ፕሪሚየም የሳፋየር ሊፍት ፒኖች ነጠላ ክሪስታል አል₂O₃ ዋፈር ሊፍት ፒን
ቴክኒካዊ መለኪያዎች
| የኬሚካል ቅንብር | አል2ኦ3 |
| ግትርነት | 9 ሞህስ |
| የኦፕቲካል ተፈጥሮ | ዩኒአክሲያል |
| የማጣቀሻ መረጃ ጠቋሚ | 1.762-1.770 |
| ቢረፍረንሰንስ | 0.008-0.010 |
| መበታተን | ዝቅተኛ፣ 0.018 |
| አንጸባራቂ | ቪትሬየስ |
| ፕሌክክሮይዝም | መካከለኛ እስከ ጠንካራ |
| ዲያሜትር | 0.4ሚሜ-30ሚሜ |
| ዲያሜትር መቻቻል | 0.004ሚሜ-0.05ሚሜ |
| ርዝመት | 2ሚሜ-150ሚሜ |
| የርዝመት መቻቻል | 0.03ሚሜ-0.25ሚሜ |
| የወለል ጥራት | 40/20 |
| የወለል ክብነት | RZ0.05 |
| ብጁ ቅርፅ | ሁለቱም ጫፎች ጠፍጣፋ፣ አንድ ጫፍ ሬዲየስ፣ ሁለቱም ጫፎች ሬዲየስ፣ የኮርቻ ፒኖች እና ልዩ ቅርጾች |
ቁልፍ ባህሪያት
1. ልዩ የሆነ የጥንካሬ እና የመልበስ መቋቋም፡- ከአልማዝ ቀጥሎ 9 የሆነ የሞህስ ጥንካሬ ደረጃ ሲኖረው፣ የሳፋየር ሊፍት ፒኖች ከባህላዊ የሲሊኮን ካርቦይድ፣ ከአሉሚና ሴራሚክ ወይም ከብረት ቅይጥ አማራጮች በእጅጉ የሚበልጡ የአለባበስ ባህሪያትን ያሳያሉ። ይህ ከፍተኛ ጥንካሬ የቅንጣት ማመንጨት እና የጥገና መስፈርቶችን በእጅጉ ይቀንሳል፣ የአገልግሎት ዕድሜ በተለምዶ ከባህላዊ ቁሳቁሶች ጋር ሲነጻጸር ከ3-5 እጥፍ ይረዝማል።
2. ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም፡- ከ1000°ሴ በላይ በሚደርስ የሙቀት መጠን ዘላቂ የሆነ አሠራርን ለመቋቋም የተነደፈው የሳፋየር ሊፍት ፒኖች በጣም በሚያስፈልጉ የሙቀት ሂደቶች ውስጥ የመጠን መረጋጋትን እና የሜካኒካል ጥንካሬን ይጠብቃሉ። ይህም እንደ ኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (CVD)፣ የብረት-ኦርጋኒክ የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (MOCVD) እና የሙቀት መስፋፋት አለመመጣጠን የሂደቱን ውጤት ሊያበላሽ በሚችልባቸው ከፍተኛ የሙቀት መጠን ማጥለያ ስርዓቶች ላሉ ወሳኝ አፕሊኬሽኖች በተለይ ጠቃሚ ያደርጋቸዋል።
3. የኬሚካል ኢንተለጀንስ፡- የአንድ ክሪስታል ሰንፔር መዋቅር ከኤችኤፍ አሲድ፣ ከክሎሪን-ተኮር ኬሚስትሪ እና ከሌሎች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ በብዛት ከሚከሰቱት ኃይለኛ የሂደት ጋዞች ለሚመጡ ጥቃቶች አስደናቂ የመቋቋም አቅም ያሳያል። ይህ የኬሚካል መረጋጋት በፕላዝማ አካባቢዎች ወጥ የሆነ አፈጻጸምን ያረጋግጣል እና ወደ ዋፈር ብክለት ሊያመሩ የሚችሉ የገጽታ ጉድለቶች እንዳይፈጠሩ ይከላከላል።
4. ዝቅተኛ የቅንጣት ብክለት፡- ጉድለት ከሌለባቸው፣ ከፍተኛ ንፁህ ከሆኑ የሰፔር ክሪስታሎች (በተለምዶ ከ99.99%) የተሠሩት እነዚህ የማንሳት ፒኖች ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ ከዋሉ በኋላም ቢሆን አነስተኛ የቅንጣት መፍሰስ ያሳያሉ። ቀዳዳ የሌላቸው የገጽታ አወቃቀራቸው እና የተወለወሉ አጨራረሶቻቸው በጣም ጥብቅ የሆኑ የጽዳት ክፍል መስፈርቶችን ያሟላሉ፣ ይህም በቀጥታ በተራቀቀ የኖድ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ለተሻሻለ የሂደት ምርት አስተዋጽኦ ያደርጋል።
ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው ማሽን፡- የላቀ የአልማዝ መፍጨት እና የሌዘር ማቀነባበሪያ ቴክኒኮችን በመጠቀም፣ የሳፋየር ሊፍት ፒኖች በንዑስ ማይክሮን መቻቻል እና ከ0.05μm Ra በታች ባለው የገጽታ ማጠናቀቂያ ሊመረቱ ይችላሉ። የተጠላለፉ መገለጫዎችን፣ ልዩ የጫፍ ውቅሮችን እና የተቀናጁ የአሰላለፍ ባህሪያትን ጨምሮ ብጁ ጂኦሜትሪዎች በሚቀጥለው ትውልድ የማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ የተወሰኑ የዋፈር አያያዝ ችግሮችን ለመፍታት ሊነደፉ ይችላሉ።
