የክሪስታል አቅጣጫ መለኪያ የዋፈር አቅጣጫ ስርዓት

የክሪስታል አቅጣጫ መለኪያ የዋፈር አቀማመጥ ስርዓት ተለይቶ የቀረበ ምስል

አጭር መግለጫ፡

የዋፈር አቅጣጫ መሳሪያ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ እና የቁሳቁስ ሳይንስ ሂደቶችን በክሪስታሎግራፊክ አቅጣጫዎችን በመወሰን ለማመቻቸት የኤክስሬይ ዲፍራክሽን መርሆዎችን የሚጠቀም ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው መሳሪያ ነው። ዋና ክፍሎቹ የኤክስሬይ ምንጭ (ለምሳሌ፣ Cu-Kα፣ 0.154 nm የሞገድ ርዝመት)፣ ትክክለኛ ጎኒሜትር (አንግል ጥራት ≤0.001°) እና መመርመሪያዎችን (CCD ወይም የስካንዲኔሽን ቆጣሪዎች) ያካትታሉ። ናሙናዎችን በማዞር እና የዲፍራክሽን ቅጦችን በመተንተን፣ የክሪስታሎግራፊክ ኢንዴክሶችን (ለምሳሌ፣ 100፣ 111) እና የላቲስ ክፍተትን በ±30 አርክሰኮንድ ትክክለኛነት ያሰላል። ስርዓቱ አውቶማቲክ ስራዎችን፣ የቫክዩም ጥገናን እና ባለብዙ-ዘንግ ሽክርክሪትን ይደግፋል፣ ይህም የዋፈር ጠርዞችን፣ የማጣቀሻ አውሮፕላኖችን እና የኤፒታክሲያል ንብርብር አሰላለፍን በፍጥነት ለመለካት ከ2-8 ኢንች ዋፈርዎች ጋር ተኳሃኝ ነው። ቁልፍ አፕሊኬሽኖች መቁረጥ-ተኮር የሲሊኮን ካርቦይድ፣ ሰንፔር ዋፈርስ እና የተርባይን ምላጭ ከፍተኛ የሙቀት አፈጻጸም ማረጋገጫን ያካትታሉ፣ ይህም የቺፕ ኤሌክትሪክ ባህሪያትን እና ምርትን በቀጥታ ያሻሽላል።

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

የመሳሪያዎች መግቢያ

የዋፈር አቅጣጫዊ መሳሪያዎች በኤክስሬይ ዲፍራክሽን (XRD) መርሆዎች ላይ የተመሰረቱ ትክክለኛ መሳሪያዎች ሲሆኑ በዋናነት በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ፣ በኦፕቲካል ቁሶች፣ በሴራሚክስ እና በሌሎች ክሪስታላይን ቁሶች ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ።

እነዚህ መሳሪያዎች የክሪስታል ጥልፍልፍ አቀማመጥን የሚወስኑ እና ትክክለኛ የመቁረጥ ወይም የማጥራት ሂደቶችን የሚመሩ ናቸው። ቁልፍ ባህሪያት የሚከተሉትን ያካትታሉ፡

ከፍተኛ ትክክለኛነት መለኪያዎች;እስከ 0.001° የሚደርሱ አንግል ጥራቶችን ያላቸውን ክሪስታሎግራፊክ ፕላኖችን መፍታት የሚችል።
ትልቅ የናሙና ተኳሃኝነት፡እስከ 450 ሚሊ ሜትር ዲያሜትር እና 30 ኪ.ግ ክብደት ያላቸውን ዋፈርዎች ይደግፋል፣ እንደ ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ)፣ ሰንፔር እና ሲሊከን (ሲ) ላሉ ቁሳቁሶች ተስማሚ ነው።
ሞዱላር ዲዛይን;ሊሰፉ የሚችሉ ተግባራት የሚወዛወዙ ኩርባ ትንተና፣ የ3-ልኬት ወለል ጉድለት ካርታ ስራ እና ለብዙ ናሙና ማቀነባበሪያ የሚሆኑ የመደርደሪያ መሳሪያዎችን ያካትታሉ።

