ሲሊኮን / ሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ) ዋፈር ባለአራት ደረጃ የተገናኘ የማጥራት አውቶሜሽን መስመር (የተቀናጀ የድህረ-ፖላንድ አያያዝ መስመር)
ዝርዝር ዲያግራም
አጠቃላይ እይታ
ይህ ባለአራት ደረጃ የተገናኘ የፖሊሽንግ አውቶሜሽን መስመር ለሚከተሉት የተነደፈ የተቀናጀ፣ የመስመር ውስጥ መፍትሄ ነውድህረ-ፖሊሽ / ድህረ-ሲኤምፒየሲሊከንእናሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ)ዋፈር። በዙሪያው የተገነባየሴራሚክ ተሸካሚዎች (የሴራሚክ ሳህኖች)ስርዓቱ በርካታ የታችኛውን ክፍል ተግባራትን ወደ አንድ የተቀናጀ መስመር ያጣምራል - ይህም የእጅ አያያዝን ለመቀነስ፣ የጊዜ ገደብን ለማረጋጋት እና የብክለት ቁጥጥርን ለማጠናከር ይረዳል።
በሴሚኮንዳክተር ማምረት ውስጥ፣ውጤታማ የድህረ-CMP ጽዳትከሚቀጥለው ሂደት በፊት ጉድለቶችን ለመቀነስ እንደ ቁልፍ እርምጃ እና የላቁ አቀራረቦችን (ጨምሮ) በስፋት ይታወቃልሜጋሶኒክ ጽዳት) በተለምዶ የቅንጣት ማስወገጃ አፈፃፀምን ለማሻሻል ይወያያሉ።
በተለይም ለሲሲ (SiC)ከፍተኛ ጥንካሬ እና የኬሚካል ንዝረትፖሊሽ ማድረግን ፈታኝ ያደርገዋል (ብዙውን ጊዜ ዝቅተኛ የቁሳቁስ ማስወገጃ ፍጥነት እና ከፍተኛ የገጽታ/የከርሰ ምድር ጉዳት አደጋ ጋር የተያያዘ)፣ ይህም የተረጋጋ የድህረ-ፖሊሽ አውቶሜሽን እና ቁጥጥር የሚደረግበት ጽዳት/አያያዝ በተለይ ጠቃሚ ያደርገዋል።
ቁልፍ ጥቅሞች
የሚደግፍ ነጠላ የተዋሃደ መስመር፦
-
የዋፈር መለያየት እና መሰብሰብ(ከተጣራ በኋላ)
-
የሴራሚክ ተሸካሚ ቋት/ማከማቻ
-
የሴራሚክ ተሸካሚ ጽዳት
-
የሴራሚክ ተሸካሚዎች ላይ የዋፈር መጫኛ (መለጠፍ)
-
የተጠናከረ፣ የአንድ መስመር ክወና ለከ6–8 ኢንች ዋፈር
ቴክኒካዊ ዝርዝሮች (ከተሰጠው የውሂብ ሉህ)
-
የመሳሪያ ልኬቶች (L×W×H):13643 × 5030 × 2300 ሚሜ
-
የኃይል አቅርቦት:ኤሲ 380 ቪ፣ 50 Hz
-
ጠቅላላ ኃይል:119 ኪ.ወ.
-
የመጫኛ ንፅህና:0.5 μm < 50 ea; 5 μm < 1 ea
-
የመጫኛ ጠፍጣፋነት:≤ 2 μm
የመተላለፊያ ማጣቀሻ (ከቀረበው የውሂብ ሉህ)
-
የመሳሪያ ልኬቶች (L×W×H):13643 × 5030 × 2300 ሚሜ
-
የኃይል አቅርቦት:ኤሲ 380 ቪ፣ 50 Hz
-
ጠቅላላ ኃይል:119 ኪ.ወ.
-
የመጫኛ ንፅህና:0.5 μm < 50 ea; 5 μm < 1 ea
-
የመጫኛ ጠፍጣፋነት:≤ 2 μm
የተለመደው የመስመር ፍሰት
-
ከላይኛው የማጥራት ቦታ የሚመጣ መግቢያ/በይነገጽ
-
የዋፈር መለያየት እና መሰብሰብ
-
የሴራሚክ ተሸካሚ ቋት/ማከማቻ (በጊዜ-ጊዜ መቆራረጥ)
-
የሴራሚክ ተሸካሚ ጽዳት
-
ዋፈር በሸካሚዎች ላይ መጫን (በንጽህና እና ጠፍጣፋ ቁጥጥር)
-
ወደ ታችኛው ሂደት ወይም ሎጂስቲክስ ውጣ
ተደጋጋሚ ጥያቄዎች
ጥያቄ 1፡ ይህ መስመር በዋናነት የሚፈታው የትኞቹን ችግሮች ነው?
መ፡ የዋፈር መለያየት/መሰብሰብ፣ የሴራሚክ ተሸካሚ ማቋረጫ፣ የማጓጓዣ ጽዳት እና የዋፈር መጫኛን ወደ አንድ የተቀናጀ አውቶማቲክ መስመር በማዋሃድ የድህረ-ፖሊሽ ስራዎችን ያቀላጥፋል - ይህም በእጅ የሚነኩ ነጥቦችን በመቀነስ እና የምርት ምትን በማረጋጋት ነው።
ጥ2፡ የትኞቹ የዋፈር ቁሳቁሶች እና መጠኖች ይደገፋሉ?
ሀ፡ሲሊከን እና ሲሲ,ከ6–8 ኢንችዋፈር (በተሰጠው ዝርዝር መሰረት)።
ጥያቄ 3፡ የድህረ-CMP ጽዳት በኢንዱስትሪው ውስጥ ለምን አፅንዖት ተሰጥቶታል?
መ፡ የኢንዱስትሪ ጽሑፎች እንደሚያሳዩት ከቀጣዩ እርምጃ በፊት ውጤታማ የሆነ የድህረ-CMP ጽዳት ፍላጎት እያደገ በመምጣቱ የጉድለት ጥግግትን ይቀንሳል፤ የጅምላ-ተኮር አቀራረቦች የቅንጣት ማስወገድን ለማሻሻል በተለምዶ ይጠናሉ።
ስለ እኛ
XKH በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ልማት፣ ምርት እና ልዩ የኦፕቲካል መስታወት እና አዳዲስ ክሪስታል ቁሳቁሶችን ሽያጭ ላይ ያተኩራል። ምርቶቻችን የኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ፣ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ እና ወታደራዊ አገልግሎት ይሰጣሉ። የሳፋየር ኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የሞባይል ስልክ ሌንስ ሽፋኖችን፣ ሴራሚክስን፣ ኤልቲ፣ ሲሊከን ካርባይድ ሲአይሲ፣ ኳርትዝ እና ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል ዋፈርስን እናቀርባለን። በሙያዊ እውቀት እና ዘመናዊ መሳሪያዎች፣ መደበኛ ባልሆነ የምርት ማቀነባበሪያ ውስጥ የላቀ ችሎታ አለን፣ እናም ግንባር ቀደም የኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቁሶች ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ድርጅት ለመሆን እንጥራለን።
