12ኢንች ሙሉ በሙሉ አውቶማቲክ ትክክለኛነትን Dicing በመጋዝ መሳሪያ Wafer Dedicated Cutting System for Si/SiC & HBM (Al)
ቴክኒካዊ መለኪያዎች
| መለኪያ | ዝርዝር መግለጫ |
| የሥራ መጠን | Φ8"፣ Φ12" |
| ስፒል | ባለሁለት ዘንግ 1.2/1.8/2.4/3.0፣ ከፍተኛ 60000 ሩብ ደቂቃ |
| የቢላ መጠን | 2" ~ 3" |
| Y1 / Y2 ዘንግ
| ነጠላ-ደረጃ ጭማሪ: 0.0001 ሚሜ |
| የአቀማመጥ ትክክለኛነት፡ <0.002 ሚሜ | |
| የመቁረጥ ክልል: 310 ሚሜ | |
| X ዘንግ | የምግብ ፍጥነት ክልል: 0.1-600 ሚሜ / ሰ |
| Z1 / Z2 ዘንግ
| ነጠላ-ደረጃ ጭማሪ: 0.0001 ሚሜ |
| የአቀማመጥ ትክክለኛነት: ≤ 0.001 ሚሜ | |
| θ ዘንግ | የአቀማመጥ ትክክለኛነት፡ ± 15" |
| የጽዳት ጣቢያ
| የማሽከርከር ፍጥነት: 100-3000 ሩብ |
| የጽዳት ዘዴ፡- በራስ-ሰር ማጠብ እና ማድረቅ | |
| ኦፕሬቲንግ ቮልቴጅ | ባለ3-ደረጃ 380V 50Hz |
| ልኬቶች (W×D×H) | 1550×1255×1880 ሚ.ሜ |
| ክብደት | 2100 ኪ.ግ |
የሥራ መርህ
መሳሪያዎቹ በሚከተሉት ቴክኖሎጂዎች አማካኝነት ከፍተኛ ትክክለኛነትን ያገኛሉ.
1.High-Rigidity Spindle System: የማዞሪያ ፍጥነት እስከ 60,000 RPM, የአልማዝ ቢላዎች ወይም የሌዘር መቁረጫ ራሶች ከተለያዩ የቁስ ባህሪያት ጋር ለመላመድ.
2.Multi-Axis Motion Control: የ X / Y / Z-ዘንግ አቀማመጥ ትክክለኛነት ± 1μm, ከከፍተኛ-ትክክለኛ ፍርግርግ ሚዛኖች ጋር በማጣመር ከተለያየ-ነጻ የመቁረጥ መንገዶችን ለማረጋገጥ.
3.Intelligent Visual Alignment፡ ባለ ከፍተኛ ጥራት ሲሲዲ (5 ሜጋፒክስል) የመቁረጫ መንገዶችን በራስ-ሰር ይገነዘባል እና ለቁሳዊ መጨናነቅ ወይም አለመገጣጠም ማካካሻ ይሆናል።
4.Cooling & Dust Removal: የተቀናጀ ንጹህ ውሃ የማቀዝቀዝ ስርዓት እና የቫኩም መሳብ አቧራ ማስወገድ የሙቀት ተፅእኖን እና የንጥረትን ብክለትን ለመቀነስ.
የመቁረጥ ሁነታዎች
1.Blade Dicing: እንደ Si እና GaAs ላሉ ባህላዊ ሴሚኮንዳክተር ቁሶች ተስማሚ፣ ከ50-100μm የከርፍ ስፋቶች።
2.Stealth Laser Dicing፡- ከጭንቀት ነጻ የሆነ መለያየትን ለማንቃት ለአልትራ ስስ ዋይፋሪዎች (<100μm) ወይም ተሰባሪ ቁሶች (ለምሳሌ LT/LN) ጥቅም ላይ ይውላል።
የተለመዱ መተግበሪያዎች
| ተስማሚ ቁሳቁስ | የመተግበሪያ መስክ | የማስኬጃ መስፈርቶች |
| ሲሊኮን (ሲ) | አይሲዎች፣ MEMS ዳሳሾች | ከፍተኛ ትክክለኛነት መቁረጥ፣ መቆራረጥ <10μm |
| ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) | የኃይል መሳሪያዎች (MOSFET/diodes) | ዝቅተኛ-ጉዳት መቁረጥ, የሙቀት አስተዳደር ማመቻቸት |
| ጋሊየም አርሴንዲድ (ጋኤኤስ) | RF መሳሪያዎች, ኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቺፕስ | ማይክሮ-ክራክ መከላከል, ንጽህና ቁጥጥር |
| LT/LN Substrates | SAW ማጣሪያዎች፣ የጨረር ሞዱላተሮች | ከጭንቀት ነጻ የሆነ መቁረጥ, የፓይዞኤሌክትሪክ ባህሪያትን መጠበቅ |
| የሴራሚክ ንጣፎች | የኃይል ሞጁሎች ፣ የ LED ማሸጊያዎች | ከፍተኛ-ጥንካሬ የቁሳቁስ ማቀነባበሪያ, የጠርዝ ጠፍጣፋነት |
| QFN/DFN ክፈፎች | የላቀ ማሸጊያ | ባለብዙ-ቺፕ በአንድ ጊዜ መቁረጥ, ውጤታማነት ማመቻቸት |
| WLCSP Wafers | Wafer-ደረጃ ማሸጊያ | ከጉዳት ነጻ የሆነ እጅግ በጣም ቀጫጭን ዋፍሮችን (50μm) መቁረጥ |
ጥቅሞች
1. ከፍተኛ ፍጥነት ያለው የካሴት ፍሬም ቅኝት ከግጭት መከላከያ ማንቂያዎች፣ ፈጣን የማስተላለፍ አቀማመጥ እና ጠንካራ የስህተት እርማት ችሎታ።
2. የተመቻቸ ባለሁለት-spindle የመቁረጥ ሁነታ, ከአንድ-እሾህ አሠራር ጋር ሲነፃፀር በ 80% ገደማ ውጤታማነትን ያሻሽላል.
