የሲሲ ሴራሚክ ቻክ ትሪ የሴራሚክ መምጠጥ ኩባያዎች ትክክለኛነት ማሽነሪ ተበጅቷል።
የቁሳቁስ ባህሪያት:
1.High hardness: የ Mohs የሲሊኮን ካርቦይድ ጥንካሬ 9.2-9.5, ከአልማዝ ቀጥሎ ሁለተኛ, ጠንካራ የመልበስ መከላከያ ነው.
2. ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity): የሲሊኮን ካርቦይድ የሙቀት መጠን ከ 120-200 W / m · K ከፍተኛ ነው, ይህም በፍጥነት ሙቀትን ያስወግዳል እና ለከፍተኛ ሙቀት አከባቢ ተስማሚ ነው.
3. ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት፡ የሲሊኮን ካርቦዳይድ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ዝቅተኛ ነው (4.0-4.5×10⁻⁶/K)፣ አሁንም በከፍተኛ ሙቀት የመጠን መረጋጋትን ሊጠብቅ ይችላል።
4. የኬሚካል መረጋጋት: የሲሊኮን ካርቦይድ አሲድ እና የአልካላይን ዝገት መቋቋም, በኬሚካል ጎጂ አካባቢ ውስጥ ለመጠቀም ተስማሚ ነው.
5. ከፍተኛ የሜካኒካል ጥንካሬ፡- ሲሊከን ካርቦይድ ከፍተኛ የመታጠፍ ጥንካሬ እና የመጨመቂያ ጥንካሬ ያለው ሲሆን ትልቅ የሜካኒካዊ ጭንቀትን ይቋቋማል።
ባህሪያት፡
1.በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ እጅግ በጣም ቀጭን ዋፍሎችን በቫኪዩም መምጠጥ ኩባያ ላይ ማስቀመጥ ያስፈልጋል, የቫኩም መምጠጥ ማሰሪያዎችን ለመጠገን ጥቅም ላይ ይውላል, እና የማቅለጫ, ማቅለጥ, ማቅለጥ, ማጽዳት እና መቁረጡ በዊንዶዎች ላይ ይከናወናል.
2.Silicon carbide sucker ጥሩ አማቂ conductivity አለው, ውጤታማ በሰም እና በሰም ጊዜ ማሳጠር, የምርት ውጤታማነት ለማሻሻል ይችላሉ.
3.Silicon carbide vacuum sucker ጥሩ አሲድ እና አልካሊ ዝገት የመቋቋም አለው.
4.Compared ባህላዊ corundum carrier ሳህን ጋር, የመጫን እና ስናወርድ ማሞቂያ እና የማቀዝቀዣ ጊዜ ማሳጠር, ሥራ ውጤታማነት ማሻሻል; በተመሳሳይ ጊዜ, ከላይ እና ከታች ባሉት ጠፍጣፋዎች መካከል ያለውን አለባበስ ይቀንሳል, ጥሩ የአውሮፕላኑን ትክክለኛነት ለመጠበቅ እና የአገልግሎት ህይወቱን በ 40% ገደማ ያራዝመዋል.
5.The ቁሳዊ proportion ትንሽ ነው, ቀላል ክብደት. በትራንስፖርት ችግር ምክንያት የሚደርሰውን የግጭት አደጋ በ20 በመቶ በመቀነስ ኦፕሬተሮች ፓሌቶችን ለመሸከም ቀላል ነው።
6.Size: ከፍተኛው ዲያሜትር 640mm; ጠፍጣፋነት: 3um ወይም ከዚያ ያነሰ
የማመልከቻ ቦታ፡
1. ሴሚኮንዳክተር ማምረት
● ዋፈር ማቀነባበር፡
ለ wafer መጠገን በፎቶሊቶግራፊ ፣ ኢቲች ፣ ስስ የፊልም ማስቀመጫ እና ሌሎች ሂደቶች ፣ ይህም ከፍተኛ ትክክለኛነትን እና የሂደቱን ትክክለኛነት ያረጋግጣል ። ከፍተኛ የሙቀት መጠኑ እና የዝገት መቋቋም ለጠንካራ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አካባቢዎች ተስማሚ ነው።
● ኤፒታክሲያል እድገት፡
በሲሲ ወይም በጋኤን ኤፒታክሲያል እድገት፣ ዋፈርን ለማሞቅ እና ለመጠገን እንደ ተሸካሚ፣ የሙቀት መጠኑን እና ክሪስታል ጥራትን በከፍተኛ ሙቀት ማረጋገጥ፣ የመሣሪያውን አፈጻጸም ማሻሻል።
2. የፎቶ ኤሌክትሪክ መሳሪያዎች
● LED ማምረት;
ሰንፔርን ወይም የሲሲ ንኡስ ንኡስ ንብረቱን ለመጠገን እና በMOCVD ሂደት ውስጥ እንደ ማሞቂያ ተሸካሚ ሆኖ የኤፒታክሲያል እድገትን ተመሳሳይነት ለማረጋገጥ ፣ የ LED ብርሃን ቅልጥፍናን እና ጥራትን ያሻሽላል።
●ሌዘር ዳዮድ፡-
የሂደቱን የሙቀት መጠን መረጋጋት ለማረጋገጥ እንደ ከፍተኛ ትክክለኛነት ፣ ማስተካከያ እና ማሞቂያ ፣ የሌዘር diode የውጤት ኃይልን እና አስተማማኝነትን ያሻሽላል።
3. ትክክለኛነት ማሽነሪ
●የጨረር አካላት ሂደት፡-
በሂደቱ ወቅት ከፍተኛ ትክክለኛነትን እና ዝቅተኛ ብክለትን ለማረጋገጥ እንደ ኦፕቲካል ሌንሶች እና ማጣሪያዎች ያሉ ትክክለኛ ክፍሎችን ለመጠገን ጥቅም ላይ ይውላል እና ለከፍተኛ ጥንካሬ ማሽን ተስማሚ ነው።
●የሴራሚክ ማቀነባበሪያ;
እንደ ከፍተኛ መረጋጋት, በከፍተኛ ሙቀት እና በቆሸሸ አካባቢ ውስጥ የማሽን ትክክለኛነት እና ወጥነት ያለው መሆኑን ለማረጋገጥ የሴራሚክ ቁሳቁሶችን ለትክክለኛ ማሽኖች ተስማሚ ነው.
