ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች የኢንጎት ቀጭንነትን አብዮታዊ ለውጥ አምጥተዋል

አጭር መግለጫ፡

ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች በሌዘር በሚመነጩ የማንሳት ቴክኒኮች አማካኝነት የሴሚኮንዳክተር ኢንጎቶችን በትክክል እና ንክኪ ባለማድረግ ለማቅለል የተነደፈ በጣም ልዩ የኢንዱስትሪ መፍትሄ ነው። ይህ የላቀ ስርዓት በዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ዋፌሪንግ ሂደቶች ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታል፣ በተለይም ለከፍተኛ አፈጻጸም ላላቸው የኃይል ኤሌክትሮኒክስ፣ ለኤልኢዲዎች እና ለRF መሳሪያዎች እጅግ በጣም ቀጭን ዋፌሮችን በመሥራት ላይ። ቀጭን ንብርብሮችን ከጅምላ ኢንጎቶች ወይም ከለጋሽ ንጣፎች መለየትን በማንቃት፣ ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች ሜካኒካል የመቁረጥ፣ የመፍጨት እና የኬሚካል ቅርፊት ደረጃዎችን በማስወገድ የኢንጎትን ቀጭንነት አብዮታዊ ያደርገዋል።


ባህሪያት

የሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች የምርት መግቢያ

ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች በሌዘር በሚመነጩ የማንሳት ቴክኒኮች አማካኝነት የሴሚኮንዳክተር ኢንጎቶችን በትክክል እና ንክኪ ባለማድረግ ለማቅለል የተነደፈ በጣም ልዩ የኢንዱስትሪ መፍትሄ ነው። ይህ የላቀ ስርዓት በዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ዋፌሪንግ ሂደቶች ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታል፣ በተለይም ለከፍተኛ አፈጻጸም ላላቸው የኃይል ኤሌክትሮኒክስ፣ ለኤልኢዲዎች እና ለRF መሳሪያዎች እጅግ በጣም ቀጭን ዋፌሮችን በመሥራት ላይ። ቀጭን ንብርብሮችን ከጅምላ ኢንጎቶች ወይም ከለጋሽ ንጣፎች መለየትን በማንቃት፣ ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች ሜካኒካል የመቁረጥ፣ የመፍጨት እና የኬሚካል ቅርፊት ደረጃዎችን በማስወገድ የኢንጎትን ቀጭንነት አብዮታዊ ያደርገዋል።

እንደ ጋሊየም ናይትራይድ (GaN)፣ ሲሊከን ካርቦይድ (SiC) እና ሰንፔር ያሉ የሴሚኮንዳክተር ኢንጎትስ ባህላዊ ማቅጠኛ ብዙውን ጊዜ ጉልበት የሚጠይቅ፣ ብክነት የሚያስከትል እና ለማይክሮክራክ ወይም ለገጽታ ጉዳት የተጋለጠ ነው። በተቃራኒው፣ ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች ምርታማነትን እየጨመረ የቁሳቁስ ብክነትን እና የገጽታ ውጥረትን የሚቀንስ አጥፊ ያልሆነ፣ ትክክለኛ አማራጭ ያቀርባል። የተለያዩ ክሪስታላይን እና የተዋሃዱ ቁሳቁሶችን ይደግፋል እና ከፊት ለፊት ወይም ከመሃል ሴሚኮንዳክተር የምርት መስመሮች ጋር ያለምንም እንከን ሊዋሃድ ይችላል።

ሊዋቀሩ የሚችሉ የሌዘር ሞገድ ርዝመቶች፣ ተለዋዋጭ የትኩረት ስርዓቶች እና ከቫክዩም ጋር ተኳሃኝ የሆኑ የዋፈር ቹኮች ያሉት ይህ መሳሪያ በተለይ ለኢንጎት መቆራረጥ፣ ላሜላ ለመፍጠር እና ለቋሚ የመሳሪያ መዋቅሮች ወይም ለሄትሮኢፒታክሲያል ንብርብር ሽግግር እጅግ በጣም ቀጭን የፊልም ማግለል በጣም ተስማሚ ነው።

