ሙሉ በሙሉ አውቶማቲክ የዋፈር ቀለበት-መቁረጫ መሳሪያዎች የስራ መጠን 8 ኢንች/12 ኢንች የዋፈር ቀለበት መቁረጥ

አጭር መግለጫ፡

XKH ለፊተኛው ሴሚኮንዳክተር የማምረቻ ሂደቶች የተነደፈ የላቀ መፍትሄን የሚወክል ሙሉ በሙሉ አውቶማቲክ የሆነ የዋፈር ጠርዝ መቁረጫ ስርዓትን በተናጥል አዘጋጅቷል። ይህ መሳሪያ ፈጠራ ያለው ባለብዙ-ዘንግ ሲንክሮናይም መቆጣጠሪያ ቴክኖሎጂን ያካተተ ሲሆን ከፍተኛ-ግትርነት ያለው የስፒንድል ሲስተም (ከፍተኛ የማሽከርከር ፍጥነት፡ 60,000 RPM) ያለው ሲሆን እስከ ±5μm ድረስ የመቁረጥ ትክክለኛነት ያለው ትክክለኛ የጠርዝ መቁረጫ ያቀርባል። ስርዓቱ ከተለያዩ ሴሚኮንዳክተር ንጣፎች ጋር በጣም ጥሩ ተኳሃኝነትን ያሳያል፣ ከእነዚህም ውስጥ የሚከተሉትን ጨምሮ ነገር ግን በእነዚህ ብቻ የተወሰነ አይደለም፡
1. የሲሊኮን ዋፈር (Si): ከ8-12 ኢንች ዋፈርዎችን ለጠርዝ ማቀነባበሪያ ተስማሚ;
2. የተዋሃዱ ሴሚኮንዳክተሮች፡ እንደ GaAs እና SiC ያሉ የሶስተኛ ትውልድ ሴሚኮንዳክተሮች ቁሳቁሶች
3. ልዩ ንጣፎች፡- LT/LNን ጨምሮ የፒኢዞኤሌክትሪክ ቁሳቁስ ዋፈርዎች

ሞዱላር ዲዛይኑ የአልማዝ ምላጭ እና የሌዘር መቁረጫ ጭንቅላቶችን ጨምሮ በርካታ የፍጆታ ዕቃዎችን በፍጥነት መተካትን ይደግፋል፣ ይህም ከኢንዱስትሪ ደረጃዎች በላይ ተኳሃኝነትን ያካትታል። ለልዩ የሂደት መስፈርቶች፣ የሚከተሉትን ጨምሮ አጠቃላይ መፍትሄዎችን እናቀርባለን፦
· የተወሰነ የመቁረጥ ፍጆታ አቅርቦት
· ብጁ የማቀነባበሪያ አገልግሎቶች
· የሂደት መለኪያ ማመቻቸት መፍትሄዎች

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

ቴክኒካዊ መለኪያዎች

መለኪያ	ዩኒት	ዝርዝር መግለጫ
ከፍተኛው የስራ ቁራጭ መጠን	mm	ø12"
ስፒንድል	ውቅር	ነጠላ ስፒንድል
	ፍጥነት	3,000–60,000 በደቂቃ
	የውጤት ኃይል	1.8 ኪ.ወ (2.4 አማራጭ) በ30,000 ደቂቃ⁻¹
	ማክስ ብሌድ ዲያ።	Ø58 ሚሜ
ኤክስ-ዘንግ	የመቁረጥ ክልል	310 ሚሜ
ዋይ-ዘንግ	የመቁረጥ ክልል	310 ሚሜ
	የእርምጃ ጭማሪ	0.0001 ሚሜ
	የአቀማመጥ ትክክለኛነት	≤0.003 ሚሜ/310 ሚሜ፣ ≤0.002 ሚሜ/5 ሚሜ (አንድ ስህተት)
ዜድ-ዘንግ	የእንቅስቃሴ ጥራት	0.00005 ሚሜ
ዜድ-ዘንግ	ተደጋጋሚነት	0.001 ሚሜ
θ-ዘንግ	ከፍተኛ ሽክርክሪት	380 ዲግሪ
የስፒንድል አይነት		ነጠላ ስፒንድል፣ ለቀለበት መቁረጥ ጠንካራ ምላጭ የተገጠመለት
የቀለበት መቁረጥ ትክክለኛነት	μሜ	±50
የዋፈር አቀማመጥ ትክክለኛነት	μሜ	±50
የአንድ-ዋፈር ውጤታማነት	ደቂቃ/ዋፈር	8
ባለብዙ-ዋፈር ውጤታማነት		እስከ 4 የሚደርሱ ዋፈሮች በአንድ ጊዜ ይዘጋጃሉ
የመሳሪያ ክብደት	kg	≈3,200
የመሳሪያ ልኬቶች (ወ × ቀ × ሰ)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

