ሲሊከን ካርባይድ (ሲሲ) ዋፈር ጀልባ
ዝርዝር ዲያግራም
የኳርትዝ ብርጭቆ አጠቃላይ እይታ
የሲሊኮን ካርባይድ (SiC) ዋፈር ጀልባ ከፍተኛ ንፁህ የሲሲ ቁሳቁስ የተሰራ ሴሚኮንዳክተር የሂደት ተሸካሚ ሲሆን እንደ ኤፒታክሲ፣ ኦክሲዴሽን፣ ስርጭት እና አኒሊንግ ባሉ ወሳኝ ከፍተኛ የሙቀት ሂደቶች ወቅት ዋፈርዎችን ለመያዝ እና ለማጓጓዝ የተነደፈ ነው።
የኃይል ሴሚኮንዳክተሮች እና ሰፊ የባንድ ክፍተት መሳሪያዎች በፍጥነት በማደግ፣ የተለመዱ የኳርትዝ ጀልባዎች እንደ ከፍተኛ ሙቀት መበላሸት፣ ከባድ የቅንጣት ብክለት እና የአጭር ጊዜ የአገልግሎት ዘመን ያሉ ገደቦች ያጋጥሟቸዋል። የላቀ የሙቀት መረጋጋት፣ ዝቅተኛ ብክለት እና ረጅም ዕድሜ ያላቸው የሲሲ ዋፈር ጀልባዎች፣ የኳርትዝ ጀልባዎችን እየተተኩ እና በሲሲ መሳሪያ ማምረቻ ውስጥ ተመራጭ ምርጫ እየሆኑ ነው።
ቁልፍ ባህሪያት
1. የቁሳቁስ ጥቅሞች
-
ከከፍተኛ ንፅህና SiC የተሰራከፍተኛ ጥንካሬ እና ጥንካሬ.
-
ከ2700°ሴ በላይ የሚቀልጥ ነጥብ፣ ከኳርትዝ በጣም የሚበልጥ፣ በከባድ አካባቢዎች የረጅም ጊዜ መረጋጋትን ያረጋግጣል።
2. የሙቀት ባህሪያት
-
ፈጣን እና ወጥ የሆነ የሙቀት ዝውውርን የሚፈቅድ ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ፣ የዋፈር ውጥረትን የሚቀንስ።
-
የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት (CTE) ከSiC ንጣፎች ጋር በቅርበት የሚጣጣም ሲሆን ይህም የዋፈር መሰንጠቅንና መሰንጠቅን ይቀንሳል።
3. የኬሚካል መረጋጋት
-
በከፍተኛ ሙቀት እና በተለያዩ ከባቢ አየር (H₂፣ N₂፣ Ar፣ NH₃፣ ወዘተ) ስር የተረጋጋ።
-
እጅግ በጣም ጥሩ የኦክሳይድ መቋቋም፣ መበስበስን እና ቅንጣትን ማመንጨትን የሚከላከል።
4. የሂደት አፈጻጸም
-
ለስላሳ እና ጥቅጥቅ ያለ ገጽታ የቅንጣት መፍሰስን እና ብክለትን ይቀንሳል።
-
ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ ከዋለ በኋላ የመጠን መረጋጋትን እና የጭነት አቅምን ይጠብቃል።
5. የወጪ ቅልጥፍና
-
ከኳርትዝ ጀልባዎች 3-5 እጥፍ የአገልግሎት ዘመን ይረዝማል።
-
የጥገና ድግግሞሽን መቀነስ፣ የስራ ማቆም እና የመተካት ወጪዎችን መቀነስ።
አፕሊኬሽኖች
-
ሲሲ ኤፒታክሲ፦ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ኤፒታክሲያል እድገት ወቅት የ4 ኢንች፣ የ6 ኢንች እና የ8 ኢንች SiC ንጣፎችን ይደግፋል።
-
የኃይል መሣሪያ ማምረቻ፦ ለSiC MOSFETዎች፣ ለShotky Barrier Diodes (SBDs)፣ ለIGBTዎች እና ለሌሎች መሳሪያዎች ተስማሚ።
-
የሙቀት ሕክምና፦ የማቅለጫ፣ የናይትሬዲሽን እና የካርቦኔዜሽን ሂደቶች።
-
ኦክሳይድ እና ስርጭት፦ ለከፍተኛ የሙቀት መጠን ኦክሳይድ እና ስርጭት የተረጋጋ የዋፈር ድጋፍ መድረክ።
ቴክኒካዊ ዝርዝሮች
| እቃ | ዝርዝር መግለጫ |
|---|---|
| ቁሳቁስ | ከፍተኛ ንፅህና ያለው ሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ) |
| የዋፈር መጠን | 4 ኢንች / 6 ኢንች / 8 ኢንች (ሊበጅ የሚችል) |
| ከፍተኛ የአሠራር ሙቀት። | ≤ 1800°ሴ |
| የሙቀት ማስፋፊያ CTE | 4.2 × 10⁻⁶ /K (ከSiC ንጣፍ ጋር ቅርብ) |
| የሙቀት ማስተላለፊያ | 120–200 W/m·K |
| የወለል ሻካራነት | ራ < 0.2 μm |
| ትይዩሊዝም | ±0.1 ሚሜ |
| የአገልግሎት ሕይወት | ከኳርትዝ ጀልባዎች ≥ 3× ይረዝማል |
ንጽጽር፡ ኳርትዝ ጀልባ ከሲሲ ጀልባ ጋር ሲነጻጸር
| ልኬት | ኳርትዝ ጀልባ | ሲሲ ጀልባ |
