ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች
ዝርዝር ሥዕላዊ መግለጫ


የሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች የምርት አጠቃላይ እይታ
ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት ኦፍ እቃዎች በሴሚኮንዳክተር ማቴሪያል ሂደት ውስጥ የላቀ የኢንጎት መሳሳት ለቀጣዩ ትውልድ መፍትሄን ይወክላል። በሜካኒካል መፍጨት፣ የአልማዝ ሽቦ መሰንጠቅ፣ ወይም ኬሚካኒካል-ሜካኒካል ፕላኒላይዜሽን ላይ ከሚደገፉት ባህላዊ የዋፈር ዘዴዎች በተለየ፣ ይህ ሌዘር-ተኮር መድረክ እጅግ በጣም ቀጫጭን ንብርቦችን ከጅምላ ሴሚኮንዳክተር ኢንጎትስ ለመለየት ከእውቂያ-ነጻ እና አጥፊ ያልሆነ አማራጭን ይሰጣል።
እንደ ጋሊየም ኒትሪድ (ጋኤን)፣ ሲሊከን ካርቦራይድ (ሲሲ)፣ ሰንፔር እና ጋሊየም አርሴናይድ (GaAs) ለተሰባበረ እና ከፍተኛ ዋጋ ላላቸው ቁሶች የተመቻቸ ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት ኦፍ መሣሪያ የዋፈር መጠን ያላቸውን ፊልሞች በቀጥታ ከክሪስታል ኢንጎት ለመቁረጥ ያስችላል። ይህ የማሻሻያ ቴክኖሎጂ የቁሳቁስ ብክነትን በእጅጉ ይቀንሳል፣ የግብአት አቅርቦትን ያሻሽላል እና የንዑስ ስተራቴጅ ታማኝነትን ያሳድጋል - እነዚህ ሁሉ በሃይል ኤሌክትሮኒክስ፣ RF ሲስተሞች፣ ፎኒኮች እና ማይክሮ-ማሳያዎች ውስጥ ለቀጣዩ ትውልድ መሳሪያዎች ወሳኝ ናቸው።
በራስ-ሰር ቁጥጥር ፣ የጨረር ቅርፅ እና የሌዘር-ቁሳቁስ መስተጋብር ትንተና ላይ አፅንዖት በመስጠት ፣ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች የ R&D ተለዋዋጭነትን እና የጅምላ ምርትን ማሳደግን በሚደግፉበት ጊዜ ወደ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ የስራ ፍሰቶች ያለችግር እንዲዋሃድ የተቀየሰ ነው።


የሌዘር ማንሳት-ኦፍ መሳሪያዎች ቴክኖሎጂ እና አሰራር መርህ

በሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት ኦፍ እቃዎች የሚደረገው ሂደት ከፍተኛ ኃይል ያለው አልትራቫዮሌት ሌዘር ጨረር በመጠቀም ለጋሽ ኢንጎት ከአንድ ጎን በማንሳት ይጀምራል። ይህ ጨረር በተወሰነ ውስጣዊ ጥልቀት ላይ በተለይም በኢንጂነሪንግ በይነገጽ ላይ በጥብቅ ያተኮረ ሲሆን ይህም የኃይል መምጠጥ በኦፕቲካል፣ በሙቀት ወይም በኬሚካላዊ ንፅፅር ምክንያት የሚጨምር ነው።
በዚህ የኃይል መምጠጥ ንብርብር, አካባቢያዊ ማሞቂያ ወደ ፈጣን ማይክሮ-ፍንዳታ, ጋዝ መስፋፋት, ወይም የፊት ገጽታ ሽፋን (ለምሳሌ, አስጨናቂ ፊልም ወይም የመሥዋዕት ኦክሳይድ) መበስበስን ያመጣል. ይህ በትክክል ቁጥጥር የሚደረግበት መስተጓጎል የላይኛው ክሪስታላይን ንብርብር - በአስር ማይክሮሜትሮች ውፍረት - ከመሠረቱ ኢንጎት በንጽህና እንዲለይ ያደርገዋል።
ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት ኦፍ እቃዎች በእንቅስቃሴ የተመሳሰሉ የፍተሻ ራሶችን፣ ፕሮግራም ሊደረግ የሚችል የz-axis ቁጥጥር እና የእውነተኛ ጊዜ አንፀባራቂን በመጠቀም እያንዳንዱ የልብ ምት በታለመው አውሮፕላን ላይ በትክክል እንደሚሰጥ ለማረጋገጥ ነው። መሳሪያዎቹ የመጥፋት ቅልጥፍናን ለማሻሻል እና ቀሪ ጭንቀትን ለመቀነስ በburst-mode ወይም multi-pulse ችሎታዎች ሊዋቀሩ ይችላሉ። በጣም አስፈላጊው ነገር፣ የሌዘር ጨረር ቁሳቁሱን በአካል ፈጽሞ ስለማይገናኝ፣ የማይክሮክራክ፣ የመጎንበስ ወይም የገጽታ መቆራረጥ አደጋ በእጅጉ ይቀንሳል።