የአሠራር መርህ

ስርዓቱ በእነዚህ ዋና ቴክኖሎጂዎች አማካኝነት እጅግ በጣም ጥሩ የመከርከም አፈፃፀምን ያገኛል-

1. ብልህ የእንቅስቃሴ መቆጣጠሪያ ስርዓት:
· ከፍተኛ-ትክክለኛ መስመራዊ የሞተር ድራይቭ (የተደጋጋሚ አቀማመጥ ትክክለኛነት፡ ±0.5μm)
· ውስብስብ የመንገድ እቅድን የሚደግፍ ባለ ስድስት-ዘንግ ሲንክሮናይዘር መቆጣጠሪያ
· በእውነተኛ ጊዜ የንዝረት ማፈን ስልተ ቀመሮች የመቁረጥ መረጋጋትን ያረጋግጣሉ

2. የላቀ የፍተሻ ስርዓት፡
· የተቀናጀ የ3-ልኬት የሌዘር ቁመት ዳሳሽ (ትክክለኛነት፡ 0.1μm)
· ከፍተኛ ጥራት ያለው የCCD የእይታ አቀማመጥ (5 ሜጋፒክስል)
· የመስመር ላይ የጥራት ምርመራ ሞጁል

3. ሙሉ በሙሉ በራስ-ሰር የሚሰራ ሂደት፡
· በራስ-ሰር መጫን/ማውረድ (ከFOUP መደበኛ በይነገጽ ጋር ተኳሃኝ)
· ብልህ የመደርደር ስርዓት
· የተዘጋ-ዑደት የጽዳት ክፍል (ንፅህና፡ ክፍል 10)

የተለመዱ አፕሊኬሽኖች

ይህ መሳሪያ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አፕሊኬሽኖች ላይ ከፍተኛ ዋጋ ይሰጣል፡

የማመልከቻ መስክ	የሂደት ቁሳቁሶች	የቴክኒክ ጥቅሞች
የአይሲ ማኑፋክቸሪንግ	8/12" የሲሊኮን ዋፈርስ	የሊቶግራፊ አሰላለፍን ያሻሽላል
የኃይል መሳሪያዎች	የሲሲ/ጋኤን ዋፈርስ	የጠርዝ ጉድለቶችን ይከላከላል
የMEMS ዳሳሾች	የSOI ዋፈርስ	የመሳሪያውን አስተማማኝነት ያረጋግጣል
የRF መሳሪያዎች	የGaAs ዋፈርስ	ከፍተኛ ድግግሞሽ አፈፃፀምን ያሻሽላል
የላቀ ማሸጊያ	እንደገና የተዋቀሩ ዋፈርዎች	የማሸጊያ ምርትን ይጨምራል

ባህሪያት

1. ለከፍተኛ ሂደት ውጤታማነት አራት-ጣቢያ ውቅር;
2. የተረጋጋ TAIKO ቀለበት ማፍረስ እና ማስወገድ
3. ከቁልፍ ፍጆታዎች ጋር ከፍተኛ ተኳሃኝነት;
4. ባለብዙ-ዘንግ የተመሳሰለ የመቁረጫ ቴክኖሎጂ ትክክለኛነትን የጠርዝ መቁረጥ ያረጋግጣል፤
5. ሙሉ በሙሉ በራስ-ሰር የሚሰራ የሂደት ፍሰት የሰው ኃይል ወጪን በእጅጉ ይቀንሳል
6. ብጁ የስራ ሰንጠረዥ ዲዛይን ልዩ መዋቅሮችን የተረጋጋ ሂደት ያስችላል፤

