ቲ/ኩ በብረት የተሸፈነ የሲሊኮን ዋፈር (ቲታኒየም/መዳብ)

አጭር መግለጫ፡

የእኛበቲ/ኩ የተሸፈኑ የብረት ሲሊከን ዋፈሮችከፍተኛ ጥራት ያለው ሲሊከን (ወይም አማራጭ የመስታወት/ኳርትዝ) ንጣፍ በየቲታኒየም ማጣበቂያ ንብርብርእና አንድየመዳብ ማስተላለፊያ ንብርብርበመጠቀም ላይመደበኛ ማግኔትሮን ስፕቲንግየቲ ኢንተርሌየር የማጣበቅ እና የሂደት መረጋጋትን በእጅጉ ያሻሽላል፣ የኩ የላይኛው ንብርብር ደግሞ ለኤሌክትሪክ መስተጋብር እና ለታችኛው ማይክሮፋብሪኬሽን ተስማሚ የሆነ ዝቅተኛ የመቋቋም እና ወጥ የሆነ ወለል ይሰጣል።


ባህሪያት

አጠቃላይ እይታ

የእኛበቲ/ኩ የተሸፈኑ የብረት ሲሊከን ዋፈሮችከፍተኛ ጥራት ያለው ሲሊከን (ወይም አማራጭ የመስታወት/ኳርትዝ) ንጣፍ በየቲታኒየም ማጣበቂያ ንብርብርእና አንድየመዳብ ማስተላለፊያ ንብርብርበመጠቀም ላይመደበኛ ማግኔትሮን ስፕቲንግየቲ ኢንተርሌየር የማጣበቅ እና የሂደት መረጋጋትን በእጅጉ ያሻሽላል፣ የኩ የላይኛው ንብርብር ደግሞ ለኤሌክትሪክ መስተጋብር እና ለታችኛው ማይክሮፋብሪኬሽን ተስማሚ የሆነ ዝቅተኛ የመቋቋም እና ወጥ የሆነ ወለል ይሰጣል።

ለምርምርም ሆነ ለሙከራ ደረጃ አፕሊኬሽኖች የተነደፉት እነዚህ ዋፈሮች በተለያዩ መጠኖች እና የመቋቋም አቅም ክልሎች ይገኛሉ፣ ለውፍረት፣ ለንጣፍ አይነት እና ለሽፋን ውቅር ተለዋዋጭ ማበጀት አላቸው።

ቁልፍ ባህሪያት

  • ጠንካራ ማጣበቂያ እና አስተማማኝነትየቲ ማያያዣ ንብርብር የፊልም መጣበቅን ከSi/SiO₂ ጋር ያሻሽላል እና የአያያዝ ጥንካሬን ያሻሽላል

  • ከፍተኛ የኮንዳክቲቭ ወለልየኩ ሽፋን ለግንኙነቶች እና ለሙከራ መዋቅሮች በጣም ጥሩ የኤሌክትሪክ አፈፃፀም ይሰጣል

  • ሰፊ የማበጀት ክልል: የዋፈር መጠን፣ የመቋቋም አቅም፣ አቀማመጥ፣ የንጣፍ ውፍረት እና የፊልም ውፍረት ሲጠየቁ ይገኛሉ

  • ለሂደት ዝግጁ የሆኑ ንጣፎች: ከተለመዱት የላብራቶሪ እና የፋብ የስራ ፍሰቶች (ሊቶግራፊ፣ ኤሌክትሮፕላቲንግ ግንባታ፣ ሜትሮሎጂ፣ ወዘተ) ጋር ተኳሃኝ

  • የቁሳቁስ ተከታታይ ይገኛልከቲ/ኩ በተጨማሪ፣ Au፣ Pt፣ Al፣ Ni፣ Ag በብረት የተሸፈኑ ዌፈርዎችንም እናቀርባለን

የተለመደው መዋቅር እና አቀማመጥ

  • ቁልል: የንዑስ ክፍል + የቲ ማጣበቂያ ንብርብር + የኩ ሽፋን ንብርብር

  • መደበኛ ሂደት: ማግኔትሮን ስፐተርቲንግ

  • አማራጭ ሂደቶችየሙቀት ትነት / ኤሌክትሮፕላቲንግ (ለወፍራም የኩ መስፈርቶች)

