ለክሪስታል አቀማመጥ መለኪያ የዋፈር አቀማመጥ ስርዓት

የዋፈር አቀማመጥ ስርዓት ለክሪስታል አቀማመጥ መለኪያ ተለይቶ የቀረበ ምስል

አጭር መግለጫ፡-

የዋፈር አቅጣጫ መሳሪያ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ እና የቁሳቁስ ሳይንስ ሂደቶችን ክሪስታሎግራፊክ አቅጣጫዎችን በመወሰን የኤክስሬይ ልዩነት መርሆዎችን በመጠቀም ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው መሳሪያ ነው። የእሱ ዋና ክፍሎች የኤክስሬይ ምንጭ (ለምሳሌ፣ Cu-KA፣ 0.154 nm የሞገድ ርዝመት)፣ ትክክለኛ ጂኖሜትር (ማዕዘን ጥራት ≤0.001°) እና ጠቋሚዎች (CCD ወይም scintillation counters) ያካትታሉ። ናሙናዎችን በማዞር እና የዲፍራክሽን ንድፎችን በመተንተን ክሪስታሎግራፊክ ኢንዴክሶችን (ለምሳሌ፡ 100፣ 111) እና የጥልፍ ክፍተት በ± 30 አርሴኮንድ ትክክለኛነት ያሰላል። ስርዓቱ ከ2-8-ኢንች ዋይፋሪዎች የዋፈር ጠርዞችን፣ የማጣቀሻ አውሮፕላኖችን እና የኤፒታክሲያል ንብርብር አሰላለፍን ለመለካት አውቶማቲክ ስራዎችን፣ የቫኩም ማስተካከል እና ባለብዙ ዘንግ ማሽከርከርን ይደግፋል። ቁልፍ አፕሊኬሽኖች መቁረጫ ተኮር የሲሊኮን ካርቦይድ፣ ሳፋይር ዋፈርስ እና ተርባይን ምላጭ ከፍተኛ ሙቀት ያለው አፈጻጸም ማረጋገጥን፣ ቺፕ የኤሌክትሪክ ንብረቶችን እና ምርትን በቀጥታ ማሻሻልን ያካትታሉ።

ኢሜይል ይላኩልን።

ባህሪያት

የመሳሪያዎች መግቢያ

የዋፈር አቅጣጫ መሳሪያዎች በኤክስ ሬይ ልዩነት (XRD) መርሆዎች ላይ የተመሰረቱ ትክክለኛ መሣሪያዎች ናቸው፣ በዋነኝነት በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ፣ ኦፕቲካል ቁሶች፣ ሴራሚክስ እና ሌሎች ክሪስታል ቁስ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ።

እነዚህ መሳሪያዎች የክሪስታል ጥልፍልፍ አቅጣጫን ይወስናሉ እና በትክክል የመቁረጥ ወይም የማጥራት ሂደቶችን ይመራሉ. ቁልፍ ባህሪያት የሚከተሉትን ያካትታሉ:

ከፍተኛ ትክክለኛነት መለኪያዎች;ክሪስታሎግራፊክ አውሮፕላኖችን በማእዘን ጥራቶች እስከ 0.001°የመፍታት ችሎታ።
ትልቅ ናሙና ተኳኋኝነት;እስከ 450 ሚሊ ሜትር የሆነ ዲያሜትር እና 30 ኪሎ ግራም የሚመዝኑ ዋፍሮችን ይደግፋል፣ እንደ ሲሊከን ካርቦዳይድ (ሲሲ)፣ ሰንፔር እና ሲሊከን (ሲ) ላሉ ቁሳቁሶች ተስማሚ።
ሞዱል ንድፍ;ሊሰፋ የሚችሉ ተግባራት የድንጋጤ ኩርባ ትንተና፣ የ3-ል ገጽ ጉድለት ካርታ ስራ እና ለብዙ ናሙና ማቀነባበሪያ መሳሪያዎች መደራረብ ያካትታሉ።

