የሲሲ ሴራሚክ ሹካ ክንድ/የመጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ - ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ የላቀ ትክክለኛ አያያዝ

አጭር መግለጫ፡

የሲሲ ሴራሚክ ፎርክ አርም፣ ብዙውን ጊዜ የሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ ተብሎ የሚጠራው፣ በተለይ በከፍተኛ ቴክኖሎጂ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ በተለይም በሴሚኮንዳክተር እና በፎቶቮልታይክ ምርት ውስጥ ለዋፈር ትራንስፖርት፣ አሰላለፍ እና አቀማመጥ በተለይ የተዘጋጀ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው ትክክለኛ አያያዝ አካል ነው። ይህ አካል ከፍተኛ ንፁህ በሆነ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ የተሰራ ሲሆን እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋትን እና ለሙቀት ድንጋጤ እና ዝገት ከፍተኛ የመቋቋም ችሎታን ያጣምራል።

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

ዝርዝር ዲያግራም

የምርት አጠቃላይ እይታ

ከአሉሚኒየም፣ ከማይዝግ ብረት ወይም ከኳርትዝ የተሰሩ ባህላዊ የመጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪዎች በተለየ፣ የሲሲ ሴራሚክ የመጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪዎች በቫክዩም ክፍሎች፣ በጽዳት ክፍሎች እና በአስቸጋሪ የማቀነባበሪያ አካባቢዎች ተወዳዳሪ የሌለው አፈጻጸም ይሰጣሉ፣ ይህም የቀጣዩ ትውልድ የዋፈር አያያዝ ሮቦቶች ቁልፍ አካል ያደርጋቸዋል። ከብክለት ነፃ የሆነ ምርት ፍላጎት እየጨመረ እና በቺፕስ አሰራር ውስጥ ጥብቅ መቻቻል እየጨመረ በመምጣቱ የሴራሚክ የመጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪዎች አጠቃቀም በፍጥነት የኢንዱስትሪ ደረጃ እየሆነ መጥቷል።

የማምረቻ መርህ

የማምረቻውየሲሲ ሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪዎችአፈጻጸምንም ሆነ ዘላቂነትን የሚያረጋግጡ ተከታታይ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸው፣ ከፍተኛ ንፅህና ያላቸውን ሂደቶች ያካትታል። ሁለት ዋና ዋና ሂደቶች በተለምዶ ጥቅም ላይ ይውላሉ፡

ምላሽ-የተያያዘ ሲሊከን ካርቦይድ (RB-SiC)

በዚህ ሂደት ውስጥ፣ ከሲሊኮን ካርቦይድ ዱቄት እና ማያያዣ የተሰራ ቅድመ ቅርጽ በከፍተኛ ሙቀት (~1500°ሴ) ከቀለጠ ሲሊከን ጋር ይቀላቀላል፣ ይህም ከቀሪ ካርቦን ጋር በመገናኘት ጥቅጥቅ ያለ፣ ጠንካራ የሲሲ-ሲ ኮምፖስት ይፈጥራል። ይህ ዘዴ እጅግ በጣም ጥሩ የልኬት ቁጥጥርን ይሰጣል እና ለትልቅ መጠን ምርት ወጪ ቆጣቢ ነው።

ግፊት የሌለው ሲንተርድ ሲሊከን ካርቦይድ (SSiC)

ኤስሲሲ የሚመረተው እጅግ በጣም ጥሩ እና ከፍተኛ ንፅህና ያለው የሲሲ ዱቄትን እጅግ በጣም ከፍተኛ በሆነ የሙቀት መጠን (>2000°ሴ) በማጣራት ሲሆን ተጨማሪዎችን ወይም የማሰሪያ ደረጃን ሳይጠቀም ነው። ይህም ወደ 100% የሚጠጋ ጥግግት ያለው እና በሲሲ ቁሶች መካከል ከፍተኛ የሆነ ሜካኒካል እና የሙቀት ባህሪያት ያለው ምርት ያስገኛል። ለእጅግ በጣም ወሳኝ የሆኑ የዋፈር አያያዝ አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ነው።

ድህረ-ሂደት

የፕሪሲሽን ሲኤንሲ ማሽነሪ: ከፍተኛ ጠፍጣፋነት እና ትይዩነት ያገኛል።
የገጽታ አጨራረስ፦ የአልማዝ ፖሊሽ የገጽታ ሸካራነትን ወደ <0.02 µm ይቀንሳል።
ምርመራ፦ እያንዳንዱን ቁራጭ ለማረጋገጥ የኦፕቲካል ኢንተርፌሮሜትሪ፣ ሲኤምኤም እና አጥፊ ያልሆነ ሙከራ ጥቅም ላይ ይውላሉ።