ዋና ዋና አፕሊኬሽኖች
1. ሴሚኮንዳክተር ማኑፋክቸሪንግ፡ የሳፋየር ሊፍት ፒኖች በተራቀቁ የዋፈር ማቀነባበሪያ ስርዓቶች ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ፣ በፎቶሊቶግራፊ፣ በመቅረጽ፣ በማስቀመጥ እና በፍተሻ ሂደቶች ወቅት አስተማማኝ ድጋፍ እና ትክክለኛ አቀማመጥ ይሰጣሉ። የሙቀት እና የኬሚካል መረጋጋት በ EUV ሊትግራፊ መሳሪያዎች እና በተራቀቁ የማሸጊያ አፕሊኬሽኖች ውስጥ በተለይ ጠቃሚ ያደርጋቸዋል፣ በናኖሜትር ሚዛን ላይ የመጠን መረጋጋት አስፈላጊ ነው።
2.LED Epitaxy (MOCVD): በጋሊየም ናይትራይድ (GaN) እና በተዛማጅ ውህድ ሴሚኮንዳክተር ኤፒታክሲያል የእድገት ስርዓቶች ውስጥ፣ የሳፋየር ሊፍት ፒኖች ብዙውን ጊዜ ከ1000°ሴ በላይ በሆነ የሙቀት መጠን የተረጋጋ የዋፈር ድጋፍ ይሰጣሉ። ከሳፋየር ንጣፎች ጋር የሚዛመዱ የሙቀት መስፋፋት ባህሪያቸው በኤፒታክሲያል የእድገት ሂደት ወቅት የዋፈር መስገድን እና የመንሸራተት መፈጠርን ይቀንሳል።
3. የፎቶቮልታይክ ኢንዱስትሪ፡- ከፍተኛ ብቃት ያለው የፀሐይ ሴል ማምረት ከፍተኛ የሙቀት መጠን ስርጭት፣ ሲሚንቶሪንግ እና ቀጭን ፊልም ማከማቻ ሂደቶች ውስጥ ካለው የሳፋየር ልዩ ባህሪያት ጥቅም አለው። የፒኖቹ የመልበስ መቋቋም በተለይ በጅምላ ምርት አካባቢዎች ጠቃሚ ሲሆን የክፍሉ ረጅም ጊዜ የማምረቻ ወጪዎችን በቀጥታ ይነካል።
4. ፕሪሲሽን ኦፕቲክስ እና ኤሌክትሮኒክስ ፕሮሰሲንግ፡ ከሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች በተጨማሪ፣ የሳፋየር ሊፍት ፒኖች ስስ የሆኑ የኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የMEMS መሳሪያዎችን እና ከብክለት ነፃ የሆነ ማቀነባበሪያ እና ጭረት መከላከል ወሳኝ የሆኑባቸውን ልዩ ንጣፎችን በማስተናገድ ረገድ ጥቅም ላይ ይውላሉ። የኤሌክትሪክ መከላከያ ባህሪያቸው ኤሌክትሮስታቲክ-ስሜታዊ መሳሪያዎችን ለሚያካትቱ አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ያደርጋቸዋል።
የXKH የሳፋየር ማንሻ ፒኖች አገልግሎቶች
XKH ለሳፋየር ሊፍት ፒኖች አጠቃላይ የቴክኒክ ድጋፍ እና ብጁ መፍትሄዎችን ይሰጣል፡
1. ብጁ የልማት አገልግሎቶች
· ለልኬት፣ ለጂኦሜትሪክ እና ለገጽታ ማበጀት ድጋፍ
· የቁሳቁስ ምርጫ እና የቴክኒክ መለኪያ ማመቻቸት ምክሮች
· የትብብር የምርት ዲዛይን እና የማስመሰል ማረጋገጫ
2. ትክክለኛ የማምረቻ ችሎታዎች
· በ±1μm ውስጥ ቁጥጥር የሚደረግባቸው መቻቻል ያላቸው ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው ማሽነሪ
· የመስታወት ማጥራት እና የጠርዝ ቻምፌርን ጨምሮ ልዩ ህክምናዎች
· እንደ ፀረ-ተለጣፊ ሽፋኖች ያሉ አማራጭ የወለል ማሻሻያ መፍትሄዎች
3. የጥራት ማረጋገጫ ስርዓት
· የቁሳቁስ ፍተሻ እና የሂደት ቁጥጥርን በጥብቅ መተግበር
· ሙሉ-ልኬት የኦፕቲካል ምርመራ እና የገጽታ ሞርፎሎጂ ትንተና
· የምርት አፈጻጸም የሙከራ ሪፖርቶችን ማቅረብ
4. የአቅርቦት ሰንሰለት አገልግሎቶች
· መደበኛ ምርቶችን በፍጥነት ማድረስ
· ለቁልፍ መለያዎች የተወሰነ የክምችት አስተዳደር
5. የቴክኒክ ድጋፍ
· የማመልከቻ መፍትሔ ማማከር
· ከሽያጭ በኋላ ፈጣን ምላሽ
የሴሚኮንዳክተር፣ የኤልኢዲ እና የሌሎች የላቁ ኢንዱስትሪዎች ጥብቅ መስፈርቶችን ለማሟላት ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የሳፓይር ሊፍት ፒኖች ምርቶችን እና ሙያዊ የቴክኒክ አገልግሎቶችን ለማቅረብ ቁርጠኛ ነን።
