ሲሲ ሴራሚክ ሰሃን/ትሪ ለ 4ኢንች 6ኢንች ዋፈር መያዣ ለአይሲፒ
የሲሲ ሴራሚክ ሰሃን አብስትራክት
የሲሲ ሴራሚክ ፕላስቲን ከከፍተኛ ንፅህና ካለው ሲሊኮን ካርቦይድ የተሰራ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው አካል ነው፣ ይህም ለከፍተኛ ሙቀት፣ ኬሚካል እና ሜካኒካል አካባቢዎች ጥቅም ላይ ይውላል። በልዩ ጥንካሬው፣ በሙቀት አማቂነት እና በዝገት መቋቋም የሚታወቀው የሲሲ ፕላስቲን በሴሚኮንዳክተር፣ በኤልኢዲ፣ በፎቶቮልታይክ እና በኤሮስፔስ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ እንደ ዋፈር ተሸካሚ፣ susceptor ወይም መዋቅራዊ አካል በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል።
እስከ 1600 ዲግሪ ሴንቲግሬድ ባለው የሙቀት መረጋጋት እና ጥሩ ምላሽ ለሚሰጡ ጋዞች እና የፕላዝማ አከባቢዎች በጣም ጥሩ የመቋቋም ችሎታ ያለው ፣የሲሲ ሳህን በከፍተኛ ሙቀት ማሳከክ ፣ በማስቀመጥ እና በማሰራጨት ሂደቶች ውስጥ ወጥነት ያለው አፈፃፀም ያረጋግጣል። ጥቅጥቅ ያለ ፣ ቀዳዳ የሌለው ማይክሮ መዋቅር ቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሳል፣ ይህም እጅግ በጣም ንፁህ ለሆኑ አፕሊኬሽኖች በቫኩም ወይም በንፁህ ክፍል ውስጥ ተስማሚ ያደርገዋል።
የሲሲ ሴራሚክ ሰሃን መተግበሪያ
1. ሴሚኮንዳክተር ማምረት
የሲሲ ሴራሚክ ሳህኖች በተለምዶ እንደ ዋፈር ተሸካሚዎች፣ ተጠርጣሪዎች እና የእግረኛ ሰሌዳዎች እንደ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች እንደ ሲቪዲ (የኬሚካል የእንፋሎት ክምችት)፣ ፒቪዲ (የአካላዊ የእንፋሎት ማስቀመጫ) እና የማስመሰል ስርዓቶች ያገለግላሉ። እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት አንድ አይነት የሙቀት ስርጭትን እንዲጠብቁ ያስችላቸዋል, ይህም ለከፍተኛ ትክክለኛነት የዋፈር ማቀነባበሪያ ወሳኝ ነው. የሲሲ ተከላካይ ጋዞችን እና ፕላዝማዎችን መቋቋም በአስቸጋሪ አካባቢዎች ውስጥ ዘላቂነትን ያረጋግጣል ፣ ይህም የንጥረ ነገሮችን ብክለትን እና የመሣሪያ ጥገናን ለመቀነስ ይረዳል።
2. LED ኢንዱስትሪ - ICP Etching
በ LED የማኑፋክቸሪንግ ዘርፍ፣ ሲሲ ፕሌትስ በ ICP (Inductively Coupled Plasma) የማሳተፊያ ስርዓቶች ውስጥ ቁልፍ አካላት ናቸው። እንደ ዋፈር መያዣዎች ሆነው በመስራት በፕላዝማ ሂደት ወቅት ሳፋይርን ወይም የጋኤን ቫፈርን ለመደገፍ የተረጋጋ እና የሙቀት መጠን ያለው መድረክ ይሰጣሉ። የእነሱ በጣም ጥሩ የፕላዝማ መቋቋም፣ የገጽታ ጠፍጣፋ እና የልኬት መረጋጋት ከፍተኛ ጥራት ያለው ትክክለኝነት እና ተመሳሳይነት ለማረጋገጥ ይረዳል፣ ይህም በ LED ቺፖች ውስጥ ምርትን እና የመሳሪያ አፈፃፀምን ይጨምራል።
3. የፎቶቮልቲክስ (PV) እና የፀሐይ ኃይል
የሲሲ ሴራሚክ ሳህኖች በሶላር ሴል ምርት ውስጥም ጥቅም ላይ ይውላሉ፣ በተለይም ከፍተኛ ሙቀት በሚፈጠርበት ጊዜ እና በማጥለቅለቅ ደረጃዎች ውስጥ። ከፍ ባለ የሙቀት መጠን አለመነቃቃታቸው እና ጦርነትን የመቋቋም ችሎታ የሲሊኮን ዋይፈር ወጥነት ያለው ሂደትን ያረጋግጣል። በተጨማሪም ዝቅተኛ የብክለት እድላቸው የፎቶቮልታይክ ሴሎችን ውጤታማነት ለመጠበቅ በጣም አስፈላጊ ነው.
