የሲሲ ሴራሚክ ትሪ ለዋፈር ተሸካሚ ከከፍተኛ ሙቀት መቋቋም ጋር
የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ትሪ (ሲሲሲ ትሪ)
እንደ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ እና የ LED ምርት ላሉ የላቀ የኢንዱስትሪ መተግበሪያዎች በሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ቁሳቁስ ላይ የተመሠረተ ከፍተኛ አፈፃፀም ያለው የሴራሚክ ክፍል። ዋናው ተግባራቱ እንደ ዋፈር ተሸካሚ፣ የሂደት መድረክ ወይም ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው ሂደት ድጋፍን፣ ልዩ የሙቀት መቆጣጠሪያን መጠቀም፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም እና የሂደቱን ተመሳሳይነት እና የምርት ውጤትን ለማረጋገጥ የኬሚካል መረጋጋትን ያካትታል።
ቁልፍ ባህሪዎች
1. የሙቀት አፈፃፀም
- ከፍተኛ የሙቀት መጠን: 140-300 W/m·K፣ ከባህላዊ ግራፋይት (85 W/m·K) በእጅጉ የላቀ፣ ፈጣን የሙቀት መበታተን እና የሙቀት ጭንቀትን ይቀንሳል።
- ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ Coefficient: 4.0×10⁻⁶/℃ (25–1000℃)፣ በቅርበት የሚዛመድ ሲሊከን (2.6×10⁻⁶/℃)፣ የሙቀት መበላሸት ስጋቶችን በመቀነስ።
2. ሜካኒካል ንብረቶች
- ከፍተኛ ጥንካሬ: ተጣጣፊ ጥንካሬ ≥320 MPa (20 ℃)፣ መጨናነቅ እና ተጽዕኖን የሚቋቋም።
- ከፍተኛ ጥንካሬ፡ Mohs ጠንካራነት 9.5፣ ከአልማዝ ቀጥሎ ሁለተኛ፣ የላቀ የመልበስ መቋቋምን ይሰጣል።
3. የኬሚካል መረጋጋት
- የዝገት መቋቋም፡ ለጠንካራ አሲድ (ለምሳሌ፡ HF፣ H₂SO₄) የሚቋቋም፣ ለቆሸሸ ሂደት አካባቢዎች ተስማሚ።
- መግነጢሳዊ ያልሆነ፡ ውስጣዊ መግነጢሳዊ ተጋላጭነት <1×10⁻⁶ emu/g፣ በትክክለኛ መሳሪያዎች ላይ ጣልቃ መግባትን በማስወገድ።
4. ከፍተኛ የአካባቢ መቻቻል
- ከፍተኛ ሙቀት ዘላቂነት፡ የረጅም ጊዜ የስራ ሙቀት እስከ 1600–1900℃; የአጭር ጊዜ መቋቋም እስከ 2200 ℃ (ከኦክስጅን ነፃ የሆነ አካባቢ)።
- Thermal Shock Resistance: ድንገተኛ የሙቀት ለውጥ (ΔT>1000℃) ሳይሰነጠቅ ይቋቋማል።
መተግበሪያዎች
| የመተግበሪያ መስክ | ልዩ ሁኔታዎች | ቴክኒካዊ እሴት |
| ሴሚኮንዳክተር ማምረት | Wafer etching (ICP)፣ ስስ-ፊልም ማስቀመጫ (MOCVD)፣ ሲኤምፒ ማጥራት | ከፍተኛ የሙቀት አማቂ conductivity አንድ ወጥ የሙቀት መስኮች ያረጋግጣል; ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት የ wafer warpageን ይቀንሳል። |
| የ LED ምርት | ኤፒታክሲያል እድገት (ለምሳሌ ጋኤን)፣ ዋፈር ዳይስ፣ ማሸግ | የባለብዙ ዓይነት ጉድለቶችን ያስወግዳል፣ የ LED ብርሃን ቅልጥፍናን እና የህይወት ዘመንን ያሳድጋል። |
| የፎቶቮልቲክ ኢንዱስትሪ | የሲሊኮን ቫፈር ማቃጠያ ምድጃዎች, የ PECVD መሳሪያዎች ይደግፋል | ከፍተኛ የሙቀት መጠን እና የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም የመሳሪያውን ዕድሜ ያራዝመዋል። |
| ሌዘር እና ኦፕቲክስ | ከፍተኛ-ኃይል የሌዘር ማቀዝቀዣ substrates, የጨረር ሥርዓት ይደግፋል | ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity) ፈጣን ሙቀትን ለማስወገድ ያስችላል, የኦፕቲካል ክፍሎችን ማረጋጋት. |
| የትንታኔ መሳሪያዎች | TGA/DSC ናሙና ያዢዎች | ዝቅተኛ የሙቀት አቅም እና ፈጣን የሙቀት ምላሽ የመለኪያ ትክክለኛነትን ያሻሽላል. |
የምርት ጥቅሞች
- አጠቃላይ አፈጻጸም፡ የሙቀት እንቅስቃሴ፣ ጥንካሬ እና የዝገት መቋቋም ከአሉሚኒየም እና ሲሊከን ናይትራይድ ሴራሚክስ እጅግ የላቀ፣ እጅግ በጣም የተግባር ፍላጎቶችን ያሟላል።
