SiC substrate P-አይነት 4H/6H-P 3C-N 4ኢንች ውፍረት 350um የምርት ደረጃ ዱሚ ደረጃ

አጭር መግለጫ፡-

የፒ-አይነት 4H/6H-P 3C-N 4-inch SiC substrate፣የ 350 μm ውፍረት ያለው ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ በኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ማምረቻ ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። ልዩ በሆነ የሙቀት መቆጣጠሪያው፣ ከፍተኛ የቮልቴጅ ብልሽት እና ለከፍተኛ ሙቀት እና ለቆሸሸ አከባቢዎች በመቋቋም የሚታወቀው ይህ ንኡስ ክፍል ለኤሌክትሪክ ኤሌክትሮኒክስ አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ነው። የማምረቻ-ደረጃው ንጣፍ በከፍተኛ ደረጃ ማምረቻ ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል, ጥብቅ የጥራት ቁጥጥር እና የላቀ የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ከፍተኛ አስተማማኝነትን ያረጋግጣል. ይህ በእንዲህ እንዳለ፣ የዱሚ-ደረጃ ንኡስ ክፍል በዋናነት ለሂደት ማረም፣ ለመሳሪያ ልኬት እና ለፕሮቶታይፕ ስራ ላይ ይውላል። የ SiC የላቀ ባህሪያት በከፍተኛ ሙቀት, ከፍተኛ-ቮልቴጅ እና ከፍተኛ ድግግሞሽ አከባቢዎች ውስጥ ለሚሰሩ መሳሪያዎች, የኃይል መሳሪያዎችን እና የ RF ስርዓቶችን ጨምሮ በጣም ጥሩ ምርጫ ያደርገዋል.

ኢሜይል ይላኩልን።

የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

4ኢንች SiC substrate P-አይነት 4H/6H-P 3C-N መለኪያ ሰንጠረዥ

4 ኢንች ዲያሜትር የሲሊኮንካርቦይድ (SiC) Substrate ዝርዝር መግለጫ

ደረጃ			ዜሮ MPD ምርት ደረጃ (Z ደረጃ)	መደበኛ ምርት ደረጃ (ፒ ደረጃ)	ዱሚ ደረጃ (D ደረጃ)
ዲያሜትር			99.5 ሚሜ ~ 100.0 ሚሜ
ውፍረት			350 μm ± 25 μm
የዋፈር አቀማመጥ			የጠፋ ዘንግ፡ 2.0°-4.0°ወደ [112(-)0] ± 0.5° ለ 4H/6H-P, On ዘንግ:〈111〉± 0.5 ° ለ 3C-N
የማይክሮ ፓይፕ ትፍገት			0 ሴሜ-2
የመቋቋም ችሎታ	p-አይነት 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏ ሴሜ		≤0.3 Ωꞏ ሴሜ
	n-አይነት 3C-N		≤0.8 mΩꞏ ሴሜ		≤1 ሜትር Ωꞏ ሴሜ
የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቀማመጥ		4H/6H-P	- {1010} ± 5.0°
		3ሲ-ኤን	- {110} ± 5.0°
የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት			32.5 ሚሜ ± 2.0 ሚሜ
ሁለተኛ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት			18.0 ሚሜ ± 2.0 ሚሜ
ሁለተኛ ደረጃ ጠፍጣፋ አቀማመጥ			የሲሊኮን ፊት: 90° CW ከፕራይም ጠፍጣፋ±5.0°
የጠርዝ ማግለል			3 ሚ.ሜ		6 ሚሜ
LTV/TTV/ቀስት/ዋርፕ			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
ሸካራነት			የፖላንድ ራ≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		ራ≤0.5 nm
የጠርዝ ስንጥቅ በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን			ምንም		ድምር ርዝመት ≤ 10 ሚሜ፣ ነጠላ ርዝመት≤2 ሚሜ
የሄክስ ፕሌትስ በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን			ድምር አካባቢ ≤0.05%		ድምር አካባቢ ≤0.1%
የፖሊታይፕ ቦታዎች በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን			ምንም		ድምር አካባቢ≤3%
ቪዥዋል ካርቦን ማካተት			ድምር አካባቢ ≤0.05%		ድምር አካባቢ ≤3%
የሲሊኮን ወለል ቧጨራዎች በከፍተኛ ኃይለኛ ብርሃን			ምንም		ድምር ርዝመት≤1× ዋፈር ዲያሜትር
የጠርዝ ቺፕስ ከፍተኛ በኃይለኛ ብርሃን			አንዳቸውም አይፈቀዱም ≥0.2ሚሜ ስፋት እና ጥልቀት		5 ተፈቅዷል፣ እያንዳንዳቸው ≤1 ሚሜ
የሲሊኮን ወለል ብክለት በከፍተኛ ጥንካሬ			ምንም
ማሸግ			ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ወይም ነጠላ ዋፈር መያዣ

