እጅግ በጣም ትክክለኛ የሲሲ አየር ተሸካሚ ደረጃ

አጭር መግለጫ፡

የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ቀጣይነት ባለው ዝግመተ ለውጥ፣ የማቀነባበሪያ እና የፍተሻ መሳሪያዎች ከመቼውም ጊዜ በበለጠ ከፍተኛ አፈፃፀም ይፈልጋሉ። በእንቅስቃሴ ቁጥጥር እና በናኖሜትር ደረጃ አቀማመጥ ሰፊ እውቀት ላይ በመመስረት፣ ፕላነር ኤች-አይነት ባለሁለት ዘንግ እጅግ በጣም ትክክለኛ የአየር ተሸካሚ ደረጃ አዘጋጅተናል።

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

ዝርዝር ዲያግራም

አጠቃላይ እይታ

በውስን-ኤለመንት-የተመቻቸ የሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) የሴራሚክ መዋቅር እና በተከፈለ የአየር ተሸካሚ ቴክኖሎጂ የተገነባው መድረክ እጅግ በጣም ጥሩ ትክክለኛነት፣ ጥንካሬ እና ተለዋዋጭ ምላሽ ይሰጣል። ለሚከተሉት ተስማሚ ነው፦

የሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ እና ምርመራ
ማይክሮ/ናኖ ማምረቻ እና ሜትሮሎጂ
የናኖሜትር መለኪያ የዝንብ መቁረጥ እና ማጥራት
ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ትክክለኛ ቅኝት

ቁልፍ ባህሪያት

የሲሲ አየር ተሸካሚ መመሪያለከፍተኛ ጥንካሬ እና ትክክለኛነት
ከፍተኛ ተለዋዋጭነት፦ እስከ 1 ሜ/ሰ የሚደርስ ፍጥነት፣ እስከ 4 ግራም የሚደርስ ፍጥነት፣ ፈጣን መረጋጋት
ባለሁለት ድራይቭ ጋንትሪ Y-ዘንግከፍተኛ የመሸከም አቅም እና መረጋጋትን ያረጋግጣል
የኢንኮደር አማራጮችየኦፕቲካል ፍርግርግ ወይም የሌዘር ኢንተርፌሮሜትር
የአቀማመጥ ትክክለኛነት: ±0.15 μm;ተደጋጋሚነት: ±75 nm
የተመቻቸ የኬብል መስመርለንፁህ ዲዛይን እና ለረጅም ጊዜ አስተማማኝነት
ሊበጁ የሚችሉ ውቅሮችለመተግበሪያ-ተኮር ፍላጎቶች

እጅግ በጣም ትክክለኛ ዲዛይን እና ቀጥተኛ ድራይቭ፣ እውቂያ-አልባ አርክቴክቸር

የሲሲ ሴራሚክ ፍሬም: ~5× የአሉሚኒየም ቅይጥ ጥንካሬ እና ~5× ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት፣ ከፍተኛ ፍጥነት ያለው መረጋጋት እና የሙቀት ጥንካሬን ያረጋግጣል።
የተካካሰ የአየር ተሸካሚየባለቤትነት ዲዛይን ጥንካሬን፣ የጭነት አቅምን እና የእንቅስቃሴ መረጋጋትን ያሻሽላል።
ተለዋዋጭ አፈጻጸም፦ ለከፍተኛ-ውጤት ሂደቶች ተስማሚ የሆነ የ1 ሜ/ሰ ፍጥነት እና የ4 ግራም ፍጥነትን ይደግፋል።
እንከን የለሽ ውህደት፦ ከንዝረት ማግለያ ስርዓቶች፣ ከ rotary stages፣ ከማዘንበል ሞጁሎች እና ከ wafer handling platforms ጋር ተኳሃኝ።
የኬብል አስተዳደር: ቁጥጥር የሚደረግበት የታጠፈ ራዲየስ ለተራዘመ የአገልግሎት ዘመን ጭንቀትን ይቀንሳል።

ኮርለስ ሊኒየር ሞተር: ዜሮ የማገጃ ኃይል ያለው ለስላሳ እንቅስቃሴ።
ባለብዙ ሞተር ድራይቭ: የጭነት-ፕላን ሞተር አቀማመጥ ቀጥ ያለነትን፣ ጠፍጣፋነትን እና አንግል ትክክለኛነትን ያሻሽላል።
የሙቀት ማግለል፦ ሞተሮች ከመድረክ አወቃቀሩ ተነጥለው ይገኛሉ፤ ለከፍተኛ ተግባር ዑደቶች አማራጭ የአየር ወይም የውሃ ማቀዝቀዣ።

ዝርዝር መግለጫዎች

ሞዴል	400-400	500-500	600-600
አክሰስ	X (ስካን) / Y (ደረጃ)	X (ስካን) / Y (ደረጃ)	X (ስካን) / Y (ደረጃ)
ጉዞ (ሚሜ)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
ትክክለኛነት (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
ተደጋጋሚነት (nm)	±75	±100	±100
ጥራት (nm)	0.3	0.3	0.3
ከፍተኛ ፍጥነት (ሜ/ሰ)	1	1	1
ማጣደፍ (ግ)	4	4	4
ቀጥተኛነት (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
መረጋጋት (nm)	±5	±5	±5
ከፍተኛ ጭነት (ኪ.ግ)	20	20	20
ፒች/ሮል/ያው (አርክ-ሰከንድ)	±1	±1	±1

