የሲሲ ክሪስታል እድገት እቶን ሲሲ ኢንጎት 4 ኢንች 6 ኢንች 8 ኢንች PTV Lely TSSG LPE የእድገት ዘዴ
ዋና ክሪስታል የእድገት ዘዴዎች እና ባህሪያቸው
(1) አካላዊ የእንፋሎት ማስተላለፊያ ዘዴ (PTV)
መርህ፡- በከፍተኛ ሙቀት፣ የሲሲ ጥሬ እቃ ወደ ጋዝ ደረጃ ይሸጋገራል፣ እሱም በመቀጠል በዘሩ ክሪስታል ላይ እንደገና ክሬስታላይድ ይሆናል።
ዋና ዋና ባህሪያት:
ከፍተኛ የእድገት ሙቀት (2000-2500 ° ሴ).
ከፍተኛ ጥራት, ትልቅ መጠን 4H-SiC እና 6H-SiC ክሪስታሎች ሊበቅሉ ይችላሉ.
የእድገቱ ፍጥነት ቀርፋፋ ነው, ነገር ግን ክሪስታል ጥራቱ ከፍተኛ ነው.
መተግበሪያ: በዋናነት በሃይል ሴሚኮንዳክተር, RF መሳሪያዎች እና ሌሎች ከፍተኛ-ደረጃ መስኮች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል.
(2) የሊሊ ዘዴ
መርህ፡- ክሪስታሎች የሚበቅሉት ድንገተኛ sublimation እና የሲሲ ዱቄቶች በከፍተኛ ሙቀቶች እንደገና እንዲፈጠሩ በማድረግ ነው።
ዋና ዋና ባህሪያት:
የእድገቱ ሂደት ዘሮችን አይፈልግም, እና ክሪስታል መጠኑ ትንሽ ነው.
ክሪስታል ጥራቱ ከፍተኛ ነው, ነገር ግን የእድገቱ ውጤታማነት ዝቅተኛ ነው.
ለላቦራቶሪ ምርምር እና ለአነስተኛ ባች ምርት ተስማሚ.
መተግበሪያ: በዋናነት በሳይንሳዊ ምርምር እና አነስተኛ መጠን SiC ክሪስታሎች ዝግጅት ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል።
(3) ከፍተኛ የዘር መፍትሄ ማደግ ዘዴ (TSSG)
መርህ: ከፍተኛ ሙቀት ባለው መፍትሄ, የሲሲ ጥሬ እቃው ይቀልጣል እና በዘር ክሪስታል ላይ ክሪስታል ይሠራል.
ዋና ዋና ባህሪያት:
የእድገት ሙቀት ዝቅተኛ ነው (1500-1800 ° ሴ).
ከፍተኛ ጥራት ያለው ዝቅተኛ ጉድለት የሲሲ ክሪስታሎች ሊበቅሉ ይችላሉ.
የእድገቱ ፍጥነት ቀርፋፋ ነው, ነገር ግን ክሪስታል ተመሳሳይነት ጥሩ ነው.
መተግበሪያ: እንደ ኦፕቶኤሌክትሮኒካዊ መሳሪያዎች ያሉ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የሲሲ ክሪስታሎች ለማዘጋጀት ተስማሚ ነው.
(4) ፈሳሽ ደረጃ ኤፒታክሲ (LPE)
መርህ: በፈሳሽ ብረት መፍትሄ, የሲሲ ጥሬ እቃ ኤፒታክሲያል እድገት በንጣፉ ላይ.
ዋና ዋና ባህሪያት:
የእድገት ሙቀት ዝቅተኛ ነው (1000-1500 ° ሴ).
ፈጣን የእድገት መጠን ፣ ለፊልም እድገት ተስማሚ።
ክሪስታል ጥራቱ ከፍተኛ ነው, ነገር ግን ውፍረቱ ውስን ነው.