ቁልፍ የቴክኒክ መለኪያዎች

የመለኪያ ምድብ	የተለመዱ እሴቶች / ውቅር
የኤክስሬይ ምንጭ	Cu-Kα (0.4×1 ሚሜ የትኩረት ቦታ)፣ 30 ኪሎ ቮልት የሚያፋጥን፣ 0-5 mA የሚስተካከለው ቱቦ ወቅታዊ
የማዕዘን ክልል	θ: -10 ° እስከ +50 °; 2θ: -10° እስከ +100°
ትክክለኛነት	የማዘንበል አንግል ጥራት፡ 0.001°፣ የገጽታ ጉድለት መለየት፡ ± 30 አርሴኮንዶች (የሚንቀጠቀጥ ኩርባ)
የፍተሻ ፍጥነት	ኦሜጋ ቅኝት በ 5 ሰከንድ ውስጥ ሙሉ የላቲስ አቅጣጫን ያጠናቅቃል; የቲታ ቅኝት ~ 1 ደቂቃ ይወስዳል
የናሙና ደረጃ	V-groove፣ pneumatic suction፣ባለብዙ ማዕዘን መሽከርከር፣ ከ2-8-ኢንች ዋይፋሮች ጋር ተኳሃኝ
ሊሰፋ የሚችል ተግባራት	የሚወዛወዝ ከርቭ ትንተና፣ የ3-ል ካርታ ስራ፣ መደራረብ መሳሪያ፣ የጨረር ጉድለት ማወቅ (ጭረቶች፣ ጂቢዎች)

የሥራ መርህ

1. የኤክስሬይ ዲፍራክሽን ፋውንዴሽን

ኤክስሬይ ከአቶሚክ ኒውክሊየሮች እና ኤሌክትሮኖች ጋር በ ክሪስታል ጥልፍልፍ ውስጥ ይገናኛሉ፣ የዲፍራክሽን ንድፎችን ያመነጫሉ። የብራግ ሕግ ( nλ = 2d sinθ) በልዩነት ማዕዘኖች (θ) እና በከላቲስ ክፍተት (መ) መካከል ያለውን ግንኙነት ይቆጣጠራል።
ፈላጊዎች እነዚህን ንድፎች ይይዛሉ, እነዚህም ክሪስታሎግራፊክ መዋቅርን እንደገና ለመገንባት የተተነተኑ ናቸው.

2. ኦሜጋ ቅኝት ቴክኖሎጂ

ክሪስታል በቋሚ ዘንግ ዙሪያ ያለማቋረጥ ይሽከረከራል ፣ ራጅ ያበራዋል።
ፈላጊዎች በተለያዩ ክሪስታሎግራፊክ አውሮፕላኖች ላይ የዲፍራክሽን ምልክቶችን ይሰበስባሉ፣ ይህም በ 5 ሰከንድ ውስጥ የሙሉ ጥልፍልፍ አቅጣጫን መወሰን ያስችላል።

3. የሮኪንግ ኩርባ ትንተና

የከፍታ ስፋትን (FWHM) ለመለካት ከተለያዩ የኤክስሬይ ክስተት አንግሎች ጋር ቋሚ ክሪስታል አንግል፣ የላቲስ ጉድለቶችን እና ውጥረቶችን ይገመግማል።

4. ራስ-ሰር ቁጥጥር

PLC እና የንክኪ ስክሪን በይነገጾች ቅድመ-ቅምጥ የመቁረጫ ማዕዘኖችን፣ የእውነተኛ ጊዜ ግብረ መልስ እና ከቁንጮ ማሽኖች ጋር ለዝግ ዑደት ቁጥጥር ያነቃሉ።

ጥቅሞች እና ባህሪዎች

1. ትክክለኛነት እና ውጤታማነት

የማዕዘን ትክክለኛነት ± 0.001 ° ፣ ጉድለትን የመለየት ጥራት <30 አርሴኮንዶች።
የኦሜጋ ቅኝት ፍጥነት ከባህላዊ የቴታ ስካን 200× ፈጣን ነው።