የሲሲ ሴራሚክ ሰሃን ባህሪያት
1. ልዩ የሜካኒካል ጥንካሬ እና ጥንካሬ
የሲሲ ሴራሚክ ፕላስቲኮች በጣም ከፍተኛ የሜካኒካል ጥንካሬን ያሳያሉ፣ የተለመደው የመተጣጠፍ ጥንካሬ ከ 400 MPa በላይ እና የቪከርስ ጥንካሬ> 2000 HV ይደርሳል። ይህ በከፍተኛ ጭነት ወይም ተደጋጋሚ የሙቀት ብስክሌት መንዳት እንኳን ረጅም የአገልግሎት ዘመናቸውን በማረጋገጥ ለሜካኒካል መጥፋት፣ መቦርቦር እና መበላሸት በከፍተኛ ሁኔታ እንዲቋቋሙ ያደርጋቸዋል።
2. ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ አሠራር
ሲሲ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ (በተለምዶ 120-200 W/m·K) አለው፣ ይህም ሙቀትን በላዩ ላይ በእኩል መጠን እንዲያሰራጭ ያስችለዋል። ይህ ንብረት የሙቀት መጠኑ ተመሳሳይነት የምርት ምርትን እና ጥራትን በቀጥታ በሚጎዳበት እንደ ዋፈር ማሳከክ፣ ማስቀመጥ ወይም ማቃለል ባሉ ሂደቶች ውስጥ ወሳኝ ነው።
3. የላቀ የሙቀት መረጋጋት
በከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ (2700°C) እና ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት (4.0 × 10⁻⁶/K) የሲሲ ሴራሚክ ሳህኖች በፍጥነት በማሞቅ እና በማቀዝቀዝ ዑደቶች ውስጥ የመጠን ትክክለኛነትን እና መዋቅራዊ ታማኝነትን ይጠብቃሉ። ይህም ከፍተኛ ሙቀት ባለው ምድጃዎች፣ በቫኩም ክፍሎች እና በፕላዝማ አካባቢዎች ውስጥ ለመጠቀም ምቹ ያደርጋቸዋል።
| ቴክኒካዊ ባህሪያት | ||||
| መረጃ ጠቋሚ | ክፍል | ዋጋ | ||
| የቁስ ስም | ምላሽ Sintered ሲሊከን Carbide | ግፊት የሌለው የሲንተርድ ሲሊኮን ካርቦይድ | እንደገና የተቀጠረ ሲሊኮን ካርቦይድ | |
| ቅንብር | RBSiC | ኤስ.ሲ.ሲ | አር-ሲሲ | |
| የጅምላ ትፍገት | ግ/ሴሜ3 | 3 | 3.15 ± 0.03 | 2.60-2.70 |
| ተለዋዋጭ ጥንካሬ | MPa (kpsi) | 338 (49) | 380 (55) | 80-90 (20°ሴ) 90-100(1400°ሴ) |
| የታመቀ ጥንካሬ | MPa (kpsi) | 1120 (158) | 3970 (560) | > 600 |
| ጥንካሬ | ኖፕ | 2700 | 2800 | / |
| ጥንካሬን ማፍረስ | MPa m1/2 | 4.5 | 4 | / |
| የሙቀት ማስተላለፊያ አሠራር | ወ/ምክ | 95 | 120 | 23 |
| የሙቀት መስፋፋት Coefficient | 10-6.1/° ሴ | 5 | 4 | 4.7 |
| የተወሰነ ሙቀት | ጁል/ግ 0 ኪ | 0.8 | 0.67 | / |
| ከፍተኛ የአየር ሙቀት | ℃ | 1200 | 1500 | 1600 |
| የላስቲክ ሞዱል | ጂፓ | 360 | 410 | 240 |
የሲሲ ሴራሚክ ሳህን ጥያቄ እና መልስ
ጥ: የሲሊኮን ካርቦይድ ሳህን ባህሪያት ምንድ ናቸው?
ሀ፡ የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ፕላስቲኮች በከፍተኛ ጥንካሬ, ጥንካሬ እና የሙቀት መረጋጋት ይታወቃሉ. እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋትን ያቀርባሉ, ይህም በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ አስተማማኝ አፈፃፀምን ያረጋግጣል. ሲሲ በተጨማሪም በኬሚካላዊ መልኩ የማይንቀሳቀስ፣ ከአሲዶች፣ ከአልካላይስ እና ከፕላዝማ አካባቢዎች የመቋቋም ችሎታ ያለው ሲሆን ይህም ለሴሚኮንዳክተር እና ለኤልኢዲ ማቀነባበሪያ ምቹ ያደርገዋል። ጥቅጥቅ ያለ ለስላሳው ገጽታ ቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሳል፣ የንፁህ ክፍል ተኳሃኝነትን ይጠብቃል። በሴሚኮንዳክተር፣ በፎቶቮልታይክ እና በኤሮስፔስ ኢንደስትሪዎች ውስጥ ከፍተኛ ሙቀት ባለው እና በሚበላሹ አካባቢዎች ውስጥ የሲሲ ፕሌትስ እንደ ዋፈር ተሸካሚዎች፣ ተጠርጣሪዎች እና የድጋፍ ክፍሎች በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ።
