ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም የሚችል ለዋፈር ተሸካሚ የሲሲ ሴራሚክ ትሪ

ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም የሚችል የSiC ሴራሚክ ትሪ ለዋፈር ተሸካሚ ተለይቶ የቀረበ ምስል

አጭር መግለጫ፡

የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) የሴራሚክ ትሪዎች በ2450°ሴ ከተሰራ እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ካለው የሲሲ ዱቄት (>99.1%) የተሰራ ሲሆን ይህም 3.10ግ/ሴሜ³ ጥግግት፣ እስከ 1800°ሴ የሚደርስ ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም እና 250-300ዋ/ሜ·ኬ የሙቀት አማቂነት አለው። እንደ ዋፈር ተሸካሚዎች ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት (4×10⁻⁶/ኬ) በመጠቀም በባህላዊ ግራፋይት ተሸካሚዎች ውስጥ የሚገኙትን የብክለት አደጋዎችን ያስወግዳል። መደበኛ ዲያሜትሮች እስከ 600ሚሜ ይደርሳሉ፣ ለቫክዩም መምጠጥ እና ብጁ ጎድጎድ አማራጮች አሏቸው። ትክክለኛ የማሽን ትክክለኛነት <0.01ሚሜ ጠፍጣፋ ልዩነቶችን ያረጋግጣል፣ የGaN ፊልም ወጥነት እና የ LED ቺፕ ምርትን ያሻሽላል።

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ትሪ (ሲሲ ትሪ)

እንደ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ እና የኤልኢዲ ምርት ላሉ የላቀ የኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች የተነደፈ በሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ቁሳቁስ ላይ የተመሠረተ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የሴራሚክ ክፍል። ዋና ተግባሮቹ እንደ ዋፈር ተሸካሚ፣ የመቅረጽ ሂደት መድረክ ወይም ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው የሂደት ድጋፍ፣ ልዩ የሙቀት አማቂነት፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም እና የሂደት ወጥነት እና የምርት ምርትን ለማረጋገጥ የኬሚካል መረጋጋትን ያካትታሉ።

ቁልፍ ባህሪያት

1. የሙቀት አፈፃፀም

ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ፡ 140–300 W/m·K፣ ከባህላዊው ግራፋይት (85 W/m·K) በእጅጉ የላቀ ሲሆን ይህም ፈጣን የሙቀት መበታተን እና የሙቀት ጭንቀትን ለመቀነስ ያስችላል።
ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት፡ 4.0×10⁻⁶/℃ (25–1000℃)፣ በቅርበት የሚዛመድ ሲሊኮን (2.6×10⁻⁶/℃)፣ የሙቀት መበላሸት አደጋዎችን ይቀንሳል።

2. ሜካኒካል ባህሪያት

ከፍተኛ ጥንካሬ፡ የመተጣጠፍ ጥንካሬ ≥320 MPa (20℃)፣ ለመጭመቅ እና ለግጭት የሚቋቋም።
ከፍተኛ ጥንካሬ፡ የሞህስ ጥንካሬ 9.5፣ ከአልማዝ ቀጥሎ ሁለተኛ፣ ከፍተኛ የመልበስ መቋቋም ይሰጣል።

3. የኬሚካል መረጋጋት

የዝገት መቋቋም፡- ለጠንካራ አሲዶች (ለምሳሌ፣ HF፣ H₂SO₄) የሚቋቋም፣ ለቆሻሻ ሂደት አካባቢዎች ተስማሚ።
መግነጢሳዊ ያልሆነ፡- ውስጣዊ መግነጢሳዊ ተጋላጭነት <1×10⁻⁶ ኢሙ/ግ፣ ከትክክለኛ መሳሪያዎች ጋር ጣልቃ ገብነትን በማስወገድ።

4. ከፍተኛ የአካባቢ መቻቻል

ከፍተኛ የሙቀት መጠን ዘላቂነት፡- እስከ 1600-1900℃ የሚደርስ የረጅም ጊዜ የአሠራር ሙቀት፤ እስከ 2200℃ የሚደርስ የአጭር ጊዜ የመቋቋም አቅም (ኦክስጅን የሌለው አካባቢ)።
የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም፡ ድንገተኛ የሙቀት ለውጦችን (ΔT > 1000℃) ሳይሰነጠቅ ይቋቋማል።