ማስታወሻዎች፡-

※የጉድለቶች ገደቦች ከዳርቻው ማግለል በስተቀር በጠቅላላው የዋፈር ወለል ላይ ይተገበራሉ። # ጭረቶች በሲ ፊት ላይ ብቻ መፈተሽ አለባቸው።

የፒ-አይነት 4H/6H-P 3C-N 4-inch SiC substrate በ 350 μm ውፍረት በላቁ የኤሌክትሮኒክስ እና የሃይል መሳሪያዎች ማምረቻ ላይ በስፋት ይተገበራል። እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity)፣ ከፍተኛ ብልሽት የቮልቴጅ እና ለከፍተኛ አከባቢዎች ጠንካራ የመቋቋም ችሎታ ያለው ይህ ንኡስ አካል ለከፍተኛ አፈፃፀም ሃይል ኤሌክትሮኒክስ እንደ ከፍተኛ-ቮልቴጅ መቀየሪያዎች፣ ኢንቬንተሮች እና አርኤፍ መሳሪያዎች ተስማሚ ነው። የማምረቻ ደረጃ ንጣፎች በትላልቅ ማምረቻዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ ፣ ይህም አስተማማኝ ፣ ከፍተኛ-ትክክለኛነት ያለው የመሣሪያ አፈፃፀምን ያረጋግጣል ፣ ይህም ለኃይል ኤሌክትሮኒክስ እና ለከፍተኛ ድግግሞሽ አፕሊኬሽኖች አስፈላጊ ነው። በሌላ በኩል ዱሚ-ግሬድ ንኡስ ንጣፎች በዋናነት ለሂደት መለካት፣ ለመሳሪያዎች ሙከራ እና ለፕሮቶታይፕ ልማት ያገለግላሉ፣ ይህም በሴሚኮንዳክተር ምርት ውስጥ የጥራት ቁጥጥር እና የሂደቱን ወጥነት ለመጠበቅ ይረዳል።

ዝርዝር የN-type SiC ድብልቅ ንጣፎች ጥቅሞች ያካትታሉ

ከፍተኛ የሙቀት አማቂነት: ቀልጣፋ የሙቀት ማባከን ንጣፉን ለከፍተኛ ሙቀት እና ከፍተኛ ኃይል አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ያደርገዋል.
ከፍተኛ ብልሽት ቮልቴጅ: የከፍተኛ-ቮልቴጅ አሠራርን ይደግፋል, በሃይል ኤሌክትሮኒክስ እና በ RF መሳሪያዎች ውስጥ አስተማማኝነትን ያረጋግጣል.
ለከባድ አከባቢዎች መቋቋምእንደ ከፍተኛ የሙቀት መጠን እና ጎጂ አካባቢዎች ባሉ ከባድ ሁኔታዎች ውስጥ ዘላቂ ፣ ዘላቂ አፈፃፀምን ያረጋግጣል።
የምርት-ደረጃ ትክክለኛነት: ለከፍተኛ ኃይል እና ለ RF አፕሊኬሽኖች ተስማሚ በሆነ ሰፊ ምርት ውስጥ ከፍተኛ ጥራት ያለው እና አስተማማኝ አፈፃፀምን ያረጋግጣል.
ዱሚ - ለሙከራ ደረጃትክክለኛ የሂደት ልኬት፣የመሳሪያዎች ሙከራ እና ፕሮቶታይፕ የማምረቻ ደረጃ ዋፍርዎችን ሳይጎዳ ያነቃል።

በአጠቃላይ የፒ-አይነት 4H/6H-P 3C-N 4-inch SiC substrate ከ 350 μm ውፍረት ጋር ከፍተኛ አፈጻጸም ላላቸው የኤሌክትሮኒክስ አፕሊኬሽኖች ትልቅ ጥቅም ይሰጣል። ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና የብልሽት ቮልቴጅ ለከፍተኛ ኃይል እና ከፍተኛ ሙቀት አከባቢዎች ተስማሚ ያደርገዋል, ለከባድ ሁኔታዎች መቋቋሙ ዘላቂ እና አስተማማኝነትን ያረጋግጣል. የማምረቻ-ደረጃው ንኡስ ክፍል በሃይል ኤሌክትሮኒክስ እና RF መሳሪያዎች መጠነ ሰፊ ምርት ውስጥ ትክክለኛ እና ተከታታይ አፈፃፀም ያረጋግጣል። ይህ በእንዲህ እንዳለ የዲሚ-ደረጃ ንጣፍ ለሂደቱ ማስተካከያ ፣የመሳሪያ ሙከራ እና ፕሮቶታይፕ ፣የጥራት ቁጥጥርን እና በሴሚኮንዳክተር ምርት ውስጥ ወጥነትን ለመደገፍ አስፈላጊ ነው። እነዚህ ባህሪያት የSic substrates ለላቁ አፕሊኬሽኖች በጣም ሁለገብ ያደርገዋል።