የሲሲ ሴራሚክ ቻክ ትሪ የሴራሚክ መምጠጥ ኩባያዎች ትክክለኛ ማሽነሪ ብጁ ተደርጓል
የቁሳቁስ ባህሪያት:
1. ከፍተኛ ጥንካሬ፡ የሲሊኮን ካርቦይድ የሞህስ ጥንካሬ 9.2-9.5 ሲሆን ከአልማዝ ቀጥሎ ሁለተኛ ሲሆን ጠንካራ የመልበስ መቋቋም አለው።
2. ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ፡ የሲሊኮን ካርቦይድ የሙቀት ማስተላለፊያ እስከ 120-200 W/m·K ድረስ ከፍተኛ ሲሆን ይህም ሙቀትን በፍጥነት ሊያጠፋ የሚችል እና ለከፍተኛ የሙቀት መጠን ተስማሚ ነው።
3. ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት፡ የሲሊኮን ካርቦይድ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት ዝቅተኛ ነው (4.0-4.5×10⁻⁶/K)፣ አሁንም በከፍተኛ ሙቀት የልኬት መረጋጋትን መጠበቅ ይችላል።
4. የኬሚካል መረጋጋት፡- የሲሊኮን ካርቦይድ አሲድ እና የአልካላይን ዝገት መቋቋም፣ በኬሚካል ዝገት አካባቢ ለመጠቀም ተስማሚ።
5. ከፍተኛ የሜካኒካል ጥንካሬ፡- ሲሊከን ካርቦይድ ከፍተኛ የማጠፍ ጥንካሬ እና የመጭመቂያ ጥንካሬ ያለው ሲሆን ከፍተኛ የሜካኒካል ጭንቀትን መቋቋም ይችላል።
ባህሪያት፡
1. በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ እጅግ በጣም ቀጭን የሆኑ ዋፈሮች በቫክዩም መምጠጥ ኩባያ ላይ መቀመጥ አለባቸው፣ የቫክዩም መምጠጥ ዋፈሮቹን ለማስተካከል ጥቅም ላይ ይውላል፣ እና የሰም ማቅላት፣ ማቅለጥ፣ ሰም ማጥራት፣ ማጽዳት እና መቁረጥ ሂደት በዋፈሮቹ ላይ ይከናወናል።
2. የሲሊኮን ካርቦይድ መጭመቂያ ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ አለው፣ የሰም እና የሰም ጊዜን በብቃት ሊያሳጥር፣ የምርት ቅልጥፍናን ሊያሻሽል ይችላል።
3. የሲሊኮን ካርቦይድ ቫክዩም መጭመቂያ ጥሩ የአሲድ እና የአልካላይን ዝገት መቋቋም አለው።
4. ከባህላዊው የኮሩንደም ተሸካሚ ሳህን ጋር ሲነጻጸር፣ የመጫኛ እና የማውረድ የማሞቂያ እና የማቀዝቀዣ ጊዜን ያሳጥራል፣ የስራ ቅልጥፍናን ያሻሽላል፤ በተመሳሳይ ጊዜ፣ በላይኛው እና በታችኛው ሳህኖች መካከል ያለውን አለባበስ ሊቀንስ፣ ጥሩ የፕላን ትክክለኛነትን ሊጠብቅ እና የአገልግሎት ህይወቱን በ40% ገደማ ሊያራዝም ይችላል።
5. የቁሳቁሱ መጠን አነስተኛ እና ቀላል ክብደት ያለው ነው። ለኦፕሬተሮች ፓሌቶችን መሸከም ቀላል ነው፣ ይህም በትራንስፖርት ችግሮች ምክንያት የሚደርሰውን የግጭት ጉዳት በ20% ይቀንሳል።
6. መጠን፡ ከፍተኛው ዲያሜትር 640ሚሜ፤ ጠፍጣፋነት፡ 3um ወይም ከዚያ በታች
የማመልከቻ መስክ፡
1. የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ
●የዋፈር ማቀነባበሪያ፡
በፎቶሊቶግራፊ፣ በመቅረጽ፣ በቀጭን የፊልም ክምችት እና በሌሎች ሂደቶች ውስጥ ለዋፈር መጠገን፣ ከፍተኛ ትክክለኛነትን እና የሂደቱን ወጥነት ያረጋግጣል። ከፍተኛ የሙቀት መጠኑ እና የዝገት መቋቋም ለጠንካራ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አካባቢዎች ተስማሚ ነው።
●ኤፒታክሲያል እድገት፡
በ SiC ወይም GaN ኤፒታክሲያል እድገት ውስጥ፣ ዋፈርን ለማሞቅ እና ለመጠገን እንደ ተሸካሚ፣ የሙቀት መጠኑን ወጥነት እና ከፍተኛ ሙቀት ክሪስታል ጥራትን ማረጋገጥ፣ የመሳሪያውን አፈፃፀም ማሻሻል።
2. የፎቶኤሌክትሪክ መሳሪያዎች
●የኤልኢዲ ማምረቻ፡
የሳፋየር ወይም የሲሲ ንጣፍን ለመጠገን እና በ MOCVD ሂደት ውስጥ እንደ ማሞቂያ ተሸካሚ ሆኖ የሚያገለግል ሲሆን የኤፒታክሲያል እድገትን ወጥነት ለማረጋገጥ፣ የ LED ብርሃንን ውጤታማነት እና ጥራትን ለማሻሻል ይጠቅማል።
