የሲሊኮን ካርቦይድ የአልማዝ ሽቦ መቁረጫ ማሽን 4/6/8/12 ኢንች SiC ኢንጎት ማቀነባበሪያ

አጭር መግለጫ፡

የሲሊኮን ካርቦይድ የአልማዝ ሽቦ መቁረጫ ማሽን ለሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) ኢንጎት ቁራጭ የተሰራ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የማቀነባበሪያ መሳሪያ ሲሆን ይህም በከፍተኛ ፍጥነት በሚንቀሳቀስ የአልማዝ ሽቦ (የመስመር ዲያሜትር 0.1 ~ 0.3ሚሜ) እስከ SiC ኢንጎት ባለብዙ ሽቦ መቁረጥ ድረስ ለሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) ኢንጎት ቁራጭ የተሰራ ሲሆን ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው እና ዝቅተኛ ጉዳት የሚያስከትል የዋፈር ዝግጅትን ለማሳካት ይረዳል። መሳሪያው በSiC ፓወር ሴሚኮንዳክተር (MOSFET/SBD)፣ በሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ መሳሪያ (GaN-on-SiC) እና በኦፕቶኤሌክትሮኒክ መሳሪያ ንጣፎች ማቀነባበሪያ ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል፣ በSiC ኢንዱስትሪ ሰንሰለት ውስጥ ቁልፍ መሳሪያ ነው።

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

የአሠራር መርህ፡

1. የኢንጎት ማስተካከያ፡ የSiC ኢንጎት (4H/6H-SiC) በመቁረጫ መድረክ ላይ በመትከያው በኩል ተስተካክሏል ይህም የአቀማመጥ ትክክለኛነትን (±0.02ሚሜ) ያረጋግጣል።

2. የአልማዝ መስመር እንቅስቃሴ፡ የአልማዝ መስመር (በላይኛው ላይ በኤሌክትሮላይት የተፈጠሩ የአልማዝ ቅንጣቶች) የሚመራው ለከፍተኛ ፍጥነት ዝውውር (የመስመር ፍጥነት 10~30ሜ/ሰ) በሚሰጠው መሪ ጎማ ስርዓት ነው።

3. የመቁረጥ ምግብ፡- ኢንጎቱ በተቀመጠው አቅጣጫ ይመገባል፣ እና የአልማዝ መስመሩ ከብዙ ትይዩ መስመሮች (100-500 መስመሮች) ጋር በተመሳሳይ ጊዜ ተቆርጦ በርካታ ዋፈርዎችን ይፈጥራል።

4. የማቀዝቀዣ እና የቺፕስ ማስወገድ፡- የሙቀት ጉዳትን ለመቀነስ እና ቺፖችን ለማስወገድ በማቀዝቀዣው ቦታ ላይ የማቀዝቀዣ (ዲአዮናይዝድ ውሃ + ተጨማሪዎች) ይረጩ።

ቁልፍ መለኪያዎች፡

1. የመቁረጥ ፍጥነት፡ 0.2~1.0ሚሜ/ደቂቃ (እንደ ክሪስታል አቅጣጫ እና የሲሲ ውፍረት ላይ በመመስረት)።

2. የመስመር ውጥረት፡ 20~50N (መስመሩን ለመስበር በጣም ከፍተኛ፣ በጣም ዝቅተኛ የመቁረጥ ትክክለኛነትን ይነካል።)

3. የዋፈር ውፍረት፡ መደበኛ 350 ~ 500μm፣ ዋፈር 100μm ሊደርስ ይችላል።

ዋና ዋና ባህሪያት:

(1) የመቁረጥ ትክክለኛነት
የውፍረት መቻቻል፡ ±5μm (@350μm wafer)፣ ከተለመደው የሞርታር መቁረጥ (±20μm) የተሻለ።

የወለል ሸካራነት፡ Ra<0.5μm (ቀጣይ የማቀነባበሪያውን መጠን ለመቀነስ ተጨማሪ መፍጨት አያስፈልግም)።

የጦርነት ጊዜ፦ <10μm (ቀጣይ የማጥራት ችግርን ይቀንሳል)።

(2) የማቀነባበሪያ ቅልጥፍና
ባለብዙ መስመር መቁረጥ፡ በአንድ ጊዜ ከ100 እስከ 500 ቁርጥራጮችን መቁረጥ፣ የማምረት አቅምን ከ3-5 ጊዜ ማሳደግ (ከአንድ መስመር መቁረጥ ጋር ሲነጻጸር)።

የመስመር ህይወት፡ የአልማዝ መስመሩ ከ100 እስከ 300 ኪ.ሜ የሚደርስ SiC (እንደ ኢንጎት ጥንካሬ እና የሂደት ማመቻቸት) ሊቆርጥ ይችላል።