ይህ ሌዘር ማንሳት የማቅጠኛ ዘዴን ጨዋታ ለዋጭ ያደርገዋል፣ በተለይም እጅግ በጣም ጠፍጣፋ፣ እጅግ በጣም ቀጭ ያሉ ዋይፎች በንዑስ ማይክሮን ቲቲቪ (ጠቅላላ ውፍረት ልዩነት) በሚፈለጉባቸው መተግበሪያዎች ላይ።
የሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች መለኪያ
የሞገድ ርዝመት | IR/SHG/THG/FHG |
---|---|
የልብ ምት ስፋት | ናኖሴኮንድ፣ ፒኮሰከንድ፣ ፌምቶሴኮንድ |
ኦፕቲካል ሲስተም | ቋሚ የጨረር ስርዓት ወይም Galvano-optical system |
የ XY ደረጃ | 500 ሚሜ × 500 ሚሜ |
የማስኬጃ ክልል | 160 ሚ.ሜ |
የእንቅስቃሴ ፍጥነት | ከፍተኛው 1,000 ሚሜ በሰከንድ |
ተደጋጋሚነት | ± 1 ማይክሮን ወይም ከዚያ ያነሰ |
ፍጹም የአቀማመጥ ትክክለኛነት፡- | ± 5 μm ወይም ከዚያ ያነሰ |
የዋፈር መጠን | 2-6 ኢንች ወይም ብጁ የተደረገ |
ቁጥጥር | ዊንዶውስ 10፣11 እና ፒኤልሲ |
የኃይል አቅርቦት ቮልቴጅ | AC 200 V ± 20 V, ነጠላ-ደረጃ, 50/60 kHz |
ውጫዊ ልኬቶች | 2400 ሚሜ (ወ) × 1700 ሚሜ (ዲ) × 2000 ሚሜ (ኤች) |
ክብደት | 1,000 ኪ.ግ |
የሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሣሪያዎች የኢንዱስትሪ መተግበሪያዎች
ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት ኦፍ እቃዎች በበርካታ ሴሚኮንዳክተር ጎራዎች ላይ እንዴት እንደሚዘጋጁ በፍጥነት እየተለወጠ ነው፡
- የሌዘር ሊፍት አጥፋ መሳሪያዎች አቀባዊ የጋኤን ሃይል መሳሪያዎች
እጅግ በጣም ቀጭን GaN-on-GaN ፊልሞችን ከጅምላ ኢንጎት ማንሳት ቀጥ ያለ የኮንዳክሽን አርክቴክቸር እና ውድ ንጣፎችን እንደገና መጠቀም ያስችላል።
- SiC Wafer Thinning ለሾትኪ እና MOSFET መሳሪያዎች
የከርሰ ምድር እቅድን በሚጠብቅበት ጊዜ የመሳሪያውን ንብርብር ውፍረት ይቀንሳል - ለፈጣን መቀየሪያ ሃይል ኤሌክትሮኒክስ ተስማሚ።
- የሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች ሰንፔር ላይ የተመሠረተ LED እና የማሳያ ቁሶች
ቀጭን፣ በሙቀት የተመቻቸ የማይክሮ-LED ምርትን ለመደገፍ የመሣሪያ ንጣፎችን ከሳፋየር ቦይሎች በብቃት መለየትን ያስችላል።
- III-V የሌዘር ማንሳት-ኦፍ መሳሪያዎች የቁስ ምህንድስና
የGaAs፣ InP እና AlGaN ንብርብሮችን ለላቀ የኦፕቶኤሌክትሮኒካዊ ውህደት መለያየትን ያመቻቻል።
- ቀጭን-ዋፈር አይሲ እና ዳሳሽ ማምረት
ለግፊት ዳሳሾች፣ አክስሌሮሜትሮች ወይም ፎቶዲዮዲዮዶች ጥቅጥቅ ያሉ የአፈጻጸም ማነቆዎች ለሆኑባቸው ቀጭን ተግባራዊ ንብርብሮችን ይፈጥራል።
- ተለዋዋጭ እና ግልጽ ኤሌክትሮኒክስ
ለተለዋዋጭ ማሳያዎች፣ ተለባሽ ዑደቶች እና ግልጽ ስማርት መስኮቶች ተስማሚ የሆኑ እጅግ በጣም ቀጫጭን ንዑሳን ክፍሎችን ያዘጋጃል።
በእያንዳንዳቸው በእነዚህ አካባቢዎች ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት ኦፍ እቃዎች አነስተኛነትን፣ የቁሳቁስን እንደገና ጥቅም ላይ ማዋልን እና ሂደትን በማቃለል ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ።

የሌዘር ማንሳት-ኦፍ መሳሪያዎች ተዘውትረው የሚጠየቁ ጥያቄዎች (FAQ)
Q1፡ ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሣሪያዎችን በመጠቀም ማግኘት የምችለው ዝቅተኛው ውፍረት ምን ያህል ነው?