እነዚህ እርምጃዎች የሚከተሉትን ያረጋግጣሉየሲሲ የመጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪወጥ የሆነ የዋፈር አቀማመጥ ትክክለኛነት፣ እጅግ በጣም ጥሩ የሆነ ጠፍጣፋነት እና አነስተኛ የቅንጣት ማመንጨትን ያቀርባል።

ቁልፍ ባህሪያት እና ጥቅሞች

ባህሪ	መግለጫ
እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬ	የቪከርስ ጥንካሬ > 2500 HV፣ መበስበስን እና መቆራረጥን የሚቋቋም።
ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት	CTE ~4.5×10⁻⁶/K፣ በሙቀት ዑደት ውስጥ የመጠን መረጋጋትን ያስችላል።
የኬሚካል አለመቻቻል	ለኤችኤፍ፣ ለኤችሲኤል፣ ለፕላዝማ ጋዞች እና ለሌሎች ዝገት ወኪሎች የሚቋቋም።
እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም	በቫክዩም እና በምድጃ ስርዓቶች ውስጥ ለፈጣን ማሞቂያ/ማቀዝቀዣ ተስማሚ።
ከፍተኛ ጥንካሬ እና ጥንካሬ	ረጃጅም የተሸፈኑ የሹካ ክንዶችን ሳይገለበጡ ይደግፋል።
ዝቅተኛ የጋዝ መጨፍለቅ	ለከፍተኛ የቫክዩም (UHV) አካባቢዎች ተስማሚ።
የ ISO ክፍል 1 ክሊን ሩም ዝግጁ	ቅንጣት የሌለው አሠራር የዋፈርን ትክክለኛነት ያረጋግጣል።

አፕሊኬሽኖች

የሲሲ ሴራሚክ ፎርክ አርም/ኢንዴት ኢፌክተር ከፍተኛ ትክክለኛነት፣ ንፅህና እና የኬሚካል መቋቋም በሚያስፈልጋቸው ኢንዱስትሪዎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። ቁልፍ የአጠቃቀም ሁኔታዎች የሚከተሉትን ያካትታሉ፡

ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ

በማከማቻ ውስጥ የዋፈር ጭነት/ማራገፍ (CVD፣ PVD)፣ ቅርፊት (RIE፣ DRIE) እና የጽዳት ስርዓቶች።
የሮቦቲክ ዋፈር በFOUPዎች፣ በካሴት እና በሂደት መሳሪያዎች መካከል ማጓጓዝ።
በሙቀት ሂደት ወይም በማቃጠል ወቅት ከፍተኛ የሙቀት መጠን አያያዝ።

የፎቶቮልታይክ ሴል ፕሮዳክሽን

በራስ-ሰር መስመሮች ውስጥ በቀላሉ የሚሰበሩ የሲሊኮን ዋፈር ወይም የፀሐይ ንጣፍ ለስለስ ያለ ትራንስፖርት።

ጠፍጣፋ ፓነል ማሳያ (FPD) ኢንዱስትሪ

ትላልቅ የመስታወት ፓነሎችን ወይም ንጣፎችን በ OLED/LCD የምርት አካባቢዎች ማንቀሳቀስ።

ኮምፓውንድ ሴሚኮንዳክተር / MEMS

የብክለት ቁጥጥር እና የአቀማመጥ ትክክለኛነት ወሳኝ በሆኑባቸው በGaN፣ SiC እና MEMS የማምረቻ መስመሮች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል።

የመጨረሻ ውጤታማ ሚናው በተለይ በስሱ ስራዎች ወቅት እንከን የለሽ እና የተረጋጋ አያያዝን ለማረጋገጥ ወሳኝ ነው።

የማበጀት አቅሞች

የተለያዩ መሳሪያዎችን እና የሂደት መስፈርቶችን ለማሟላት ሰፊ ማበጀት እናቀርባለን-

የሹካ ዲዛይን፦ ባለ ሁለት ጫፍ፣ ባለብዙ ጣት ወይም የተከፈለ ደረጃ አቀማመጦች።
የዋፈር መጠን ተኳሃኝነት፦ ከ2” እስከ 12” ዋፈር።
የመጫኛ በይነገጾች: ከኦሪጂናል ዕቃ አምራች ሮቦቲክ ክንዶች ጋር ተኳሃኝ።
ውፍረት እና የገጽታ መቻቻል: የማይክሮን ደረጃ ጠፍጣፋነት እና የጠርዝ ክብ ቅርጽ ይገኛል።
ፀረ-ተንሸራታች ባህሪያት: ደህንነቱ የተጠበቀ የዋፈር መያዣ ለማግኘት አማራጭ የወለል ሸካራነቶች ወይም ሽፋኖች።

እያንዳንዱየሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪአነስተኛ የመሳሪያ ለውጦችን በማድረግ ትክክለኛ መገጣጠምን ለማረጋገጥ ከደንበኞች ጋር አብሮ የተነደፈ ነው።

በተደጋጋሚ የሚጠየቁ ጥያቄዎች (FAQ)

ጥ 1፡ ለመጨረሻ ውጤት አተገባበር ሲሲ ከኳርትዝ እንዴት የተሻለ ነው?
A1፡ኳርትዝ በተለምዶ ለንጽህናው ጥቅም ላይ የሚውል ቢሆንም፣ ሜካኒካል ጥንካሬ የለውም እና በጭነት ወይም በሙቀት ድንጋጤ ምክንያት ለመሰበር የተጋለጠ ነው። SiC የላቀ ጥንካሬ፣ የመልበስ መቋቋም እና የሙቀት መረጋጋትን ይሰጣል፣ ይህም የማቋረጥ እና የዋፈር ጉዳት አደጋን በእጅጉ ይቀንሳል።

ጥ 2፡ ይህ የሴራሚክ ሹካ ክንድ ከሁሉም የሮቦቲክ ዋፈር ተቆጣጣሪዎች ጋር ተኳሃኝ ነው?
A2፡አዎ፣ የሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪዎቻችን ከአብዛኞቹ ዋና ዋና የዋፈር አያያዝ ስርዓቶች ጋር ተኳሃኝ ናቸው እና ከትክክለኛ የምህንድስና ስዕሎች ጋር ለተወሰኑ የሮቦቲክ ሞዴሎችዎ ሊስማሙ ይችላሉ።

ጥ3፡ 300 ሚሜ ዋፈርዎችን ሳይወዛወዝ ማስተናገድ ይችላል?
A3፡በእርግጥ። የSiC ከፍተኛ ጥንካሬ ቀጭንና ረጅም የሹካ ክንዶች እንኳን በእንቅስቃሴ ወቅት ሳይንገዳገዱ ወይም ሳይገለበጡ 300 ሚሜ ዋፈርዎችን ደህንነቱ በተጠበቀ ሁኔታ እንዲይዙ ያስችላቸዋል።

ጥያቄ 4፡ የሲሲ ሴራሚክ የመጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ የተለመደው የአገልግሎት ዘመን ስንት ነው?
ኤ4፡በአግባቡ ጥቅም ላይ ሲውል፣ የሲሲ የመጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ ከባህላዊ ኳርትዝ ወይም ከአሉሚኒየም ሞዴሎች ከ5 እስከ 10 እጥፍ ሊረዝም ይችላል፣ ይህም ለሙቀት እና ለሜካኒካል ጭንቀቶች በጣም ጥሩ መቋቋም ስላለው ነው።

ጥ 5፡ ምትክ ወይም ፈጣን የፕሮቶታይፕ አገልግሎቶችን ይሰጣሉ?
A5፡አዎ፣ ፈጣን የናሙና ምርትን እንደግፋለን እና ከነባር መሳሪያዎች የተገኙ የCAD ስዕሎችን ወይም የተገላቢጦሽ ምህንድስና ያላቸውን ክፍሎች መሰረት በማድረግ የመተኪያ አገልግሎቶችን እናቀርባለን።

ስለ እኛ

XKH በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ልማት፣ ምርት እና ልዩ የኦፕቲካል መስታወት እና አዳዲስ ክሪስታል ቁሳቁሶችን ሽያጭ ላይ ያተኩራል። ምርቶቻችን የኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ፣ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ እና ወታደራዊ አገልግሎት ይሰጣሉ። የሳፋየር ኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የሞባይል ስልክ ሌንስ ሽፋኖችን፣ ሴራሚክስን፣ ኤልቲ፣ ሲሊከን ካርባይድ ሲአይሲ፣ ኳርትዝ እና ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል ዋፈርስን እናቀርባለን። በሙያዊ እውቀት እና ዘመናዊ መሳሪያዎች፣ መደበኛ ባልሆነ የምርት ማቀነባበሪያ ውስጥ የላቀ ችሎታ አለን፣ እናም ግንባር ቀደም የኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቁሶች ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ድርጅት ለመሆን እንጥራለን።