች እና ለከፍተኛ ኃይል አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ያደርገዋል.
2. ከፍተኛ ብልሽት ቮልቴጅ፡ እንደ ሃይል መቀየሪያ እና ኢንቮርተር ባሉ ከፍተኛ ቮልቴጅ አፕሊኬሽኖች ውስጥ አስተማማኝ አፈጻጸምን ያረጋግጣል።
3. ዜሮ MPD (ማይክሮ ፓይፕ ጉድለት) ደረጃ፡ አነስተኛ ጉድለቶችን ዋስትና ይሰጣል, ወሳኝ በሆኑ የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ውስጥ መረጋጋት እና ከፍተኛ አስተማማኝነት ይሰጣል.
4. የዝገት መቋቋም: በአስቸጋሪ አካባቢዎች ውስጥ ዘላቂ, በአስፈላጊ ሁኔታዎች ውስጥ የረጅም ጊዜ ተግባራትን ማረጋገጥ.
5. ትክክለኛ 〈111〉± 0.5° አቀማመጥ፡- በማምረት ጊዜ ትክክለኛ አሰላለፍ ይፈቅዳል፣በከፍተኛ ድግግሞሽ እና በ RF አፕሊኬሽኖች ውስጥ የመሣሪያ አፈጻጸምን ያሻሽላል።

በአጠቃላይ የፒ-አይነት 4H/6H-P 3C-N አይነት 4-ኢንች ሲሲ ኮምፓክት በ〈111〉± 0.5° አቅጣጫ እና ዜሮ MPD ደረጃ ለላቁ ኤሌክትሮኒክስ አፕሊኬሽኖች ምቹ የሆነ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው ቁሳቁስ ነው። እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና ከፍተኛ የብልሽት ቮልቴጅ እንደ ከፍተኛ-ቮልቴጅ ማብሪያ / ማጥፊያዎች እና መቀየሪያዎች ለኤሌክትሪክ ኃይል ፍጹም ያደርገዋል። የዜሮ MPD ደረጃ አነስተኛ ጉድለቶችን ያረጋግጣል, ወሳኝ በሆኑ መሳሪያዎች ውስጥ አስተማማኝነት እና መረጋጋት ይሰጣል. በተጨማሪም ፣ የንጥረ-ምህዳሩ የመቋቋም ችሎታ እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን በአስቸጋሪ አካባቢዎች ውስጥ ዘላቂነትን ያረጋግጣል። ትክክለኛው የ〈111〉± 0.5° አቅጣጫ በማምረት ጊዜ ትክክለኛ አሰላለፍ እንዲኖር ያስችላል፣ ይህም ለ RF መሳሪያዎች እና ለከፍተኛ ድግግሞሽ አፕሊኬሽኖች በጣም ተስማሚ ያደርገዋል።