ለመሳሪያዎች የሲሲ ሴራሚክ ትሪ ሳህን ግራፋይት ከሲቪዲ ሲሲ ሽፋን ጋር

የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ እንደ ኤፒታክሲ ወይም MOCVD ባሉ ቀጭን የፊልም ማስቀመጫ ደረጃዎች ወይም በዋፈር ማቀነባበሪያ ውስጥ ብቻ ጥቅም ላይ አይውሉም፣ በዚህ መሃል ላይ የዋፈር ተሸካሚ ትሪዎች ለMOCVD በመጀመሪያ ለማጠራቀሚያ አካባቢ የተጋለጡ በመሆናቸው ለሙቀት እና ለዝገት በጣም የሚቋቋሙ ናቸው። በSiC የተሸፈኑ ተሸካሚዎችም ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ እና እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ስርጭት ባህሪያት አሏቸው።

ለከፍተኛ ሙቀት ሜታል ኦርጋኒክ ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (MOCVD) ማቀነባበሪያ ንፁህ ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን ሲሊከን ካርቦይድ (CVD SiC) የዋፈር ተሸካሚዎች።

ንፁህ የሲቪዲ ሲሲ ዋፈር ተሸካሚዎች በዚህ ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ ከሚውሉት ባህላዊ የዋፈር ተሸካሚዎች በእጅጉ የላቁ ናቸው፣ እነዚህም ግራፋይት እና በሲቪዲ ሲሲ ንብርብር የተሸፈኑ ናቸው። እነዚህ የተሸፈኑ የግራፋይት-ተኮር ተሸካሚዎች የዛሬውን ከፍተኛ ብሩህነት ሰማያዊ እና ነጭ ኤልኢዲ ለGaN ለማስቀመጥ የሚያስፈልገውን ከፍተኛ የሙቀት መጠን (ከ1100 እስከ 1200 ዲግሪ ሴልሺየስ) መቋቋም አይችሉም። ከፍተኛ የሙቀት መጠኖች ሽፋኑ ጥቃቅን የፒንሆል ቀዳዳዎችን እንዲፈጥር ያደርጋሉ፣ በዚህም ምክንያት የሂደት ኬሚካሎች ከታች ያለውን ግራፋይት ያበላሻሉ። ከዚያም የግራፋይት ቅንጣቶች ይፈነጫሉ እና የጋኤንን ይበክላሉ፣ ይህም የተሸፈነው የዋፈር ተሸካሚ እንዲተካ ያደርጋል።

ሲቪዲ ሲሲ 99.999% ወይም ከዚያ በላይ ንፁህ ሲሆን ከፍተኛ የሙቀት አማቂነት እና የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም አለው። ስለዚህ፣ ከፍተኛ ብሩህነት ያለው የኤልኢዲ ማምረቻ ከፍተኛ የሙቀት መጠኖችን እና አስቸጋሪ አካባቢዎችን መቋቋም ይችላል። በቲዎሪቲካል ጥግግት የሚደርስ፣ አነስተኛ ቅንጣቶችን የሚያመነጭ እና በጣም ከፍተኛ የዝገት እና የአፈር መሸርሸር መቋቋምን የሚያሳይ ጠንካራ ሞኖሊቲክ ቁሳቁስ ነው። ቁሱ የብረት ቆሻሻዎችን ሳያስተዋውቅ ግልጽነት እና ኮንዳክሽን ሊለውጥ ይችላል። የዋፈር ተሸካሚዎች በተለምዶ 17 ኢንች ዲያሜትር ያላቸው ሲሆን እስከ 40 2-4 ኢንች ዋፈርዎችን መያዝ ይችላሉ።