የሲሲ ሴራሚክ መጨረሻ ውጤት ሰጭ እጅ መስጠት ለዋፈር እንክብካቤ
የሲሲ ሴራሚክ የመጨረሻ ውጤት አስተላላፊ Abstract
የሲሲ (ሲሊኮን ካርቦይድ) የሴራሚክ መጨረሻ-ተፅዕኖ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ እና የላቀ የማይክሮ ፋብሪካ አካባቢዎች ጥቅም ላይ በሚውል ከፍተኛ ትክክለኛ የዋፈር አያያዝ ስርዓቶች ውስጥ ወሳኝ አካል ነው። እጅግ በጣም ንፁህ፣ ከፍተኛ ሙቀት ያለው እና በጣም የተረጋጋ አካባቢዎች የሚፈለጉትን መስፈርቶች ለማሟላት የተነደፈ፣ ይህ ልዩ የመጨረሻ ውጤት ሰጭ እንደ ሊቶግራፊ፣ ማሳከክ እና ማስቀመጥ ባሉ ቁልፍ የምርት ደረጃዎች ውስጥ አስተማማኝ እና ከብክለት ነፃ የሆነ የዋፈር ማጓጓዣን ያረጋግጣል።
የሲሊኮን ካርቦዳይድ የላቀ የቁስ ባህሪያትን መጠቀም - እንደ ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ ፣ ከፍተኛ ጥንካሬ ፣ እጅግ በጣም ጥሩ ኬሚካዊ አለመመጣጠን እና አነስተኛ የሙቀት መስፋፋት - የሲሲ ሴራሚክ የመጨረሻ-ተፅዕኖ በፈጣን የሙቀት ብስክሌት ውስጥ ወይም በቆሸሸ ሂደት ክፍሎች ውስጥ እንኳን ተወዳዳሪ የሌለው የሜካኒካዊ ጥንካሬ እና የመጠን መረጋጋት ይሰጣል። አነስተኛ ቅንጣት ማመንጨት እና የፕላዝማ የመቋቋም ባህሪያቱ በተለይ ለጽዳት ክፍል እና ለቫኩም ማቀነባበሪያ አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ያደርገዋል።
የሲሲ ሴራሚክ የመጨረሻ ውጤት መተግበሪያ
1. ሴሚኮንዳክተር ዋፈር አያያዝ
በራስ-ሰር በሚመረትበት ጊዜ የሲሊኮን ዋፍሎችን ለመቆጣጠር የሲሲ ሴራሚክ የመጨረሻ ውጤት በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል። እነዚህ የመጨረሻ ውጤቶች በተለምዶ በሮቦቲክ ክንዶች ወይም በቫኩም ማስተላለፊያ ስርዓቶች ላይ የተጫኑ እና እንደ 200 ሚሜ እና 300 ሚሜ ያሉ የተለያዩ መጠን ያላቸውን ዋይፎችን ለማስተናገድ የተነደፉ ናቸው። በኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (CVD)፣ በአካላዊ የእንፋሎት ክምችት (PVD)፣ ማሳከክ እና ስርጭት - ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫኩም ሁኔታዎች እና የሚበላሹ ጋዞች በብዛት በሚገኙባቸው ሂደቶች ውስጥ አስፈላጊ ናቸው። የሲሲ ልዩ የሙቀት መቋቋም እና የኬሚካላዊ መረጋጋት እንደዚህ ያሉ አስቸጋሪ አካባቢዎችን ያለ መበስበስ ለመቋቋም ጥሩ ቁሳቁስ ያደርገዋል።
2. የጽዳት ክፍል እና የቫኩም ተኳሃኝነት
በንፁህ ክፍል እና በቫኩም ቅንጅቶች፣ የቅንጣት ብክለት መቀነስ ያለበት፣ ሲሲ ሴራሚክስ ጉልህ ጥቅሞችን ይሰጣል። የቁሱ ጥቅጥቅ ያለ ለስላሳ ላዩን ቅንጣት ማመንጨትን ይቃወማል፣በመጓጓዣ ጊዜ የዋፈር ታማኝነትን ለመጠበቅ ይረዳል። ይህ የሲሲ የመጨረሻ ውጤት አድራጊዎች ንፅህና ወሳኝ በሆነባቸው እንደ Extreme Ultraviolet Lithography (EUV) እና Atomic Layer Deposition (ALD) ላሉ ወሳኝ ሂደቶች በጣም ተስማሚ ያደርገዋል። በተጨማሪም የሲሲ ዝቅተኛ የጋዝ መውጫ እና ከፍተኛ የፕላዝማ መቋቋም በቫኩም ክፍሎች ውስጥ አስተማማኝ አፈፃፀምን ያረጋግጣል ፣የመሳሪያዎችን ዕድሜ ያራዝማል እና የጥገና ድግግሞሽን ይቀንሳል።
