የሲሊኮን ካርቦዳይድ የሴራሚክ ትሪ ሱከር የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ቱቦ አቅርቦት ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው ብጁ ማቀነባበሪያ
ዋና ዋና ባህሪያት:
1. የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ትሪ
- ከፍተኛ ጥንካሬ እና የመልበስ መቋቋም: ጥንካሬው ወደ አልማዝ ቅርብ ነው, እና ለረጅም ጊዜ በቫፈር ማቀነባበሪያ ውስጥ የሜካኒካዊ ልብሶችን መቋቋም ይችላል.
- ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት-ፈጣን የሙቀት መበታተን እና የመጠን መረጋጋት ፣ በሙቀት ጭንቀት ምክንያት የሚመጣን መበላሸትን ያስወግዳል።
- ከፍተኛ ጠፍጣፋ እና የገጽታ አጨራረስ: የወለል ንጣፉ እስከ ማይክሮን ደረጃ ድረስ, በቫፈር እና በዲስክ መካከል ሙሉ ግንኙነትን በማረጋገጥ, ብክለትን እና መጎዳትን ይቀንሳል.
የኬሚካላዊ መረጋጋት: ጠንካራ የዝገት መቋቋም, በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ እርጥብ ጽዳት እና ማሳከክ ሂደቶች ተስማሚ.
2. የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ቱቦ
- ከፍተኛ ሙቀት መቋቋም: ለረጅም ጊዜ ከ 1600 ° ሴ በላይ በሆነ ከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ሊሠራ ይችላል, ለሴሚኮንዳክተር ከፍተኛ ሙቀት ሂደት ተስማሚ ነው.
እጅግ በጣም ጥሩ የዝገት መቋቋም-ለአሲድ ፣ ለአልካላይስ እና ለተለያዩ የኬሚካል ፈሳሾች የመቋቋም ችሎታ ፣ ለከባድ ሂደት አካባቢዎች ተስማሚ።
- ከፍተኛ ጥንካሬ እና የመልበስ መቋቋም-የቅንጣት መሸርሸርን እና የሜካኒካል ልብሶችን መቋቋም, የአገልግሎት እድሜን ያራዝሙ.
- ከፍተኛ የሙቀት አማቂ conductivity እና ዝቅተኛ የሙቀት አማቂ መስፋፋት Coefficient: ሙቀት እና ልኬት መረጋጋት ፈጣን conduction, በሙቀት ውጥረት ምክንያት መበላሸት ወይም ስንጥቅ በመቀነስ.
የምርት መለኪያ;
የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ትሪ መለኪያ;
(ቁሳቁስ) | (ክፍል) | (ሲሲ) | |
(የሲሲ ይዘት) | (ወ)% | >99 | |
(አማካይ የእህል መጠን) | ማይክሮን | 4-10 | |
(እፍጋት) | ኪግ/ዲኤም3 | > 3.14 | |
(በግልጥ ያለ የሆድ ድርቀት) | ድምጽ 1% | <0.5 | |
(የቪከር ጥንካሬ) | HV 0.5 | ጂፒኤ | 28 |
*() ተለዋዋጭ ጥንካሬ* (ሦስት ነጥቦች) | 20º ሴ | MPa | 450 |
(የመጨመቂያ ጥንካሬ) | 20º ሴ | MPa | 3900 |
(ላስቲክ ሞዱሉስ) | 20º ሴ | ጂፒኤ | 420 |
(የስብራት ጥንካሬ) | MPa/m'% | 3.5 | |
(የሙቀት ማስተላለፊያ) | 20 ° ሴ | ወ/(ሜ*ኬ) | 160 |
(ተቃርኖ) | 20 ° ሴ | ኦህ.ሴ.ሜ | 106-108 |
(የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት) | አ(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(ከፍተኛ የሥራ ሙቀት) | oºC | 1700 |
የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ቱቦ መለኪያ;
እቃዎች | መረጃ ጠቋሚ |
α-SIC | 99% ደቂቃ |
ግልጽ Porosity | ከፍተኛው 16% |
የጅምላ ትፍገት | 2.7 ግ / ሴሜ 3 ደቂቃ |
የታጠፈ ጥንካሬ በከፍተኛ ሙቀት | 100 Mpa ደቂቃ |
የሙቀት መስፋፋት Coefficient | K-1 4.7x10 -6 |
የሙቀት ማስተላለፊያ ቅንጅት (1400º ሴ) | 24 ወ/mk |
ከፍተኛ. የሥራ ሙቀት | 1650º ሴ |
ዋና መተግበሪያዎች፡-
1. የሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ ሳህን
- Wafer መቁረጥ እና ማቅለም: በመቁረጥ እና በማጽዳት ጊዜ ከፍተኛ ትክክለኛነትን እና መረጋጋትን ለማረጋገጥ እንደ ተሸካሚ መድረክ ሆኖ ያገለግላል።
- የሊቶግራፊ ሂደት-በመጋለጥ ወቅት ከፍተኛ ትክክለኛነትን ለማረጋገጥ ቫፈር በሊቶግራፊ ማሽን ውስጥ ተስተካክሏል።
- የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ (ሲኤምፒ)፡- ወጥ የሆነ ግፊት እና የሙቀት ማከፋፈያ በማቅረብ ፓድፖችን ለማጣራት እንደ የድጋፍ መድረክ ሆኖ ያገለግላል።
2. የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ቱቦ
- ከፍተኛ ሙቀት እቶን ቱቦ: ከፍተኛ ሙቀት ሂደት ሕክምና ለማግኘት wafers ለመሸከም እንደ ስርጭት እቶን እና oxidation እቶን እንደ ከፍተኛ ሙቀት መሣሪያዎች ጥቅም ላይ.
- የሲቪዲ/PVD ሂደት፡- በምላሹ ክፍል ውስጥ እንደ ተሸካሚ ቱቦ፣ ለከፍተኛ ሙቀት እና ለቆሸሸ ጋዞች መቋቋም የሚችል።
- የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች መለዋወጫዎች-የሙቀት ማስተላለፊያዎችን, የጋዝ ቧንቧዎችን, ወዘተ., የመሳሪያውን የሙቀት አስተዳደር ውጤታማነት ለማሻሻል.
XKH ለሲሊኮን ካርቦዳይድ የሴራሚክ ማጠራቀሚያዎች፣ የመምጠጥ ኩባያዎች እና የሲሊኮን ካርቦዳይድ የሴራሚክ ቱቦዎች ሙሉ ብጁ አገልግሎቶችን ይሰጣል። የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ትሪዎች እና የመምጠጥ ኩባያዎች ፣ XKH በተለያየ መጠን ፣ ቅርፅ እና የገጽታ ሸካራነት የደንበኞች ፍላጎት መሠረት ሊበጁ እና ልዩ ሽፋን ሕክምናን ይደግፋሉ ፣ የመልበስ መቋቋም እና የዝገት መቋቋምን ይጨምራሉ ። ለሲሊኮን ካርቦዳይድ የሴራሚክ ቱቦዎች፣ XKH የተለያዩ የውስጥ ዲያሜትር፣ የውጪ ዲያሜትር፣ ርዝመት እና ውስብስብ መዋቅር (እንደ ቅርጽ ያለው ቱቦ ወይም ባለ ቀዳዳ ቱቦ ያሉ) ማበጀት እና ማበጠር፣ ፀረ-ኦክሳይድ ሽፋን እና ሌሎች የገጽታ ህክምና ሂደቶችን መስጠት ይችላል። XKH ደንበኞች እንደ ሴሚኮንዳክተሮች, LEDs እና photovoltaics የመሳሰሉ ከፍተኛ-ደረጃ የማምረቻ መስኮችን የሚጠይቁትን መስፈርቶች ለማሟላት የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ምርቶችን የአፈፃፀም ጥቅሞች ሙሉ በሙሉ መጠቀም እንደሚችሉ ያረጋግጣል.
ዝርዝር ሥዕላዊ መግለጫ