A1፡በእቃው ላይ በመመስረት በተለምዶ ከ10-30 ማይክሮን መካከል። ሂደቱ በተሻሻሉ ቅንጅቶች ቀጭን ውጤቶችን ማግኘት ይችላል።
Q2: ይህ ከተመሳሳይ ኢንጎት ውስጥ ብዙ ቫፈርዎችን ለመቁረጥ ሊያገለግል ይችላል?
A2፡አዎ። ብዙ ደንበኞች የሌዘር ማንሳት ቴክኒኮችን ከአንድ የጅምላ ኢንጎት ውስጥ በርካታ ቀጫጭን ንብርብሮችን በተከታታይ ማውጣትን ይጠቀማሉ።
Q3: ከፍተኛ ኃይል ላለው ሌዘር አሠራር ምን ዓይነት የደህንነት ባህሪያት ተካትተዋል?
A3፡የ 1 ኛ ክፍል ማቀፊያዎች ፣ የመቆለፊያ ስርዓቶች ፣ የጨረር መከላከያ እና አውቶማቲክ መዝጊያዎች ሁሉም መደበኛ ናቸው።
Q4: ይህ ስርዓት ከዋጋ አንፃር ከአልማዝ ሽቦዎች ጋር እንዴት ይነፃፀራል?
A4፡የመነሻ ካፕክስ ከፍ ያለ ሊሆን ቢችልም፣ የሌዘር ማንሳት የፍጆታ ወጪዎችን፣ የንጥረ-ምግቦችን ጉዳት እና የድህረ-ሂደት ደረጃዎችን በእጅጉ ይቀንሳል - አጠቃላይ የባለቤትነት ዋጋ (TCO) የረዥም ጊዜ ይቀንሳል።
Q5: ሂደቱ ወደ 6-ኢንች ወይም 8-ኢንች ኢንጂትስ ሊሰፋ ይችላል?
A5፡በፍጹም። የመሳሪያ ስርዓቱ እስከ 12-ኢንች ንጣፎችን በአንድ ወጥ የሆነ የጨረር ስርጭት እና ትልቅ-ቅርጸት የእንቅስቃሴ ደረጃዎችን ይደግፋል።
ስለ እኛ
XKH በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ልማት፣ ምርት እና ልዩ የኦፕቲካል መስታወት እና አዲስ ክሪስታል ቁሶች ሽያጭ ላይ ያተኮረ ነው። የእኛ ምርቶች ኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ፣ የሸማች ኤሌክትሮኒክስ እና ወታደራዊ አገልግሎት ይሰጣሉ። የሳፒየር ኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የሞባይል ስልክ ሌንስ ሽፋኖችን፣ ሴራሚክስ፣ LT፣ ሲሊኮን ካርቦይድ ኤስአይሲ፣ ኳርትዝ እና ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል ዋፈርዎችን እናቀርባለን። በሰለጠነ ችሎታ እና በቴክኖሎጂ መሳሪያዎች ግንባር ቀደም የኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቁሶች ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ኢንተርፕራይዝ ለመሆን በማቀድ መደበኛ ባልሆኑ የምርት ማቀነባበሪያዎች እንበልጣለን ።