3. ከፍተኛ-ትክክለኛነት አቀማመጥ ስርዓቶች
ትክክለኛነት እና መረጋጋት በላቁ የዋፈር አያያዝ ስርዓቶች በተለይም በሜትሮሎጂ፣ ፍተሻ እና አሰላለፍ መሳሪያዎች ውስጥ ወሳኝ ናቸው። የሲሲ ሴራሚክስ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና ከፍተኛ ጥንካሬ ያለው ሲሆን ይህም የመጨረሻው ተፅዕኖ በሙቀት ብስክሌት ወይም በሜካኒካል ጭነት ውስጥ እንኳን መዋቅራዊ ትክክለኛነትን እንዲጠብቅ ያስችለዋል. ይህ በማጓጓዝ ወቅት ዋፍሮች በትክክል እንደተስተካከሉ መቆየታቸውን ያረጋግጣል፣ ይህም የጥቃቅን ቧጨራዎችን፣ የተሳሳቱ አመለካከቶችን ወይም የመለኪያ ስህተቶችን አደጋን ይቀንሳል - በ5nm ንዑስ-5nm ሂደት አንጓዎች ላይ ከጊዜ ወደ ጊዜ በጣም ወሳኝ የሆኑ ምክንያቶች።
የሲሲ ሴራሚክ የመጨረሻ ውጤት ባህሪያት
1. ከፍተኛ የሜካኒካል ጥንካሬ እና ጥንካሬ
ሲሲ ሴራሚክስ ልዩ የሆነ የሜካኒካል ጥንካሬ አላቸው፣ ተጣጣፊ ጥንካሬ ብዙውን ጊዜ ከ400 MPa እና የቪከርስ ጠንካራነት እሴቶች ከ2000 ኤች.ቪ. ይህ ለረዥም ጊዜ የስራ ማስኬጃ ጥቅም ላይ ከዋለ በኋላም ለሜካኒካዊ ጭንቀት፣ ተጽዕኖ እና ማልበስ በጣም እንዲቋቋሙ ያደርጋቸዋል። የSiC ከፍተኛ ግትርነት በከፍተኛ ፍጥነት የዋፈር ዝውውሮች ወቅት ማፈንገጥን ይቀንሳል፣ ይህም ትክክለኛ እና ሊደገም የሚችል አቀማመጥን ያረጋግጣል።
2. እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት
የሲሲ ሴራሚክስ በጣም ጠቃሚ ከሆኑት ባህሪያት አንዱ እጅግ በጣም ከፍተኛ ሙቀትን የመቋቋም ችሎታ ነው - ብዙውን ጊዜ እስከ 1600 ° ሴ በማይነቃነቅ አየር ውስጥ - ሜካኒካል ታማኝነት ሳያጡ. የእነሱ ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ማስፋፊያ (~ 4.0 x 10⁻⁶ / ኪ) በሙቀት ብስክሌት ውስጥ የመጠን መረጋጋትን ያረጋግጣል ፣ ይህም እንደ ሲቪዲ ፣ PVD እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን ማደንዘዣ ላሉ መተግበሪያዎች ተስማሚ ያደርጋቸዋል።
የሲሲ ሴራሚክ የመጨረሻ ውጤት ጥያቄ እና መልስ
ጥ: በ wafer end effector ውስጥ ምን ዓይነት ቁሳቁስ ጥቅም ላይ ይውላል?
ሀ፡የ Wafer የመጨረሻ ውጤቶች በተለምዶ ከፍተኛ ጥንካሬን ፣ የሙቀት መረጋጋትን እና አነስተኛ ቅንጣትን ከሚፈጥሩ ቁሳቁሶች የተሠሩ ናቸው። ከእነዚህም መካከል ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሴራሚክ በጣም የላቀ እና ተመራጭ ከሆኑት ቁሳቁሶች አንዱ ነው. ሲሲ ሴራሚክስ እጅግ በጣም ጠንካራ፣ በሙቀት የተረጋጉ፣ በኬሚካል የማይነቃቁ እና ለመልበስ የማይቻሉ ናቸው፣ ይህም በንፁህ ክፍል እና በቫኩም አከባቢ ውስጥ ለስላሳ የሲሊኮን ዋይፋሪዎችን ለመቆጣጠር ተስማሚ ያደርጋቸዋል። ከኳርትዝ ወይም ከተሸፈኑ ብረቶች ጋር ሲነፃፀር፣ሲሲ በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ የላቀ የመጠን መረጋጋትን ይሰጣል እና ቅንጣቶችን አይለቅም ፣ይህም ብክለትን ለመከላከል ይረዳል።