የሙከራ ሁኔታዎች፡

የአየር አቅርቦት፡ ንፁህ፣ ደረቅ፤ የጤዛ ነጥብ ≤ 0°ፋ፤ የቅንጣት ማጣሪያ ≤ 0.25 μm፤ ወይም 99.99% ናይትሮጅን።
ትክክለኛነት የሚለካው ከመድረክ መሃል በላይ 25 ሚሜ በ20±1°ሴ፣ 40–60% RH ላይ ነው።

አፕሊኬሽኖች

የሴሚኮንዳክተር ሊቶግራፊ፣ ኢንስፔክሽን እና ዋፈር አያያዝ
ማይክሮ/ናኖ ማምረቻ እና ትክክለኛ ሜትሮሎጂ
ከፍተኛ ደረጃ ያለው የኦፕቲክስ ማምረቻ እና ኢንተርፌሮሜትሪ
ኤሮስፔስ እና የላቀ ሳይንሳዊ ምርምር

ተደጋጋሚ ጥያቄዎች - የሲሊኮን ካርቦይድ አየር-መሸከም ደረጃ

1. የአየር ተሸካሚ መድረክ ምንድን ነው?

የአየር ተሸካሚ መድረክ በደረጃው እና በመሪ መንገዱ መካከል ቀጭን የተጫነ አየር ፊልም ይጠቀማልግጭት የሌለበት፣ የማይለብስ እና እጅግ በጣም ለስላሳ እንቅስቃሴ. ከተለምዷዊ ሜካኒካል ቢራዎች በተለየ መልኩ፣ የዱላ መንሸራተትን ያስወግዳል፣ የናኖሜትር ደረጃ ትክክለኛነትን ይሰጣል፣ እና የረጅም ጊዜ አስተማማኝነትን ይደግፋል።

2. ለመድረክ መዋቅር ሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) ለምን ጥቅም ላይ ይውላል?

ከፍተኛ ግትርነት: ~5× የአሉሚኒየም ቅይጥ፣ በተለዋዋጭ እንቅስቃሴ ወቅት መበላሸትን ይቀንሳል።
ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት: ከአሉሚኒየም ~ 5× ያነሰ፣ በሙቀት ልዩነቶች ስር ትክክለኛነትን ይጠብቃል።
ቀላል ክብደት: ከብረት ጋር ሲነጻጸር ዝቅተኛ ጥግግት፣ ይህም ከፍተኛ ፍጥነት እና ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ስራን ያስችላል።
እጅግ በጣም ጥሩ መረጋጋት: እጅግ በጣም ትክክለኛ አቀማመጥን ለማግኘት የላቀ እርጥበት ማድረቅ እና ግትርነት።

3. ደረጃው ቅባት ወይም ጥገና ያስፈልገዋል?

ባህላዊ ቅባት አያስፈልግም ምክንያቱምምንም ሜካኒካዊ ግንኙነት የለምየሚመከር ጥገና የሚከተሉትን ያካትታል፦

አቅርቦትንጹህ፣ ደረቅ የተጨመቀ አየር ወይም ናይትሮጅን
የማጣሪያዎችን እና የማድረቂያዎችን ወቅታዊ ምርመራ
የክትትል ኬብሎች እና የማቀዝቀዣ ስርዓቶች

4. የአየር አቅርቦት መስፈርቶች ምንድን ናቸው?

የጤዛ ነጥብ፡ ≤ 0 °ፋ (≈ –18 °ሴ)
የቅንጣት ማጣሪያ፡ ≤ 0.25 μm
ንፁህ፣ ደረቅ አየር ወይም 99.99% ንፁህ ናይትሮጅን
ዝቅተኛ ተለዋዋጭነት ያለው የተረጋጋ ግፊት

ስለ እኛ

XKH በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ልማት፣ ምርት እና ልዩ የኦፕቲካል መስታወት እና አዳዲስ ክሪስታል ቁሳቁሶችን ሽያጭ ላይ ያተኩራል። ምርቶቻችን የኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ፣ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ እና ወታደራዊ አገልግሎት ይሰጣሉ። የሳፋየር ኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የሞባይል ስልክ ሌንስ ሽፋኖችን፣ ሴራሚክስን፣ ኤልቲ፣ ሲሊከን ካርባይድ ሲአይሲ፣ ኳርትዝ እና ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል ዋፈርስን እናቀርባለን። በሙያዊ እውቀት እና ዘመናዊ መሳሪያዎች፣ መደበኛ ባልሆነ የምርት ማቀነባበሪያ ውስጥ የላቀ ችሎታ አለን፣ እናም ግንባር ቀደም የኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቁሶች ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ድርጅት ለመሆን እንጥራለን።