የኳርትዝ ብርጭቆ ሜካኒካል ባህሪያት

እቃ አማራጮች
የዋፈር መጠን 2", 4", 6", 8"፤ 10×10 ሚሜ፤ ብጁ የዳይስ መጠኖች
የኮንዳክቲቭነት አይነት ፒ-አይነት / ኤን-አይነት / ውስጣዊ ከፍተኛ-መቋቋም (Un)
አቅጣጫ <100>፣ <111>፣ ወዘተ.
የመቋቋም ችሎታ <0.0015 Ω · ሴሜ; 1-10 Ω · ሴሜ; > 1000-10000 Ω · ሴሜ
ውፍረት (µm) 2: 200/280/400/500; 4: 450/500/525; 6: 625/650/675; 8: 650/700/725/775; ብጁ
የንዑስ ክፍል ቁሳቁሶች ሲሊከን፤ አማራጭ ኳርትዝ፣ BF33 ብርጭቆ፣ ወዘተ.
የፊልም ውፍረት 10 nm / 50 nm / 100 nm / 150 nm / 300 nm / 500 nm / 1 µm (ሊበጅ የሚችል)
የብረት ፊልም አማራጮች ቲ/ኩ; እንዲሁም Au, Pt, Al, Ni, Ag ይገኛል

 

ቲ/ኩ በብረት የተሸፈነ የሲሊኮን ዋፈር (ቲታኒየም/መዳብ)4

አፕሊኬሽኖች

  • ኦሚክ እውቂያ እና አስተላላፊ ንጣፎችለመሳሪያ ምርምር እና ልማት እና ለኤሌክትሪክ ሙከራ

  • የዘር ንብርብሮች ለኤሌክትሮፕላቲንግ(RDL፣ የMEMS መዋቅሮች፣ ወፍራም የCU ክምችት)

  • የሶል-ጄል እና ናኖማቴሪያል የእድገት ንጣፎችለናኖ እና ቀጭን ፊልም ምርምር

  • ማይክሮስኮፒ እና የገጽታ መለኪያ(SEM/AFM/SPM የናሙና ዝግጅት እና መለኪያ)

  • ባዮ/ኬሚካል ገጽታዎችእንደ የሴል ባህል መድረኮች፣ ፕሮቲን/ዲኤንኤ ማይክሮአሬይ እና የሪፍሌክተሜትሪ ንጣፎች ያሉ

የሚጠየቁ ጥያቄዎች (Ti/C ብረት-የተሸፈኑ ሲሊከን ዋፈርስ)

ጥ 1፡ የቲ ንብርብር በኩ ሽፋን ስር ለምን ጥቅም ላይ ይውላል?
ሀ፡ ቲታኒየም እንደየማጣበቅ (የማጣበቅ) ንብርብርመዳብን ከንጣፉ ጋር ማያያዝን ያሻሽላል እና የበይነገጽ መረጋጋትን ያሻሽላል፣ ይህም በአያያዝ እና በማቀነባበር ወቅት የሚላጥ ወይም የሚጠፋውን ለመቀነስ ይረዳል።

ጥ2፡ የተለመደው የቲ/ኩ ውፍረት ውቅር ምንድነው?
ሀ፡ የተለመዱ ውህዶች የሚከተሉትን ያካትታሉTi: አስር nm (ለምሳሌ፣ 10–50 nm)እናኩ፡ 50–300 nmለተፈጨፉ ፊልሞች። ወፍራም የኩ ንብርብሮች (µm-ደረጃ) ብዙውን ጊዜ የሚከናወኑት በበተረጨ የኩ ዘር ሽፋን ላይ ኤሌክትሮፕላቲንግ, እንደ ማመልከቻዎ ይወሰናል።

ጥ 3፡ የዋፈርን ሁለቱንም ጎኖች መቀባት ትችላለህ?
መ፡ አዎ።ባለ አንድ ጎን ወይም ባለ ሁለት ጎን ሽፋንሲጠየቅ ይገኛል። እባክዎን ሲያዝዙ ፍላጎትዎን ይግለጹ።

ስለ እኛ

XKH በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ልማት፣ ምርት እና ልዩ የኦፕቲካል መስታወት እና አዳዲስ ክሪስታል ቁሳቁሶችን ሽያጭ ላይ ያተኩራል። ምርቶቻችን የኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ፣ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ እና ወታደራዊ አገልግሎት ይሰጣሉ። የሳፋየር ኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የሞባይል ስልክ ሌንስ ሽፋኖችን፣ ሴራሚክስን፣ ኤልቲ፣ ሲሊከን ካርባይድ ሲአይሲ፣ ኳርትዝ እና ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል ዋፈርስን እናቀርባለን። በሙያዊ እውቀት እና ዘመናዊ መሳሪያዎች፣ መደበኛ ባልሆነ የምርት ማቀነባበሪያ ውስጥ የላቀ ችሎታ አለን፣ እናም ግንባር ቀደም የኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቁሶች ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ድርጅት ለመሆን እንጥራለን።

d281cc2b-ce7c-4877-ac57-1ed41e119918

  • ቀዳሚ፡
  • ቀጣይ፡

  • መልእክትዎን እዚህ ይፃፉ እና ይላኩልን