የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) አግድም ምድጃ ቱቦ

አጭር መግለጫ፡

የሲሊኮን ካርባይድ (ሲሲ) አግድም ምድጃ ቱቦ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ፣ በፎቶቮልታይክ ማምረቻ እና በተራቀቀ የቁሳቁስ ማቀነባበሪያ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ ከፍተኛ ሙቀት ላላቸው የጋዝ-ደረጃ ግብረመልሶች እና የሙቀት ሕክምናዎች እንደ ዋና የሂደት ክፍል እና የግፊት ወሰን ሆኖ ያገለግላል።

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

ዝርዝር ዲያግራም

የምርት አቀማመጥ እና የእሴት ሀሳብ

ይህ ቱቦ ጥቅጥቅ ባለ CVD-SiC መከላከያ ንብርብር የተዋሃደ ነጠላ ቁራጭ፣ ተጨማሪ የተመረተ የSiC መዋቅር ያለው ሲሆን እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ፣ አነስተኛ ብክለት፣ ጠንካራ የሜካኒካል ታማኝነት እና እጅግ በጣም ጥሩ የኬሚካል መቋቋም ችሎታ አለው።
ዲዛይኑ የላቀ የሙቀት መጠን ወጥነት፣ የተራዘመ የአገልግሎት ጊዜ እና የተረጋጋ የረጅም ጊዜ አሠራርን ያረጋግጣል።

ዋና ጥቅሞች

የስርዓት የሙቀት ወጥነትን፣ ንፅህናን እና አጠቃላይ የመሳሪያዎችን ውጤታማነት (OEE) ያሳድጋል።
የጽዳት ጊዜን ይቀንሳል እና የመተኪያ ዑደቶችን ያራዝማል፣ የባለቤትነት አጠቃላይ ወጪን ይቀንሳል (TCO)።
ከፍተኛ ሙቀት ያላቸውን ኦክሲዴቲቭ እና ክሎሪን የበለፀጉ ኬሚስትሪዎችን በትንሹ አደጋ ለመቋቋም የሚያስችል ረጅም ዕድሜ ያለው ክፍል ይሰጣል።

የሚመለከታቸው ድባብ እና የሂደት መስኮት

ምላሽ ሰጪ ጋዞች: ኦክስጅን (O₂) እና ሌሎች ኦክሳይድ ውህዶች
ተሸካሚ/መከላከያ ጋዞች: ናይትሮጅን (N₂) እና እጅግ በጣም ንጹህ ያልሆኑ ጋዞች
ተስማሚ ዝርያዎች፦ ክሎሪን የሚይዙ ጋዞችን መከታተያ (በምግብ አዘገጃጀት ቁጥጥር የሚደረግበት እና የማቆያ ጊዜ)

የተለመዱ ሂደቶች፦ ደረቅ/እርጥብ ኦክሳይድ፣ ማቃጠል፣ ስርጭት፣ የLPCVD/CVD ክምችት፣ የገጽታ ማግበር፣ የፎቶቮልታይክ ፓሲቭዜሽን፣ ተግባራዊ ቀጭን-ፊልም እድገት፣ ካርቦኔዜሽን፣ ናይትሪዴሽን እና ሌሎችም።

የአሠራር ሁኔታዎች

የሙቀት መጠን፡ የክፍል ሙቀት እስከ 1250 °ሴ (በማሞቂያው ዲዛይን እና ΔT ላይ በመመስረት ከ10-15% የደህንነት ህዳግ ይፍቀዱ)
ግፊት፡ ከዝቅተኛ-ግፊት/LPCVD የቫኩም ደረጃዎች እስከ ከባቢ አየር አቅራቢያ አዎንታዊ ግፊት (በግዢ ትዕዛዝ የመጨረሻ ዝርዝር መግለጫ)

ቁሳቁሶች እና መዋቅራዊ ሎጂክ

ሞኖሊቲክ ሲሲ ቦዲ (ተጨማሪ የተሰራ)

ከፍተኛ ጥግግት β-SiC ወይም ባለብዙ ደረጃ SiC፣ እንደ አንድ አካል የተገነባ - የሚያፈሱ ወይም የጭንቀት ነጥቦችን የሚፈጥሩ የተነከሩ መገጣጠሚያዎች ወይም ስፌቶች የሉም።
ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ ፈጣን የሙቀት ምላሽ እና እጅግ በጣም ጥሩ የአክሲያል/ራዲያል የሙቀት መጠን ወጥነት እንዲኖር ያስችላል።
ዝቅተኛ፣ የተረጋጋ የሙቀት መስፋፋት (CTE) በከፍተኛ የሙቀት መጠን የልኬት መረጋጋትን እና አስተማማኝ ማህተሞችን ያረጋግጣል።