3. ትክክለኛነት ከውጪ የሚመጡ የኳስ ዊንጣዎች፣ መስመራዊ መመሪያዎች እና የ Y-ዘንግ ፍርግርግ ልኬት የተዘጋ-loop ቁጥጥር፣ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የማሽን የረጅም ጊዜ መረጋጋትን ያረጋግጣል።
4. ሙሉ በሙሉ አውቶማቲክ መጫን / ማራገፍ, የዝውውር አቀማመጥ, የአሰላለፍ መቁረጥ እና የ kerf ፍተሻ, የኦፕሬተር (OP) የስራ ጫናን በእጅጉ ይቀንሳል.
5.Gantry-style spindle mounting structure፣ በትንሹ ባለሁለት-ምላጭ ክፍተት 24ሚሜ፣ለሁለት-ስፒንድል መቁረጥ ሂደቶች ሰፋ ያለ መላመድ ያስችላል።
ባህሪያት
1.High-ትክክለኛነት ግንኙነት ያልሆነ ቁመት መለኪያ.
2.Multi-wafer ባለሁለት-ምላጭ በአንድ ትሪ ላይ መቁረጥ.
3.Automatic calibration, kerf inspection, እና blade breakage detection systems.
4.የሚመረጡ አውቶማቲክ አሰላለፍ ስልተ ቀመሮችን በመጠቀም የተለያዩ ሂደቶችን ይደግፋል።
5.Fault ራስን የማረም ተግባር እና የእውነተኛ ጊዜ ባለብዙ አቀማመጥ ክትትል.
6.First-cut ፍተሻ ችሎታ ድህረ-የመጀመሪያ dicing.
7.Customizable የፋብሪካ አውቶሜሽን ሞጁሎች እና ሌሎች አማራጭ ተግባራት.
ተስማሚ ቁሳቁሶች
የመሳሪያ አገልግሎቶች
ከመሳሪያዎች ምርጫ እስከ የረጅም ጊዜ ጥገና ድረስ አጠቃላይ ድጋፍ እንሰጣለን-
(1) ብጁ ልማት
· በቁሳቁስ ባህሪያት (ለምሳሌ የሲሲ ግትርነት፣ የGaAs መሰባበር) ላይ የተመሰረቱ ምላጭ/ሌዘር የመቁረጥ መፍትሄዎችን ጠቁም።
· የመቁረጥን ጥራት ለማረጋገጥ (ቺፒንግ፣ የከርፍ ስፋት፣ የገጽታ ሸካራነት፣ ወዘተ ጨምሮ) ነጻ የናሙና ሙከራ ያቅርቡ።
(2) የቴክኒክ ስልጠና
· መሰረታዊ ስልጠና: የመሳሪያዎች አሠራር, የመለኪያ ማስተካከያ, መደበኛ ጥገና.
· የላቀ ኮርሶች፡ ለተወሳሰቡ ቁሶች የሂደት ማመቻቸት (ለምሳሌ ከጭንቀት ነጻ የሆነ የኤል.ቲ. ንጣፎችን መቁረጥ)።
(3) ከሽያጭ በኋላ ድጋፍ
· 24/7 ምላሽ፡ የርቀት ምርመራ ወይም በቦታው ላይ እገዛ።
· መለዋወጫ አቅርቦት፡ የተከማቸ ስፒልች፣ ምላጭ እና የጨረር አካላት በፍጥነት ለመተካት።
· የመከላከያ ጥገና፡ ትክክለኝነትን ለመጠበቅ እና የአገልግሎት እድሜን ለማራዘም በየጊዜው ማስተካከል።
የእኛ ጥቅሞች
✔ የኢንዱስትሪ ልምድ፡ 300+ አለምአቀፍ ሴሚኮንዳክተር እና ኤሌክትሮኒክስ አምራቾችን በማገልገል ላይ።
✔ የመቁረጥ-ጠርዝ ቴክኖሎጂ፡- ትክክለኛ የመስመር መመሪያዎች እና ሰርቪስ ስርዓቶች ኢንዱስትሪ-መሪ መረጋጋትን ያረጋግጣሉ።
✔ የአለምአቀፍ አገልግሎት መረብ፡ ሽፋን በእስያ፣ አውሮፓ እና ሰሜን አሜሪካ ለአካባቢያዊ ድጋፍ።
ለሙከራ ወይም ለጥያቄዎች፣ ያግኙን!