ቁልፍ የቴክኒክ መለኪያዎች

የመለኪያ ምድብ	የተለመዱ እሴቶች/ውቅር
የኤክስሬይ ምንጭ	Cu-Kα (0.4×1 ሚሜ ፎካል ስፖት)፣ 30 ኪ.ቮ የፍጥነት ቮልቴጅ፣ 0–5 mA የሚስተካከል የቱቦ ጅረት
የማዕዘን ክልል	θ: -10° እስከ +50°፤ 2θ: -10° እስከ +100°
ትክክለኛነት	የማዘንበል አንግል ጥራት፡ 0.001°፣ የገጽታ ጉድለት ማወቂያ፡ ±30 አርክሴኮንድ (የሚንቀጠቀጥ ኩርባ)
የቃኝ ፍጥነት	የኦሜጋ ቅኝት ሙሉውን የላቲስ አቅጣጫ በ5 ሰከንዶች ውስጥ ያጠናቅቃል፤ የቴታ ቅኝት ~ 1 ደቂቃ ይወስዳል
የናሙና ደረጃ	ቪ-ግሩቭ፣ የአየር ግፊት መምጠጥ፣ ባለብዙ አንግል ሽክርክር፣ ከ2-8 ኢንች ዋፈርዎች ጋር ተኳሃኝ
ሊሰፉ የሚችሉ ተግባራት	የሮኪንግ ኩርባ ትንተና፣ 3D ካርታ ስራ፣ የመደርደሪያ መሳሪያ፣ የኦፕቲካል ጉድለት ማወቂያ (ጭረቶች፣ GBs)

የአሠራር መርህ

1. የኤክስሬይ ዲፍራክሽን ፋውንዴሽን

ኤክስሬይ በክሪስታል ጥልፍልፍ ውስጥ ከአቶሚክ ኒውክሊየስ እና ኤሌክትሮኖች ጋር ይገናኛል፣ ይህም የዲፍራክሽን ቅጦችን ይፈጥራል። የብራግ ህግ (nλ = 2d sinθ) በዲፍራክሽን ማዕዘኖች (θ) እና በላቲስ ክፍተት (d) መካከል ያለውን ግንኙነት ያስተዳድራል።
መመርመሪያዎች እነዚህን ቅጦች ይይዛሉ፣ እነዚህም ክሪስታሎግራፊክ አወቃቀሩን እንደገና ለመገንባት የተተነተኑ ናቸው።

2. የኦሜጋ ቅኝት ቴክኖሎጂ

ክሪስታሉ ያለማቋረጥ በቋሚ ዘንግ ዙሪያ ይሽከረከራል፣ ኤክስሬይ ደግሞ ያበራል።
መመርመሪያዎች በበርካታ ክሪስታሎግራፊክ ፕላኖች ላይ የዲፍራክሽን ምልክቶችን ይሰበስባሉ፣ ይህም ሙሉ የላቲስ አቅጣጫ በ5 ሰከንዶች ውስጥ እንዲወሰን ያስችለዋል።

3. የሮኪንግ ኩርባ ትንተና

የጫፍ ስፋትን (FWHM) ለመለካት፣ የላቲስ ጉድለቶችን እና ውጥረትን ለመገምገም የተለያዩ የኤክስሬይ መከሰት ማዕዘኖች ያሉት ቋሚ ክሪስታል አንግል።

4. አውቶማቲክ ቁጥጥር

የPLC እና የንክኪ ማያ ገጽ በይነገጾች አስቀድሞ የተቆረጡ ማዕዘኖችን፣ በእውነተኛ ጊዜ ግብረመልስን እና ለዝግ-ሉፕ ቁጥጥር ከመቁረጫ ማሽኖች ጋር ውህደትን ያስችላሉ።

ጥቅሞች እና ባህሪያት

1. ትክክለኛነት እና ቅልጥፍና

የማዕዘን ትክክለኛነት ±0.001°፣ የጉድለት መፈለጊያ ጥራት <30 ቅስት ሰከንዶች።
የኦሜጋ ቅኝት ፍጥነት ከባህላዊው የቴታ ቅኝቶች 200× ፈጣን ነው።