የሲቪዲ ሲሲ ተግባራዊ ሽፋን

በቦታው ውስጥ የተከማቸ፣ እጅግ በጣም ንጹህ (የገጽታ/የሽፋን ቆሻሻዎች ከ 5 ppm በታች) የቅንጣት ማመንጨትን እና የብረት አዮኖችን መለቀቅ ለመግታት።
በኦክሳይድ እና በክሎሪን ተሸካሚ ጋዞች ላይ እጅግ በጣም ጥሩ የኬሚካል አለመቻቻል፣ የግድግዳ ጥቃትን ወይም እንደገና እንዳይፈጠር ይከላከላል።
የዝገት መቋቋምን እና የሙቀት ምላሽን ለማመጣጠን በዞን ላይ የተመሰረቱ የውፍረት አማራጮች።

የተቀላቀለ ጥቅምጠንካራው የሲሲ አካል መዋቅራዊ ጥንካሬ እና የሙቀት ማስተላለፊያ ይሰጣል፣ የሲቪዲ ንብርብር ደግሞ ከፍተኛ አስተማማኝነት እና ውፅዓት ለማግኘት ንፅህና እና የዝገት መቋቋምን ያረጋግጣል።

ቁልፍ የአፈጻጸም ኢላማዎች

የማያቋርጥ የአጠቃቀም የሙቀት መጠን;≤ 1250 °ሴ
የጅምላ ንጣፍ ቆሻሻዎች;< 300 ppm
የCVD-SiC ወለል ርኩሰቶች፡< 5 ፒፒኤም
የመለኪያ መቻቻል፡ OD ±0.3–0.5 ሚሜ፤ ኮአክሲያልነት ≤ 0.3 ሚሜ/ሜ (ጥብቅ ይገኛል)
የውስጥ ግድግዳ ሸካራነት፡ Ra ≤ 0.8–1.6 µm (የተወለወለ ወይም የመስታወት ቅርጽ ያለው አጨራረስ አማራጭ)
የሂሊየም ፍሳሽ መጠን፡ ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
የሙቀት-ድንጋጤ መቋቋም፡- ተደጋጋሚ የሞቀ/ቀዝቃዛ ብስክሌት ሳይሰነጠቅ ወይም ሳይተነፍስ ይተርፋል
የጽዳት ክፍል ስብሰባ፡ የ ISO ክፍል 5–6 ከተረጋገጡ የቅንጣት/የብረት-አዮን ቅሪት ደረጃዎች ጋር

ውቅሮች እና አማራጮች

ጂኦሜትሪ: OD 50–400 ሚሜ (በግምገማው ትልቅ) ረጅም ባለ አንድ ቁራጭ ግንባታ ያለው፤ የግድግዳ ውፍረት ለሜካኒካል ጥንካሬ፣ ክብደት እና የሙቀት ፍሰት የተመቻቸ።
የመጨረሻ ዲዛይኖች: ፍላንጅስ፣ ደወል-አፍ፣ ባዮኔት፣ የቦታ አቀማመጦች፣ የኦ-ሪንግ ጎድጓዶች፣ እና ብጁ የፓምፕ-አውት ወይም የግፊት ወደቦች።
ተግባራዊ ወደቦች፦ የሙቀት ኮፍያዎች፣ የእይታ መስታወት መቀመጫዎች፣ የጋዝ ማስገቢያዎች - ሁሉም ለከፍተኛ ሙቀት እና ፍሳሽ የማያስከትሉ ስራዎች የተነደፉ ናቸው።
የሽፋን መርሃግብሮች: ውስጣዊ ግድግዳ (ነባሪ)፣ ውጫዊ ግድግዳ ወይም ሙሉ ሽፋን፤ ለከፍተኛ ተጽዕኖ ላላቸው ክልሎች የታለመ መከላከያ ወይም ደረጃ የተሰጠው ውፍረት።
የወለል ህክምና እና ንፅህና፦ በርካታ የሻካራነት ደረጃዎች፣ የአልትራሳውንድ/DI ጽዳት፣ እና ብጁ የመጋገር/የደረቅ ፕሮቶኮሎች።
መለዋወጫዎች፦ ግራፋይት/ሴራሚክ/ሜታል ፍላንጅስ፣ ማኅተሞች፣ የቦታ ማስቀመጫዎች፣ የእጅጌ መያዣዎች እና የማከማቻ መደርደሪያዎች።