ሌዘር-ሊፍት-ኦፍ-4_

የሴሚኮንዳክተር ሌዘር የማንሳት መሳሪያዎች መለኪያ

የሞገድ ርዝመት IR/SHG/THG/FHG
የልብ ምቶች ስፋት ናኖሰከንድ፣ ፒኮሰከንድ፣ ፌምቶሰከንድ
የኦፕቲካል ሲስተም ቋሚ የኦፕቲካል ሲስተም ወይም የጋልቫኖ-ኦፕቲካል ሲስተም
ኤክስአይ ደረጃ 500 ሚሜ × 500 ሚሜ
የማቀነባበሪያ ክልል 160 ሚሜ
የእንቅስቃሴ ፍጥነት ቢበዛ 1,000 ሚሜ/ሰከንድ
ተደጋጋሚነት ±1 μm ወይም ከዚያ ያነሰ
ፍጹም የቦታ ትክክለኛነት፡ ±5 μm ወይም ከዚያ ያነሰ
የዋፈር መጠን ከ2-6 ኢንች ወይም ብጁ የተደረገ
ቁጥጥር ዊንዶውስ 10፣ 11 እና ኃ.የተ.የግ.ማ.
የኃይል አቅርቦት ቮልቴጅ ኤሲ 200 ቮ ±20 ቮ፣ ነጠላ-ደረጃ፣ 50/60 kHz
ውጫዊ ልኬቶች 2400 ሚሜ (ወ) × 1700 ሚሜ (መ) × 2000 ሚሜ (ሰ)
ክብደት 1,000 ኪ.ግ.

የሴሚኮንዳክተር ሌዘር የማንሳት መሳሪያዎች የስራ መርህ

የሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች ዋና ዘዴ የሚወሰነው በለጋሹ ኢንጎት እና በኤፒታክሲያል ወይም በዒላማው ንብርብር መካከል ባለው ግንኙነት ላይ ባለው የተመረጠ የፎቶተርማል መበስበስ ወይም ማስወገጃ ላይ ነው። ከፍተኛ ኃይል ያለው የአልትራቫዮሌት ሌዘር (በተለምዶ በ248 nm ላይ KrF ወይም በ355 nm አካባቢ ጠንካራ-ሁኔታ የአልትራቫዮሌት ሌዘሮች) የሚያተኩረው ግልጽ በሆነ ወይም ከፊል-ግልጽ በሆነ የለጋሽ ቁሳቁስ ሲሆን ጉልበቱ በተወሰነው ጥልቀት ላይ ተመርጦ ይወሰዳል።

ይህ አካባቢያዊ የኃይል መምጠጥ በበይነገጹ ላይ ከፍተኛ ግፊት ያለው የጋዝ ምዕራፍ ወይም የሙቀት ማስፋፊያ ንብርብር ይፈጥራል፣ ይህም የላይኛውን ዋፈር ወይም የመሳሪያ ንብርብር ከኢንጎት ቤዝ ንፁህ መበላሸት ይጀምራል። ሂደቱ እንደ የልብ ምቱ ስፋት፣ የሌዘር ፍሉዌንሲ፣ የስካኒንግ ፍጥነት እና የz-ዘንግ የትኩረት ጥልቀት ያሉ መለኪያዎችን በማስተካከል በጥሩ ሁኔታ የተስተካከለ ነው። ውጤቱም እጅግ በጣም ቀጭን ቁራጭ - ብዙውን ጊዜ ከ10 እስከ 50 µm ክልል ውስጥ - ያለ ሜካኒካል መቧጨር ከወላጅ ኢንጎት በንፁህ መንገድ ተለይቶ ይገኛል።

ይህ የኢንጎት ቀጭንነትን ለማንሳት የሌዘር ማንሳት ዘዴ ከአልማዝ ሽቦ መቆራረጥ ወይም ከሜካኒካል ላፕ ጋር ተያይዞ የሚመጣውን የከርፍ መጥፋት እና የወለል ጉዳትን ያስወግዳል። እንዲሁም የክሪስታል ታማኝነትን ይጠብቃል እና የታችኛውን የማጥራት መስፈርቶችን ይቀንሳል፣ ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎችን ለቀጣዩ ትውልድ ዋፈር ምርት የሚቀይር መሳሪያ ያደርገዋል።

ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች የኢንጎት ቲንኒንግ 2ን አብዮታዊ ለውጥ አድርገዋል