|---|---|---|
| የሙቀት መቋቋም | ≤ 1200°ሴ፣ በከፍተኛ ሙቀት ለውጥ። | ≤ 1800°ሴ፣ በሙቀት የማይለወጥ |
| የCTE ግጥሚያ ከSiC ጋር | ትልቅ አለመጣጣም፣ የዋፈር ውጥረት አደጋ | ግጥሚያውን ይዝጉ፣ የዋፈር ስንጥቅን ይቀንሳል |
| የቅንጣት ብክለት | ከፍተኛ፣ ርኩሰት ይፈጥራል | ዝቅተኛ፣ ለስላሳ እና ጥቅጥቅ ያለ ወለል |
| የአገልግሎት ሕይወት | አጭር፣ ተደጋጋሚ ምትክ | ረጅም፣ ከ3-5 × ረጅም የአገልግሎት ዘመን |
| ተስማሚ ሂደት | ባህላዊ ሲ ኤፒታክሲ | ለ SiC ኤፒታክሲ እና ለኃይል መሳሪያዎች የተመቻቸ |
ተደጋጋሚ ጥያቄዎች - ሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ) ዋፈር ጀልባዎች
1. የሲሲ ዋፈር ጀልባ ምንድን ነው?
የሲሲ ዋፈር ጀልባ ከፍተኛ ንፁህ ሲሊከን ካርቦይድ የተሰራ ሴሚኮንዳክተር የሂደት ተሸካሚ ነው። እንደ ኤፒታክሲ፣ ኦክሲዴሽን፣ ስርጭት እና አኒሊንግ ባሉ ከፍተኛ የሙቀት ሂደቶች ወቅት ዋፈርዎችን ለመያዝ እና ለማጓጓዝ ያገለግላል። ከባህላዊ የኳርትዝ ጀልባዎች ጋር ሲነፃፀሩ፣ የሲሲ ዋፈር ጀልባዎች የላቀ የሙቀት መረጋጋት፣ ዝቅተኛ ብክለት እና ረጅም የአገልግሎት ዘመን ይሰጣሉ።
2. ከኳርትዝ ጀልባዎች ይልቅ የሲሲ ዋፈር ጀልባዎችን ለምን ይመርጣሉ?
-
ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም፦ እስከ 1800°ሴ እና ኳርትዝ (≤1200°ሴ) ድረስ የተረጋጋ።
-
የተሻለ የCTE ግጥሚያ: ወደ SiC ንጣፎች ቅርብ፣ የዋፈር ውጥረትን እና ስንጥቅን ይቀንሳል።
-
ዝቅተኛ የቅንጣት ማመንጨት፦ ለስላሳ እና ጥቅጥቅ ያለ ገጽታ ብክለትን ይቀንሳል።
-
ረጅም የህይወት ዘመን: ከኳርትዝ ጀልባዎች 3-5 እጥፍ ይረዝማል፣ ይህም የባለቤትነት ወጪን ይቀንሳል።
3. የሲሲ ዋፈር ጀልባዎች ምን አይነት የዋፈር መጠኖችን ሊደግፉ ይችላሉ?
መደበኛ ዲዛይኖችን እናቀርባለን ለ4 ኢንች፣ 6 ኢንች እና 8 ኢንችዋፈርስ፣ የደንበኛን ፍላጎት ለማሟላት ሙሉ ማበጀት ይቻላል።
4. የሲሲ ዋፈር ጀልባዎች በብዛት ጥቅም ላይ የሚውሉት በየትኞቹ ሂደቶች ነው?
-
የሲሲ ኤፒታክሲያል እድገት
-
የኃይል ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ማምረቻ (SiC MOSFETs፣ SBDs፣ IGBTs)
-
ከፍተኛ የሙቀት መጠን ማቃጠል፣ ናይትሬዲሽን እና ካርቦኔዜሽን
-
የኦክሳይድ እና የስርጭት ሂደቶች
ስለ እኛ
XKH በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ልማት፣ ምርት እና ልዩ የኦፕቲካል መስታወት እና አዳዲስ ክሪስታል ቁሳቁሶችን ሽያጭ ላይ ያተኩራል። ምርቶቻችን የኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ፣ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ እና ወታደራዊ አገልግሎት ይሰጣሉ። የሳፋየር ኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የሞባይል ስልክ ሌንስ ሽፋኖችን፣ ሴራሚክስን፣ ኤልቲ፣ ሲሊከን ካርባይድ ሲአይሲ፣ ኳርትዝ እና ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል ዋፈርስን እናቀርባለን። በሙያዊ እውቀት እና ዘመናዊ መሳሪያዎች፣ መደበኛ ባልሆነ የምርት ማቀነባበሪያ ውስጥ የላቀ ችሎታ አለን፣ እናም ግንባር ቀደም የኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቁሶች ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ድርጅት ለመሆን እንጥራለን።