●ሌዘር ዳዮድ፡
እንደ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው መሳሪያ፣ የሂደቱን የሙቀት መጠን መረጋጋት ለማረጋገጥ እንደ ማስተካከያ እና ማሞቂያ ንጣፍ፣ የሌዘር ዳዮድን የውጤት ኃይል እና አስተማማኝነት ያሻሽላል።
3. ትክክለኛ የማሽን
● የኦፕቲካል ክፍሎች ማቀነባበሪያ፡
በማቀነባበር ወቅት ከፍተኛ ትክክለኛነትን እና ዝቅተኛ ብክለትን ለማረጋገጥ እንደ ኦፕቲካል ሌንሶች እና ማጣሪያዎች ያሉ ትክክለኛ ክፍሎችን ለማስተካከል የሚያገለግል ሲሆን ለከፍተኛ ጥንካሬ ማሽነሪ ተስማሚ ነው።
●የሴራሚክ ማቀነባበሪያ
ከፍተኛ የመረጋጋት መሳሪያ እንደመሆኑ መጠን፣ በከፍተኛ ሙቀት እና በዝገት አካባቢ የማሽን ትክክለኛነት እና ወጥነት ለማረጋገጥ የሴራሚክ ቁሳቁሶችን ትክክለኛነት ለማቀነባበር ተስማሚ ነው።
4. ሳይንሳዊ ሙከራዎች
●ከፍተኛ የሙቀት መጠን ሙከራ፡
በከፍተኛ የሙቀት መጠን አካባቢዎች ውስጥ እንደ ናሙና ማስተካከያ መሳሪያ፣ የሙቀት መጠኑን ወጥነት እና የናሙና መረጋጋት ለማረጋገጥ ከ1600°ሴ በላይ የሆኑ ከፍተኛ የሙቀት ሙከራዎችን ይደግፋል።
●የቫክዩም ምርመራ፡
በቫክዩም አካባቢ ውስጥ እንደ ናሙና ማስተካከያ እና ማሞቂያ ተሸካሚ፣ የሙከራውን ትክክለኛነት እና ተደጋጋሚነት ለማረጋገጥ፣ ለቫክዩም ሽፋን እና ለሙቀት ሕክምና ተስማሚ።
ቴክኒካዊ ዝርዝሮች፡
| (የቁሳቁስ ንብረት) | (ክፍል) | (ሲሲክ) | |
| (የሲሲ ይዘት) |
| (Wt)% | >99 |
| (አማካይ የእህል መጠን) |
| ማይክሮን | 4-10 |
| (ጥግነት) |
| ኪ.ግ/ዲኤም3 | >3.14 |
| (ግልጽ የሆነ ቀዳዳ) |
| ቮ1% | <0.5 |
| (የቪከርስ ጥንካሬ) | ኤችቪ 0.5 | ጂፒኤ | 28 |
| *(የመገጣጠሚያ ጥንካሬ) | 20ºሴ | MPa | 450 |
| (የመጨመቂያ ጥንካሬ) | 20ºሴ | MPa | 3900 |
| (ኤላስቲክ ሞዱለስ) | 20ºሴ | ጂፒኤ | 420 |
| (የስብራት ጥንካሬ) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (የሙቀት ማስተላለፊያ) | 20°ሴ | ወ/(ሜ*ኬ) | 160 |
| (የመቋቋም ችሎታ) | 20°ሴ | ኦህም.ሴሜ | 106-108 |
|
| a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| oºC | 1700 ዓ.ም. |
ለዓመታት የቴክኒክ ክምችት እና የኢንዱስትሪ ልምድ ስላለው፣ XKH እንደ ቹክ መጠን፣ የማሞቂያ ዘዴ እና የቫክዩም መምጠጥ ዲዛይን ያሉ ቁልፍ መለኪያዎችን እንደ ደንበኛው ልዩ ፍላጎቶች ማስተካከል ይችላል፣ ይህም ምርቱ ከደንበኛው ሂደት ጋር ፍጹም በሆነ መልኩ እንዲስማማ ያረጋግጣል። የሲሲ ሲሊከን ካርቦይድ የሴራሚክ ቹኮች እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂነት፣ ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት እና የኬሚካል መረጋጋት ስላላቸው በዋፈር ማቀነባበሪያ፣ በኤፒታክሲያል እድገት እና በሌሎች ቁልፍ ሂደቶች ውስጥ አስፈላጊ አካላት ሆነዋል። በተለይም እንደ ሲሲ እና ጋኤን ያሉ የሶስተኛ ትውልድ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶችን በማምረት ረገድ የሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ ቹኮች ፍላጎት ማደጉን ቀጥሏል። ወደፊት፣ በ5ጂ፣ በኤሌክትሪክ ተሽከርካሪዎች፣ በአርቴፊሻል ኢንተለጀንስ እና በሌሎች ቴክኖሎጂዎች ፈጣን እድገት፣ በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ ቹኮች የመተግበር ተስፋ ሰፊ ይሆናል።
ዝርዝር ዲያግራም