የሴሚኮንዳክተር ሌዘር የማንሳት መሳሪያዎች አተገባበር

ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች በተለያዩ የላቁ ቁሳቁሶች እና የመሳሪያ ዓይነቶች ላይ ኢንጎትን በማቅለል ረገድ ሰፊ ተግባራዊነትን ያገኛሉ፣ ከእነዚህም ውስጥ፡

  • ለኃይል መሳሪያዎች GaN እና GaAs Ingot Thining
    ለከፍተኛ ቅልጥፍና፣ ዝቅተኛ የመቋቋም ኃይል ላላቸው ትራንዚስተሮች እና ዳዮዶች ቀጭን ዋፈር መፍጠርን ያስችላል።

  • የሲሲ ንጣፎች መልሶ ማቋቋም እና የላሜላ መለያየት
    ለቋሚ የመሳሪያ መዋቅሮች እና ለዋፈር እንደገና ጥቅም ላይ ለማዋል ከጅምላ SiC ንጣፎች የዋፈር-ደረጃ ማንሳት ያስችላል።

  • የኤልኢዲ ዋፈር መቆራረጥ
    እጅግ በጣም ቀጭን የኤልኢዲ ንጣፎችን ለማምረት የጋኤን ንብርብሮችን ከወፍራም ሰንፔር ኢንጎት ማንሳትን ያመቻቻል።

  • የአርኤፍ እና ማይክሮዌቭ መሳሪያ ማምረቻ
    በ5ጂ እና በራዳር ስርዓቶች ውስጥ የሚያስፈልጉ እጅግ በጣም ቀጭን ከፍተኛ የኤሌክትሮኒክስ ተንቀሳቃሽነት ትራንዚስተር (HEMT) መዋቅሮችን ይደግፋል።

  • የኤፒታክሲያል ንብርብር ዝውውር
    ኤፒታክሲያል ንብርብሮችን ከክሪስታሊን ኢንጎቶች በትክክል ይለያል፤ እንደገና ጥቅም ላይ እንዲውሉ ወይም ወደ ሄትሮስትራክቸሮች እንዲዋሃዱ ያደርጋል።

  • ቀጭን-ፊልም የፀሐይ ሴሎች እና ፎቶቮልታይኮች
    ለተለዋዋጭ ወይም ከፍተኛ ብቃት ላላቸው የፀሐይ ሴሎች ቀጭን የመምጠጥ ንብርብሮችን ለመለየት የሚያገለግል።

በእያንዳንዱ በእነዚህ ዘርፎች፣ ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች በውፍረት ወጥነት፣ በገጽታ ጥራት እና በንብርብር ትክክለኛነት ላይ ተወዳዳሪ የሌለው ቁጥጥር ይሰጣሉ።

ሌዘር-ሊፍት-ኦፍ-13

በሌዘር ላይ የተመሠረተ የኢንጎት ቀጭንነት ጥቅሞች

  • ዜሮ-ከርፍ የቁሳቁስ ኪሳራ
    ከባህላዊ የዋፈር መቆራረጥ ዘዴዎች ጋር ሲነጻጸር፣ የሌዘር ሂደቱ ወደ 100% የሚጠጋ የቁሳቁስ አጠቃቀምን ያስከትላል።

  • አነስተኛ ውጥረት እና መዘበራረቅ
    እውቂያ ያልሆነ ማንሳት ሜካኒካል ንዝረትን ያስወግዳል፣ የዋፈር ቀስት እና የማይክሮክራክ መፈጠርን ይቀንሳል።

  • የገጽታ ጥራት ጥበቃ
    በብዙ አጋጣሚዎች የሌዘር ማንሳት የላይኛውን ወለል ትክክለኛነት ስለሚጠብቅ፣ የድህረ-ቀጭን መዝለል ወይም ማጥራት አያስፈልግም።

  • ከፍተኛ የመተላለፊያ እና አውቶሜሽን ዝግጁ
    በራስ-ሰር በመጫን/በማውረድ በአንድ ፈረቃ በመቶዎች የሚቆጠሩ ንጣፎችን የማስኬድ ችሎታ።