2. ሞዱላሪቲ እና ልኬት

ለልዩ አፕሊኬሽኖች ሊሰፋ የሚችል (ለምሳሌ፣ SiC wafers፣ turbine blades)።
ለእውነተኛ ጊዜ የምርት ክትትል ከ MES ስርዓቶች ጋር ይዋሃዳል።

3. ተኳኋኝነት እና መረጋጋት

መደበኛ ያልሆነ ቅርጽ ያላቸውን ናሙናዎች (ለምሳሌ የተሰነጠቀ ሰንፔር ኢንጎትስ) ያስተናግዳል።
የአየር ማቀዝቀዣ ንድፍ የጥገና ፍላጎቶችን ይቀንሳል.

4. የማሰብ ችሎታ ያለው አሠራር

አንድ-ጠቅታ መለኪያ እና ባለብዙ ተግባር ሂደት።
የሰው ስህተትን ለመቀነስ ከማጣቀሻ ክሪስታሎች ጋር በራስ-ሰር ማስተካከል።

መተግበሪያዎች

1. ሴሚኮንዳክተር ማምረት

Wafer dicing orientation፡ Si፣ SiC፣ GaN ዋፈር አቅጣጫዎችን ለተመቻቸ የመቁረጥ ቅልጥፍና ይወስናል።
ጉድለት የካርታ ስራ፡ የቺፕ ምርትን ለማሻሻል የወለል ንጣፎችን ወይም መዘበራረቆችን ይለያል።

2. የኦፕቲካል ቁሶች

ለሌዘር መሳሪያዎች የመስመር ላይ ያልሆኑ ክሪስታሎች (ለምሳሌ፣ LBO፣ BBO)።
ለ LED substrates ሰንፔር ዋፈር የማጣቀሻ ወለል ምልክት ማድረግ።

3. ሴራሚክስ እና ውህዶች

ለከፍተኛ ሙቀት አፕሊኬሽኖች በ Si3N4 እና ZrO2 ውስጥ የእህል አቅጣጫን ይመረምራል።

4. ምርምር እና የጥራት ቁጥጥር

ዩኒቨርስቲዎች/ላብራቶሪዎች ለአዳዲስ ቁሳዊ ልማት (ለምሳሌ፡ ከፍተኛ ኢንትሮፒ ውህዶች)።
የምርት ወጥነት ለማረጋገጥ የኢንዱስትሪ QC።

የ XKH አገልግሎቶች

XKH የመጫኛ፣ የሂደት መለኪያ ማመቻቸት፣ የሮክ ከርቭ ትንተና እና የ3-ል ገጽ ጉድለት ካርታን ጨምሮ አጠቃላይ የህይወት ኡደት የቴክኒክ ድጋፍን ለዋፈር አቅጣጫ መሳሪያዎች ያቀርባል። ሴሚኮንዳክተር እና የጨረር ማቴሪያል ምርት ውጤታማነትን ከ30% በላይ ለማሳደግ የተጣጣሙ መፍትሄዎች (ለምሳሌ፣ ingot stacking ቴክኖሎጂ) ቀርበዋል። ራሱን የቻለ ቡድን በቦታው ላይ ስልጠና ያካሂዳል, 24/7 የርቀት ድጋፍ እና ፈጣን መለዋወጫ መተካት የመሳሪያውን አስተማማኝነት ያረጋግጣል.

ቀዳሚ፡ የሲሲ ሴራሚክ ትሪ ለዋፈር ተሸካሚ ከከፍተኛ ሙቀት መቋቋም ጋር

ቀጣይ፡- ቢጫ ሰንፔር ጥሬ ዕቃ ላብራቶሪ-ለጌጣጌጥ ማምረቻ የተፈጠረ