ሲሊኮን ዳይኦክሳይድ ዋፈር SiO2 ዋፈር ወፍራም የተወለወለ፣ ፕራይም እና የሙከራ ደረጃ
የዋፈር ሳጥንን ማስተዋወቅ
| ምርት | ቴርማል ኦክሳይድ (Si+SiO2) ዋፈርስ |
| የምርት ዘዴ | ኤልፒሲቪዲ |
| የወለል ፖሊሽንግ | ኤስኤስፒ/ዲኤስፒ |
| ዲያሜትር | 2 ኢንች / 3 ኢንች / 4 ኢንች / 5 ኢንች / 6 ኢንች |
| አይነት | የፒ ዓይነት / ኤን ዓይነት |
| የኦክሳይድ ንብርብር ውፍረት | 100nm ~ 1000nm |
| አቅጣጫ | <100> <111> |
| የኤሌክትሪክ መቋቋም | 0.001-25000(Ω•ሴሜ) |
| ማመልከቻ | ለሲንክሮትሮን የጨረር ናሙና ተሸካሚ፣ የPVD/CVD ሽፋን እንደ ንጣፍ፣ የማግኔትሮን ስፕተርንግ የእድገት ናሙና፣ XRD፣ SEM፣ ጥቅም ላይ ይውላል።የአቶሚክ ኃይል፣ የኢንፍራሬድ ስፔክትሮስኮፒ፣ የፍሎረሰንስ ስፔክትሮስኮፒ እና ሌሎች የትንታኔ ሙከራ ንጣፎች፣ የሞለኪውላር ጨረር ኤፒታክሲያል የእድገት ንጣፎች፣ የክሪስታሊን ሴሚኮንዳክተሮች የኤክስሬይ ትንተና |
የሲሊኮን ኦክሳይድ ዋፈርዎች በሲሊኮን ዋፈርዎች ወለል ላይ በኦክስጅን ወይም በውሃ ትነት በከፍተኛ ሙቀት (800°ሴ ~ 1150°ሴ) የሚበቅሉ የሲሊኮን ዳይኦክሳይድ ፊልሞች ሲሆኑ በከባቢ አየር ግፊት ምድጃ ቱቦ መሳሪያዎች የሙቀት ኦክሳይድ ሂደትን በመጠቀም ይበቅላሉ። የሂደቱ ውፍረት ከ50 ናኖሜትር እስከ 2 ማይክሮን ይደርሳል፣ የሂደቱ ሙቀት እስከ 1100 ዲግሪ ሴልሺየስ ነው፣ የእድገት ዘዴው በሁለት ዓይነቶች "እርጥብ ኦክስጅን" እና "ደረቅ ኦክስጅን" ይከፈላል። ቴርማል ኦክሳይድ "ያደገ" የኦክሳይድ ንብርብር ሲሆን ከሲቪዲ የተከማቸ የኦክሳይድ ንብርብሮች የበለጠ ወጥነት፣ የተሻለ ጥግግት እና ከፍተኛ ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬ ያለው ሲሆን ይህም የላቀ ጥራት ያስገኛል።
ደረቅ ኦክስጅን ኦክሳይድ
ሲሊከን ከኦክስጅን ጋር ምላሽ ይሰጣል፣ እና የኦክሳይድ ንብርብር ያለማቋረጥ ወደ ንጣፍ ንብርብር ይንቀሳቀሳል። ደረቅ ኦክሳይድ ከ850 እስከ 1200°ሴ ባለው የሙቀት መጠን መከናወን አለበት፣ ዝቅተኛ የእድገት መጠን ያለው፣ እና ለ MOS insulated gate growth ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል። ከፍተኛ ጥራት ያለው፣ እጅግ በጣም ቀጭን የሲሊኮን ኦክሳይድ ንብርብር ሲያስፈልግ ደረቅ ኦክሳይድ ከእርጥብ ኦክሳይድ ይልቅ ይመረጣል። ደረቅ ኦክሳይድ አቅም፡ 15nm~300nm።
2. እርጥብ ኦክሳይድ
ይህ ዘዴ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ባለበት ሁኔታ ወደ ምድጃ ቱቦ በመግባት የውሃ ትነት የኦክሳይድ ንብርብር ለመፍጠር ይጠቀማል። የእርጥብ ኦክስጅን ኦክሳይድ ጥግግት ከደረቅ ኦክስጅን ኦክሳይድ ትንሽ የከፋ ነው፣ ነገር ግን ከደረቅ ኦክስጅን ኦክሳይድ ጋር ሲነጻጸር ጥቅሙ ከፍተኛ የእድገት መጠን ያለው ሲሆን ከ500 nm በላይ የፊልም እድገት ተስማሚ ነው። የእርጥብ ኦክሳይድ አቅም፡ 500 nm ~ 2 µm።
የኤኤምዲ የከባቢ አየር ግፊት ኦክሳይድ ምድጃ ቱቦ የቼክ አግድም ምድጃ ቱቦ ሲሆን በከፍተኛ የሂደት መረጋጋት፣ በጥሩ የፊልም ወጥነት እና የላቀ የቅንጣት ቁጥጥር ተለይቶ ይታወቃል። የሲሊኮን ኦክሳይድ ምድጃ ቱቦ በአንድ ቱቦ እስከ 50 ዋፈርዎችን ማቀነባበር ይችላል፣ እጅግ በጣም ጥሩ የውስጥ እና የመካከለኛ-ዋፈርዎች ወጥነት አለው።
ዝርዝር ዲያግራም