- ቀላል ክብደት ንድፍ፡ የ3.1-3.2 ግ/ሴሜ³ ጥግግት (40% ብረት)፣ የማይንቀሳቀስ ጭነትን በመቀነስ እና የእንቅስቃሴ ትክክለኛነትን ያሳድጋል።
- ረጅም ዕድሜ እና አስተማማኝነት፡ የአገልግሎት ህይወት ከ5 አመት በላይ በ1600℃፣ የስራ ጊዜን በመቀነስ እና የስራ ማስኬጃ ወጪዎችን በ30% ቀንሷል።
- ማበጀት፡ የተወሳሰቡ ጂኦሜትሪዎችን (ለምሳሌ፣ ባለ ቀዳዳ የሚጠባ ኩባያ፣ ባለ ብዙ ሽፋን ትሪዎች) በጠፍጣፋ ስህተት <15 μm ለትክክለኛ አፕሊኬሽኖች ይደግፋል።
ቴክኒካዊ ዝርዝሮች
| መለኪያ ምድብ | አመላካች |
| አካላዊ ባህሪያት | |
| ጥግግት | ≥3.10 ግ/ሴሜ³ |
| ተለዋዋጭ ጥንካሬ (20 ℃) | 320-410 MPa |
| የሙቀት መጠን (20 ℃) | 140–300 ዋ/(m·K) |
| የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት (25-1000 ℃) | 4.0×10⁻⁶/℃ |
| የኬሚካል ባህሪያት | |
| የአሲድ መቋቋም (HF/H₂SO₄) | ከ 24 ሰአት በኋላ ምንም ዝገት የለም |
| የማሽን ትክክለኛነት | |
| ጠፍጣፋነት | ≤15 μm (300×300 ሚሜ) |
| የገጽታ ሸካራነት (ራ) | ≤0.4 ማይክሮን |
የ XKH አገልግሎቶች
XKH ብጁ ልማትን፣ ትክክለኛ ማሽነሪ እና ጥብቅ የጥራት ቁጥጥርን የሚያካትት አጠቃላይ የኢንዱስትሪ መፍትሄዎችን ይሰጣል። ለብጁ ልማት ከፍተኛ ንፅህናን (>99.999%) እና ባለ ቀዳዳ (30-50% porosity) ቁሳቁስ መፍትሄዎችን ከ3D ሞዴሊንግ እና ማስመሰል ጋር በማጣመር እንደ ሴሚኮንዳክተሮች እና ኤሮስፔስ ያሉ ውስብስብ ጂኦሜትሪዎችን ለማመቻቸት ያቀርባል። ትክክለኛ ማሽነሪ የተሳለጠ ሂደትን ይከተላል፡ የዱቄት ማቀነባበሪያ → አይስታቲክ/ደረቅ መጫን → 2200°C sintering → CNC/አልማዝ መፍጨት → ፍተሻ፣ የናኖሜትር ደረጃ ማጥራት እና ± 0.01 ሚሜ ልኬት መቻቻልን ያረጋግጣል። የጥራት ቁጥጥር የሙሉ የሂደት ሙከራን (የ XRD ጥንቅር ፣ የኤስኤምአይ ማይክሮስትራክሽን ፣ ባለ 3-ነጥብ መታጠፍ) እና የቴክኒክ ድጋፍን (ሂደትን ማሻሻል ፣ 24/7 ምክክር ፣ የ 48-ሰዓት ናሙና አቅርቦት) ፣ አስተማማኝ እና ከፍተኛ አፈፃፀም ያላቸውን የላቀ የኢንዱስትሪ ፍላጎቶች አቅርቦትን ያጠቃልላል።
ተዘውትረው የሚጠየቁ ጥያቄዎች (FAQ)
1. ጥ: - የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ትሪዎች የሚጠቀሙት የትኞቹ ኢንዱስትሪዎች ናቸው?
መ: በከፍተኛ ሙቀት መቋቋም እና በኬሚካላዊ መረጋጋት ምክንያት በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ (ዋፈር አያያዝ) ፣ የፀሐይ ኃይል (PECVD ሂደቶች) ፣ የህክምና መሳሪያዎች (ኤምአርአይ ክፍሎች) እና የአየር ስፔስ (ከፍተኛ ሙቀት ክፍሎች) በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል።
2. ጥ፡- ሲሊከን ካርቦይድ ከኳርትዝ/ብርጭቆ ትሪዎች የሚበልጠው እንዴት ነው?
መ: ከፍተኛ የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም (እስከ 1800°C እና ኳርትዝ 1100°C)፣ ዜሮ መግነጢሳዊ ጣልቃገብነት እና ረጅም የህይወት ዘመን (5+ ዓመታት ከኳርትዝ 6-12 ወራት)።
3. ጥ: የሲሊኮን ካርቦይድ ትሪዎች አሲዳማ አካባቢዎችን መቆጣጠር ይችላሉ?
መ: አዎ. ከHF፣ H2SO4 እና NaOH በ<0.01mm ዝገት/ዓመት መቋቋም፣ለኬሚካል ማሳከክ እና ዋፈር ጽዳት ተስማሚ ያደርጋቸዋል።
4. ጥ: - የሲሊኮን ካርቦይድ ትሪዎች ከአውቶሜሽን ጋር ተኳሃኝ ናቸው?
መ: አዎ. ለቫኩም ማንሳት እና ለሮቦት አያያዝ የተነደፈ፣ ከገጽታ ጠፍጣፋ ጋር <0.01mm
5. ጥ፡ ከባህላዊ ቁሳቁሶች ጋር ያለው የዋጋ ንጽጽር ምንድን ነው?
መ: ከፍተኛ የፊት ለፊት ወጪ (3-5x ኳርትዝ) ግን ከ30-50% ዝቅተኛ TCO ን በተራዘመ የህይወት ዘመን፣ የመቀነስ ጊዜ እና የኃይል ቁጠባ ከላቁ የሙቀት መቆጣጠሪያ።