  • ለብዙ ቁሳቁሶች ተስማሚ
    ከ GaN፣ SiC፣ ሰንፔር፣ GaAs እና ከሚወጡት የ III-V ቁሳቁሶች ጋር ተኳሃኝ።

  • ለአካባቢ ደህንነቱ የተጠበቀ
    በዝቃጭ ላይ በተመሰረቱ የማቅለጫ ሂደቶች ውስጥ የተለመዱትን የማጥላሻዎችን እና ጨካኝ ኬሚካሎችን አጠቃቀም ይቀንሳል።

  • የንዑስ ክፍል እንደገና ጥቅም ላይ ማዋል
    የለጋሽ ኢንጎቶች ለብዙ የማንሳት ዑደቶች እንደገና ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ፣ ይህም የቁሳቁስ ወጪዎችን በእጅጉ ይቀንሳል።

የሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች ተደጋግሞ የሚጠየቁ ጥያቄዎች (ተደጋግሞ የሚጠየቁ ጥያቄዎች)

  • ጥ 1፡ ሴሚኮንዳክተር ሌዘር ሊፍት-ኦፍ መሳሪያዎች ለዋፈር ቁርጥራጮች ምን ያህል ውፍረት ሊኖራቸው ይችላል?
    A1፡የተለመደው የቁራጭ ውፍረት ከ10 µm እስከ 100 µm እንደ ቁሳቁስ እና ውቅር ይለያያል።

    ጥ2፡ ይህ መሳሪያ እንደ SiC ካሉ ግልጽ ካልሆኑ ቁሳቁሶች የተሠሩ ኢንጎቶችን ለማቅለል ሊያገለግል ይችላል?
    A2፡አዎ። የሌዘር ሞገድ ርዝመትን በማስተካከል እና የበይነገጽ ምህንድስናን በማመቻቸት (ለምሳሌ፣ የመስዋዕትነት ኢንተርላይየሮች)፣ በከፊል ግልጽ ያልሆኑ ቁሶች እንኳን ሊሰሩ ይችላሉ።

    ጥያቄ 3፡ የለጋሹ ንጣፍ ከሌዘር ማንሳት በፊት እንዴት ይስተካከላል?
    A3፡ስርዓቱ ከእምነት ምልክቶች እና ከገጽታ አንጸባራቂ ቅኝቶች ግብረመልስ ጋር ንዑስ-ማይክሮን ቪዥን ላይ የተመሰረቱ የአሰላለፍ ሞጁሎችን ይጠቀማል።

    ጥ 4፡ ለአንድ የሌዘር ማንሳት ተግባር የሚጠበቀው የዑደት ጊዜ ስንት ነው?
    ኤ4፡እንደ ዋፈር መጠን እና ውፍረት፣ የተለመዱ ዑደቶች ከ2 እስከ 10 ደቂቃዎች ይቆያሉ።

    ጥያቄ 5፡ ሂደቱ የጽዳት ክፍል አካባቢን ይፈልጋል?
    A5፡ምንም እንኳን ግዴታ ባይሆንም፣ የንፁህ ክፍል ውህደት ከፍተኛ ትክክለኛነት በሚደረግበት ጊዜ የንፁህ ክፍል ንጽህናን ለመጠበቅ እና የመሳሪያውን ምርት በከፍተኛ ትክክለኛነት ለመጠበቅ ይመከራል።

ስለ እኛ

XKH በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ልማት፣ ምርት እና ልዩ የኦፕቲካል መስታወት እና አዳዲስ ክሪስታል ቁሳቁሶችን ሽያጭ ላይ ያተኩራል። ምርቶቻችን የኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ፣ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ እና ወታደራዊ አገልግሎት ይሰጣሉ። የሳፋየር ኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የሞባይል ስልክ ሌንስ ሽፋኖችን፣ ሴራሚክስን፣ ኤልቲ፣ ሲሊከን ካርባይድ ሲአይሲ፣ ኳርትዝ እና ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል ዋፈርስን እናቀርባለን። በሙያዊ እውቀት እና ዘመናዊ መሳሪያዎች፣ መደበኛ ባልሆነ የምርት ማቀነባበሪያ ውስጥ የላቀ ችሎታ አለን፣ እናም ግንባር ቀደም የኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቁሶች ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ድርጅት ለመሆን እንጥራለን።

14--ሲሊኮን-ካርቦይድ-የተሸፈነ-thin_494816

  • ቀዳሚ፡
  • ቀጣይ፡

  • መልእክትዎን እዚህ ይፃፉ እና ይላኩልን