2. ሞዱላሪቲ እና ስፋት

ለልዩ አፕሊኬሽኖች (ለምሳሌ፣ የሲሲ ዋፈርስ፣ የተርባይን ምላጭ) ሊሰፋ የሚችል።
በእውነተኛ ጊዜ የምርት ክትትል ለማድረግ ከ MES ስርዓቶች ጋር ይዋሃዳል።

3. ተኳሃኝነት እና መረጋጋት

መደበኛ ያልሆነ ቅርጽ ያላቸውን ናሙናዎች (ለምሳሌ፣ የተሰነጣጠቁ የሰፔር ጥፍሮች) ያስተናግዳል።
የአየር ማቀዝቀዣ ዲዛይን የጥገና ፍላጎቶችን ይቀንሳል።

4. ብልህ አሠራር

የአንድ-ጠቅታ መለኪያ እና ባለብዙ ተግባር ሂደት።
የሰውን ስህተት ለመቀነስ ከማጣቀሻ ክሪስታሎች ጋር በራስ-ሰር ማስተካከል።

አፕሊኬሽኖች

1. ሴሚኮንዳክተር ማኑፋክቸሪንግ

የዋፈር መቆራረጥ አቅጣጫ፡- ለተመቻቸ የመቁረጥ ውጤታማነት የ Si፣ SiC፣ GaN ዋፈር አቅጣጫዎችን ይወስናል።
የጉድለት ካርታ፡ የቺፕ ምርትን ለማሻሻል የወለል ጭረቶችን ወይም መሰናክሎችን ይለያል።

2. የኦፕቲካል ቁሳቁሶች

ለሌዘር መሳሪያዎች መስመራዊ ያልሆኑ ክሪስታሎች (ለምሳሌ፣ LBO፣ BBO)።
ለ LED ንጣፎች የሳፋየር ዋፈር ማጣቀሻ ወለል ምልክት።

3. ሴራሚክስ እና ኮምፖዚትስ

ለከፍተኛ ሙቀት አፕሊኬሽኖች በSi3N4 እና ZrO2 ውስጥ የእህል አቅጣጫን ይተነትናል።

4. የምርምር እና የጥራት ቁጥጥር

ለአዳዲስ የቁሳቁስ ልማት ዩኒቨርሲቲዎች/ላቦራቶሪዎች (ለምሳሌ፣ ከፍተኛ-ኢንትሮፒ ቅይጥ)።
የኢንዱስትሪ QC የቡድን ወጥነትን ለማረጋገጥ።

የXKH አገልግሎቶች

XKH ለዋፈር አቅጣጫዊ መሳሪያዎች አጠቃላይ የህይወት ዑደት ቴክኒካል ድጋፍ ይሰጣል፣ ይህም መትከልን፣ የሂደት መለኪያ ማመቻቸትን፣ የሮኪንግ ኩርባ ትንተናን እና የ3-ልኬት ወለል ጉድለት ካርታ ስራን ያካትታል። የሴሚኮንዳክተር እና የኦፕቲካል ቁስ ምርት ቅልጥፍናን ከ30% በላይ ለማሳደግ የተበጁ መፍትሄዎች (ለምሳሌ የኢንጎት ስታክሊንግ ቴክኖሎጂ) ይሰጣሉ። አንድ ቁርጠኛ ቡድን በቦታው ላይ ስልጠና ያካሂዳል፣ 24/7 የርቀት ድጋፍ እና ፈጣን የመለዋወጫ ክፍል መተካት የመሳሪያዎችን አስተማማኝነት ያረጋግጣሉ።

ቀዳሚ፡ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም የሚችል ለዋፈር ተሸካሚ የሲሲ ሴራሚክ ትሪ

ቀጣይ፡ ለጌጣጌጥ ማምረቻ የተፈጠረ ቢጫ ሰንፔር ጥሬ እቃ ላብራቶሪ