የሳፋየር ቱቦ ሰንፔር ዘንጎች ልዩ ቅርፅ ከፍተኛ ግፊት ያለው KY እና EFG

በዘር እገዛ የሳፋየር ቱቦዎችን ከቀለጠበት ቦታ በመሳብ ሂደት ውስጥ፣ በጠንካራው የፊት ክፍል እና በመጎተት ክልል መካከል ያለው የቁመታዊ የሙቀት መጠን ቅልመት ከ1850 እስከ 1900 ዲግሪ ሴልሺየስ ባለው የሙቀት መጠን ከ30 ዲግሪ ሴልሺየስ/ሴሜ ያልበለጠ ይጠበቃል። የተበቀለው ቱቦ ከ1950 እስከ 40 ዲግሪ ሴልሺየስ ባለው የሙቀት መጠን የሙቀት መጠኑን ከ30 እስከ 40 ዲግሪ ሴልሺየስ/ደቂቃ በመጨመር እና ቱቦውን በዚያ የሙቀት መጠን በ3 እና 4 ሰዓታት መካከል ባለው ጊዜ ውስጥ በማቆየት ይጸዳል። ከዚያ በኋላ ቱቦው ከ30-40 ዲግሪ ሴልሺየስ/ደቂቃ በሆነ የሙቀት መጠን ወደ ክፍሉ የሙቀት መጠን ይቀዘቅዛል።

ሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ አፕሊኬሽኖች፡

(HPD CVD፣ PECVD፣ Dry Etch፣ Wet Etch)

የፕላዝማ አፕሊኬተር ቱቦ

የጋዝ መርፌ ኖዝሎች

የመጨረሻ ነጥብ ማወቂያ

ኤክሰመር ኮሮና ቱቦዎች