መተግበሪያ፡ በዋናነት እንደ ሴንሰሮች እና ኦፕቶኤሌክትሮኒካዊ መሳሪያዎች ለመሳሰሉት የሲሲ ፊልሞች ኤፒታክሲያል እድገት ያገለግላል።
የሲሊኮን ካርቦይድ ክሪስታል እቶን ዋና የመተግበሪያ መንገዶች
ሲሲ ክሪስታል እቶን የሲክ ክሪስታሎችን ለማዘጋጀት ዋናው መሣሪያ ነው, እና ዋናዎቹ የመተግበሪያ መንገዶች የሚከተሉትን ያካትታሉ:
የኃይል ሴሚኮንዳክተር መሳሪያ ማምረቻ፡- ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን 4H-SiC እና 6H-SiC ክሪስታሎችን ለኃይል መሳሪያዎች (እንደ MOSFETs፣ ዳዮዶች ያሉ) እንደ ማቴሪያል ለማምረት ያገለግላል።
አፕሊኬሽኖች: የኤሌክትሪክ ተሽከርካሪዎች, የፎቶቮልቲክ ኢንቬንተሮች, የኢንዱስትሪ የኃይል አቅርቦቶች, ወዘተ.
Rf መሳሪያ ማምረቻ፡- የ5ጂ ኮሙኒኬሽን፣ ራዳር እና የሳተላይት ግንኙነቶችን ከፍተኛ ድግግሞሽ ፍላጎቶችን ለማሟላት ዝቅተኛ ጉድለት ያለባቸውን የሲሲ ክሪስታሎችን ለ RF መሳሪያዎች እንደ መለዋወጫ ለማደግ ይጠቅማል።
የኦፕቶኤሌክትሮኒክ መሳሪያ ማምረት፡- ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የሲሲ ክሪስታሎች ለሊድስ፣ ለአልትራቫዮሌት መመርመሪያ እና ለሌዘር እንደ ማቴሪያል ለማምረት ያገለግላል።
ሳይንሳዊ ምርምር እና አነስተኛ ባች ምርት፡- ለላቦራቶሪ ምርምር እና አዲስ የቁሳቁስ ልማት የሳይሲ ክሪስታል እድገት ቴክኖሎጂን ፈጠራ እና ማመቻቸትን ይደግፋል።
ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው መሳሪያ ማምረት፡- ከፍተኛ ሙቀትን የሚቋቋም የሲሲ ክሪስታሎች ለኤሮስፔስ እና ለከፍተኛ ሙቀት ዳሳሾች እንደ መሰረታዊ ቁሳቁስ ለማደግ ይጠቅማል።
በኩባንያው የቀረቡ የሲሲ እቶን እቃዎች እና አገልግሎቶች
XKH የሚከተሉትን አገልግሎቶች በመስጠት የሲአይሲ ክሪስታል እቶን መሳሪያዎችን በማዘጋጀት እና በማምረት ላይ ያተኩራል ።
ብጁ መሳሪያዎች፡- XKH በደንበኞች ፍላጎት መሰረት እንደ PTV እና TSSG ባሉ የተለያዩ የእድገት ዘዴዎች የተበጁ የዕድገት ምድጃዎችን ያቀርባል።
ቴክኒካል ድጋፍ፡- XKH ከክሪስታል እድገት ሂደት ማመቻቸት እስከ መሳሪያ ጥገና ድረስ ለደንበኞቹ የቴክኒክ ድጋፍ ይሰጣል።
የሥልጠና አገልግሎቶች፡- XKH የመሳሪያዎችን ቀልጣፋ አሠራር ለማረጋገጥ ለደንበኞች የአሠራር ሥልጠና እና የቴክኒክ መመሪያ ይሰጣል።
ከሽያጭ በኋላ አገልግሎት: XKH ፈጣን ምላሽ ከሽያጭ በኋላ አገልግሎት እና የደንበኞችን ምርት ቀጣይነት ለማረጋገጥ የመሣሪያ ማሻሻያዎችን ያቀርባል.
የሲሊኮን ካርቦይድ ክሪስታል እድገት ቴክኖሎጂ (እንደ PTV, Lely, TSSG, LPE ያሉ) በሃይል ኤሌክትሮኒክስ, በ RF መሳሪያዎች እና በኦፕቶኤሌክትሮኒክስ መስክ ጠቃሚ አፕሊኬሽኖች አሉት. XKH ከፍተኛ ጥራት ባለው የሲሲ ክሪስታል ምርት ውስጥ ደንበኞችን ለመደገፍ እና የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ እድገትን ለመርዳት የላቀ የሲሲ እቶን መሳሪያዎችን እና ሙሉ አገልግሎቶችን ይሰጣል።
ዝርዝር ሥዕላዊ መግለጫ