የአፈጻጸም ንጽጽር

ሜትሪክ	የሲሲ ቱቦ	የኳርትዝ ቱቦ	የአሉሚና ቱቦ	የግራፋይት ቱቦ
የሙቀት ማስተላለፊያ	ከፍተኛ፣ ወጥ የሆነ	ዝቅተኛ	ዝቅተኛ	ከፍተኛ
ከፍተኛ የሙቀት መጠን/ጥንካሬ	እጅግ በጣም ጥሩ	ፍትሃዊ	ጥሩ	ጥሩ (ኦክሳይድ-ስሜታዊ)
የሙቀት ድንጋጤ	እጅግ በጣም ጥሩ	ደካማ	መካከለኛ	እጅግ በጣም ጥሩ
ንፅህና / የብረት አየኖች	እጅግ በጣም ጥሩ (ዝቅተኛ)	መካከለኛ	መካከለኛ	ደካማ
ኦክሳይድ እና ክሊ-ኬሚስትሪ	እጅግ በጣም ጥሩ	ፍትሃዊ	ጥሩ	ደካማ (ኦክሳይድ ያደርጋል)
ወጪ እና የአገልግሎት ዘመን	መካከለኛ / ረጅም ዕድሜ	ዝቅተኛ / አጭር	መካከለኛ / መካከለኛ	መካከለኛ / ለአካባቢ የተገደበ

በተደጋጋሚ የሚጠየቁ ጥያቄዎች (FAQ)

ጥያቄ 1. ለምን በ3-ልኬት የታተመ ሞኖሊቲክ ሲሲ አካል መምረጥ አለብዎት?
ሀ. ውጥረትን የሚያፈሱ ወይም የሚያተኩሩ ስፌቶችን እና ብሬዞችን ያስወግዳል፣ እና ወጥ የሆነ የልኬት ትክክለኛነት ያላቸውን ውስብስብ ጂኦሜትሪዎችን ይደግፋል።

ጥያቄ 2፡ SiC ለክሎሪን ተሸካሚ ጋዞች መቋቋም ይችላል?
ሀ. አዎ። CVD-SiC በተወሰነ የሙቀት መጠን እና የግፊት ገደቦች ውስጥ በጣም ንቁ ነው። ከፍተኛ ተጽዕኖ ላላቸው አካባቢዎች፣ አካባቢያዊ ወፍራም ሽፋኖች እና ጠንካራ የማጽዳት/የጭስ ማውጫ ስርዓቶች ይመከራል።

ጥያቄ 3. የኳርትዝ ቱቦዎችን እንዴት በተሻለ ሁኔታ ይበልጣል?
ሀ. ሲሲ ረጅም የአገልግሎት ዘመን፣ የተሻለ የሙቀት መጠን ወጥነት፣ ዝቅተኛ የቅንጣት/የብረት-አዮን ብክለት እና የተሻሻለ TCO - በተለይም ከ~900°ሴ በላይ ወይም በኦክሳይድ/ክሎሪን በተቀላቀለበት ከባቢ አየር ውስጥ ይሰጣል።

ጥያቄ 4፡ ቱቦው ፈጣን የሙቀት መወጣጫ መቋቋም ይችላል?
ሀ. አዎ፣ ከፍተኛውን ΔT እና የራምፕ-ፍጥነት መመሪያዎችን ከተከተሉ። ከፍተኛ-κ SiC አካልን ከቀጭን CVD ንብርብር ጋር ማጣመር ፈጣን የሙቀት ሽግግሮችን ይደግፋል።

ጥያቄ 5. መተካት መቼ ያስፈልጋል?
ሀ. የፍላንጅ ወይም የጠርዝ ስንጥቆች፣ የሽፋን ጉድጓዶች ወይም ስፕላሊንግ፣ የፈሳሽ መጠን መጨመር፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መንሸራተት ወይም ያልተለመደ የቅንጣት ማመንጨት ካገኙ ቱቦውን ይተኩ።

ስለ እኛ

XKH በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ልማት፣ ምርት እና ልዩ የኦፕቲካል መስታወት እና አዳዲስ ክሪስታል ቁሳቁሶችን ሽያጭ ላይ ያተኩራል። ምርቶቻችን የኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ፣ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ እና ወታደራዊ አገልግሎት ይሰጣሉ። የሳፋየር ኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የሞባይል ስልክ ሌንስ ሽፋኖችን፣ ሴራሚክስን፣ ኤልቲ፣ ሲሊከን ካርባይድ ሲአይሲ፣ ኳርትዝ እና ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል ዋፈርስን እናቀርባለን። በሙያዊ እውቀት እና ዘመናዊ መሳሪያዎች፣ መደበኛ ባልሆነ የምርት ማቀነባበሪያ ውስጥ የላቀ ችሎታ አለን፣ እናም ግንባር ቀደም የኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቁሶች ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ድርጅት ለመሆን እንጥራለን።