(3) ዝቅተኛ ጉዳት ማቀነባበር
የጠርዝ መሰበር፡ <15μm (ባህላዊ መቁረጥ > 50μm)፣ የዋፈር ምርትን ያሻሽላል።

የከርሰ ምድር ጉዳት ንብርብር፡ <5μm (የማጥራት ማስወገድን ይቀንሱ)።

(4) የአካባቢ ጥበቃ እና ኢኮኖሚ
የሞርታር ብክለት የለም፡- ከሞርታር መቁረጥ ጋር ሲነጻጸር የቆሻሻ ፈሳሽ ማስወገጃ ወጪዎችን ቀንሷል።

የቁሳቁስ አጠቃቀም፡- የኪሳራ መቀነስ <100μm/ መቁረጫ፣ የSiC ጥሬ እቃዎችን መቆጠብ።

የመቁረጥ ውጤት፡

1. የዋፈር ጥራት፡- በላዩ ላይ ምንም ማክሮስኮፒክ ስንጥቆች የሉም፣ ጥቂት ጥቃቅን ጉድለቶች (ሊቆጣጠሩ የሚችሉ የመንሸራተቻ ማራዘሚያዎች)። በቀጥታ ወደ ሻካራ የማጥራት አገናኝ ውስጥ መግባት፣ የሂደቱን ፍሰት ማሳጠር ይችላል።

2. ወጥነት፡- በቡድኑ ውስጥ ያለው የዋፈር ውፍረት ልዩነት <±3% ሲሆን ለአውቶሜትድ ምርት ተስማሚ ነው።

3.ተፈጻሚነት፡- ከኮንዳክቲቭ/ከፊል-ኢንሱሌትድ አይነት ጋር የሚስማማ 4H/6H-SiC ኢንጎት መቁረጫ ይደግፋል።

ቴክኒካዊ ዝርዝር መግለጫ፡

ዝርዝር መግለጫ	ዝርዝሮች
ልኬቶች (ሊትር × ወ × ሰትር)	2500x2300x2500 ወይም ብጁ ያድርጉ
የማቀነባበሪያ ቁሳቁስ መጠን ክልል	4፣ 6፣ 8፣ 10፣ 12 ኢንች የሲሊኮን ካርቦይድ
የወለል ሸካራነት	ራ≤0.3u
አማካይ የመቁረጥ ፍጥነት	0.3ሚሜ/ደቂቃ
ክብደት	5.5 ቶን
የመቁረጥ ሂደት የማዋቀር ደረጃዎች	≤30 ደረጃዎች
የመሳሪያዎች ድምፅ	≤80 dB
የብረት ሽቦ ውጥረት	0~110N(0.25 የሽቦ ውጥረት 45N ነው)
የብረት ሽቦ ፍጥነት	0~30ሜ/ሰ
ጠቅላላ ኃይል	50 ኪ.ወ
የአልማዝ ሽቦ ዲያሜትር	≥0.18 ሚሜ
ጠፍጣፋነትን ያጠናቅቁ	≤0.05ሚሜ
የመቁረጥ እና የመቁረጥ ፍጥነት	≤1% (ከሰው ልጅ ምክንያቶች፣ ከሲሊኮን ቁሳቁስ፣ ከገመድ፣ ከጥገና እና ከሌሎች ምክንያቶች በስተቀር)

የXKH አገልግሎቶች፡

XKH የሲሊኮን ካርቦይድ አልማዝ ሽቦ መቁረጫ ማሽንን ጨምሮ የመሳሪያ ምርጫ (የሽቦ ዲያሜትር/የሽቦ ፍጥነት ማዛመድ)፣ የሂደት ልማት (የመቁረጫ መለኪያ ማመቻቸት)፣ የፍጆታ አቅርቦት (የአልማዝ ሽቦ፣ የመሪ ጎማ) እና ከሽያጭ በኋላ ድጋፍ (የመሳሪያ ጥገና፣ የመቁረጥ ጥራት ትንተና) ጨምሮ አጠቃላይ የሂደት አገልግሎት ይሰጣል፣ ይህም ደንበኞች ከፍተኛ ምርት (>95%)፣ ዝቅተኛ ዋጋ ያለው የሲሲ ዋፈር የጅምላ ምርት እንዲያገኙ ይረዳል። እንዲሁም ከ4-8 ሳምንታት የመሪ ጊዜ ጋር ብጁ ማሻሻያዎችን (እንደ እጅግ በጣም ቀጭን መቁረጥ፣ አውቶማቲክ ጭነት እና ማራገፍ ያሉ) ያቀርባል።