4. ሳይንሳዊ ሙከራዎች
●የከፍተኛ ሙቀት ሙከራ
ከፍተኛ ሙቀት ባለው አካባቢ ውስጥ እንደ ናሙና መጠገኛ መሳሪያ የሙቀት መጠኑን እና የናሙና መረጋጋትን ለማረጋገጥ ከ 1600 ° ሴ በላይ ከፍተኛ የሙቀት ሙከራዎችን ይደግፋል።
●የቫኩም ሙከራ
በቫኩም አከባቢ ውስጥ እንደ ናሙና መጠገን እና ማሞቂያ ተሸካሚ ፣ የሙከራውን ትክክለኛነት እና ተደጋጋሚነት ለማረጋገጥ ፣ ለቫኩም ሽፋን እና ለሙቀት ሕክምና ተስማሚ።
ቴክኒካዊ ዝርዝሮች;
| (ቁሳቁስ) | (ክፍል) | (ሲሲ) | |
| (የሲሲ ይዘት) |
| (ወ)% | >99 |
| (አማካይ የእህል መጠን) |
| ማይክሮን | 4-10 |
| (እፍጋት) |
| ኪግ/ዲኤም3 | > 3.14 |
| (በግልጥ ያለ የሆድ ድርቀት) |
| ድምጽ 1% | <0.5 |
| (የቪከር ጥንካሬ) | HV 0.5 | ጂፒኤ | 28 |
| *(ተለዋዋጭ ጥንካሬ) | 20º ሴ | MPa | 450 |
| (የመጨመቂያ ጥንካሬ) | 20º ሴ | MPa | 3900 |
| (ላስቲክ ሞዱሉስ) | 20º ሴ | ጂፒኤ | 420 |
| (የስብራት ጥንካሬ) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (የሙቀት ማስተላለፊያ) | 20 ° ሴ | ወ/(ሜ*ኬ) | 160 |
| (ተቃርኖ) | 20 ° ሴ | ኦህ.ሴ.ሜ | 106-108 |
|
| አ(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| oºC | 1700 |
ለዓመታት በቆየ የቴክኒክ ክምችት እና የኢንዱስትሪ ልምድ፣ XKH የችኩን መጠን፣ የማሞቅ ዘዴ እና የቫኩም ማስታዎቂያ ዲዛይን በደንበኛው ልዩ ፍላጎት መሰረት ቁልፍ መለኪያዎችን ማበጀት የሚችል ሲሆን ይህም ምርቱ ከደንበኛው ሂደት ጋር ሙሉ በሙሉ የተጣጣመ መሆኑን ያረጋግጣል። የሲሲሲ ሲሊከን ካርቦይድ ሴራሚክ ቸኮች እጅግ በጣም ጥሩ በሆነ የሙቀት መቆጣጠሪያ ፣ ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት እና የኬሚካል መረጋጋት ምክንያት በ wafer ሂደት ፣ ኤፒታክሲያል እድገት እና ሌሎች ቁልፍ ሂደቶች ውስጥ አስፈላጊ አካላት ሆነዋል። በተለይም እንደ ሲሲ እና ጋኤን ያሉ የሶስተኛ ትውልድ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶችን በማምረት ላይ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ቸኮች ፍላጎት ማደጉን ቀጥሏል. ወደፊት, 5G, የኤሌክትሪክ ተሽከርካሪዎች, አርቲፊሻል ኢንተለጀንስ እና ሌሎች ቴክኖሎጂዎች ፈጣን ልማት ጋር, ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ሲሊከን ካርባይድ የሴራሚክስ chucks መካከል ማመልከቻ ተስፋዎች ሰፊ ይሆናል.
ዝርዝር ሥዕላዊ መግለጫ