አፕሊኬሽኖች

የማመልከቻ መስክ	የተወሰኑ ሁኔታዎች	የቴክኒክ እሴት
ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ	የዋፈር ኢቺንግ (ICP)፣ ቀጭን ፊልም ዲፖዚሽን (MOCVD)፣ የሲኤምፒ ፖሊሽንግ	ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity) ወጥ የሆነ የሙቀት መጠን እንዲኖር ያደርጋል፤ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት የዋፈር ዋርፔጅን ይቀንሳል።
የ LED ምርት	ኤፒታክሲያል እድገት (ለምሳሌ፣ GaN)፣ የዋፈር ዲሲንግ፣ ማሸጊያ	ባለብዙ አይነት ጉድለቶችን ያስወግዳል፣ የ LED ብርሃን ቆጣቢነትን እና የህይወት ዘመንን ያሻሽላል።
የፎቶቮልታይክ ኢንዱስትሪ	የሲሊኮን ዋፈር ሲንቴሪንግ ምድጃዎች፣ የPECVD መሳሪያዎች ድጋፎች	ከፍተኛ የሙቀት መጠን እና የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም የመሳሪያውን ዕድሜ ያራዝማል።
ሌዘር እና ኦፕቲክስ	ከፍተኛ ኃይል ያላቸው የሌዘር ማቀዝቀዣዎች፣ የኦፕቲካል ሲስተም ድጋፎች	ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ ፈጣን የሙቀት መበታተንን ያስችላል፣ የኦፕቲካል ክፍሎችን ያረጋጋል።
የትንታኔ መሳሪያዎች	የTGA/DSC ናሙና መያዣዎች	ዝቅተኛ የሙቀት አቅም እና ፈጣን የሙቀት ምላሽ የመለኪያ ትክክለኛነትን ያሻሽላሉ።

የምርት ጥቅሞች

አጠቃላይ አፈጻጸም፡ የሙቀት ማስተላለፊያ፣ ጥንካሬ እና የዝገት መቋቋም ከአሉሚና እና ከሲሊኮን ናይትሬድ ሴራሚክስ እጅግ የላቀ ሲሆን ከፍተኛ የአሠራር ፍላጎቶችን ያሟላል።
ቀላል ክብደት ያለው ዲዛይን፡- ከ3.1–3.2 ግ/ሴሜ³ (40% ብረት) ጥግግት፣ ይህም የእንቅስቃሴውን ትክክለኛነት የሚቀንስ እና የእንቅስቃሴውን ትክክለኛነት የሚያሻሽል ነው።
ረጅም ዕድሜ እና አስተማማኝነት፡ የአገልግሎት ሕይወት በ1600℃ ከ5 ዓመት በላይ ሲሆን የሥራ ማቆም ጊዜን ይቀንሳል እና የሥራ ማስኬጃ ወጪዎችን በ30% ይቀንሳል።
ማበጀት፡- ለትክክለኛነት አፕሊኬሽኖች ከ15 μm በታች የሆነ ጠፍጣፋ ስህተት ያላቸው ውስብስብ ጂኦሜትሪዎችን (ለምሳሌ፣ ቀዳዳ ያላቸው የመምጠጥ ኩባያዎች፣ ባለብዙ ንብርብር ትሪዎች) ይደግፋል።

ቴክኒካዊ ዝርዝሮች

የመለኪያ ምድብ	አመልካች
አካላዊ ባህሪያት
ጥግግት	≥3.10 ግ/ሴሜ³
የመተጣጠፍ ጥንካሬ (20℃)	320–410 MPa
የሙቀት ማስተላለፊያ (20℃)	140–300 ዋት/(ሜ·ኬ)
የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት (25–1000℃)	4.0×10⁻⁶/℃
የኬሚካል ባህሪያት
የአሲድ መቋቋም (HF/H₂SO₄)	ከ24 ሰዓት በኋላ ምንም ዝገት የለም
የማሽን ትክክለኛነት
ጠፍጣፋነት	≤15 μm (300 × 300 ሚሜ)
የወለል ሻካራነት (ራ)	≤0.4 μm

የXKH አገልግሎቶች

XKH ብጁ ልማትን፣ ትክክለኛ የማሽን ማሽንን እና ጥብቅ የጥራት ቁጥጥርን የሚያካትቱ ሁሉን አቀፍ የኢንዱስትሪ መፍትሄዎችን ይሰጣል። ለብጁ ልማት፣ ከፍተኛ ንፅህና (>99.999%) እና ባለ ቀዳዳ (30-50% ባለ ቀዳዳ) የቁሳቁስ መፍትሄዎችን ያቀርባል፣ እንደ ሴሚኮንዳክተሮች እና ኤሮስፔስ ላሉ አፕሊኬሽኖች ውስብስብ ጂኦሜትሪዎችን ለማመቻቸት ከ3D ሞዴሊንግ እና ማስመሰል ጋር ተጣምሮ። ትክክለኛ የማሽን ሂደት የተቀላጠፈ ሂደትን ይከተላል፡ የዱቄት ማቀነባበሪያ → ኢሶስታቲክ/ደረቅ ፕሬስ → 2200°C ሲንቴሪንግ → CNC/አልማዝ መፍጨት → ፍተሻ፣ የናኖሜትር ደረጃ ፖሊሽ እና ±0.01 ሚሜ ልኬት መቻቻልን ያረጋግጣል። የጥራት ቁጥጥር ሙሉ ሂደት ሙከራን (XRD ቅንብር፣ የSEM ማይክሮስትራክቸር፣ 3-ነጥብ መታጠፍ) እና ቴክኒካል ድጋፍን (የሂደት ማመቻቸት፣ 24/7 ምክክር፣ 48-ሰዓት የናሙና አቅርቦት) ያካትታል፣ ለላቁ የኢንዱስትሪ ፍላጎቶች አስተማማኝ እና ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን ክፍሎች ያቀርባል።