ተግባራት

1. የቀለበት-ጠብታ ማወቂያ ስርዓት
2. አውቶማቲክ የስራ ጠረጴዛ ጽዳት
3.ኢንተለጀንት የአልትራቫዮሌት ዲቦንዲንግ ሲስተም
4. የአሠራር ምዝግብ ማስታወሻ
5. የፋብሪካ አውቶሜሽን ሞዱል ውህደት

የአገልግሎት ቁርጠኝነት

XKH በምርት ጉዞዎ ወቅት የመሳሪያዎችን አፈጻጸም እና የአሠራር ቅልጥፍናን ከፍ ለማድረግ የተነደፉ ሁሉን አቀፍ፣ ሙሉ የሕይወት ዑደት የድጋፍ አገልግሎቶችን ይሰጣል።
1. የማበጀት አገልግሎቶች
· የተበጀ የመሳሪያ ውቅር፡- የእኛ የምህንድስና ቡድን በተወሰኑ የቁሳቁስ ባህሪያት (Si/SiC/GaAs) እና የሂደት መስፈርቶች ላይ በመመስረት የስርዓት መለኪያዎችን (የመቁረጥ ፍጥነት፣ የቢላ ምርጫ፣ ወዘተ) ለማመቻቸት ከደንበኞች ጋር በቅርበት ይሰራል።
· የሂደት ልማት ድጋፍ፡- የጠርዝ ሸካራነት መለኪያ እና የጉድለት ካርታ ስራን ጨምሮ ዝርዝር የትንታኔ ሪፖርቶችን የያዘ የናሙና ሂደት እናቀርባለን።
· የፍጆታ ዕቃዎች የጋራ ልማት፡- ለአዳዲስ ቁሳቁሶች (ለምሳሌ፣ Ga₂O₃)፣ ለመተግበሪያ-ተኮር ምላጭ/ሌዘር ኦፕቲክስ ለማዘጋጀት ከዋና ዋና የፍጆታ አምራቾች ጋር በመተባበር እንሰራለን።

2. ሙያዊ የቴክኒክ ድጋፍ
· በቦታው ላይ የተወሰነ ድጋፍ፡- ለአስፈላጊ የማሻሻያ ደረጃዎች (በተለምዶ ከ2-4 ሳምንታት) የተረጋገጡ መሐንዲሶችን ይመድቡ፣ የሚከተሉትን ያካትታሉ፡
የመሳሪያ መለካት እና የሂደት ማስተካከያ
የኦፕሬተር የብቃት ስልጠና
የ ISO ክፍል 5 የጽዳት ክፍል ውህደት መመሪያ
· ትንበያ ጥገና፡- ያልታቀደ የእረፍት ጊዜን ለመከላከል በየሩብ ዓመቱ የጤና ምርመራዎችን በንዝረት ትንተና እና በሰርቮ ሞተር ምርመራዎች ያካሂዳሉ።
· የርቀት ክትትል፡- በራስ-ሰር ያልተጠበቁ ማንቂያዎች አማካኝነት በIoT ፕላትፎርማችን (JCFront Connect®) በኩል በእውነተኛ ጊዜ የመሳሪያዎች አፈጻጸም ክትትል።

3. ተጨማሪ እሴት ያላቸው አገልግሎቶች
· የሂደት እውቀት መሰረት፡ ለተለያዩ ቁሳቁሶች ከ300 በላይ የተረጋገጡ የመቁረጫ የምግብ አዘገጃጀት መመሪያዎችን ያግኙ (በየሩብ ዓመቱ የሚዘምኑ)።
· የቴክኖሎጂ የመንገድ ካርታ አሰላለፍ፡- በሃርድዌር/ሶፍትዌር ማሻሻያ መንገዶች (ለምሳሌ፣ በAI ላይ የተመሰረተ የጉድለት ማወቂያ ሞዱል) አማካኝነት ኢንቨስትመንትዎን ወደፊት የሚያረጋግጥ።
· የአደጋ ጊዜ ምላሽ፡ የተረጋገጠ የ4 ሰዓት የርቀት ምርመራ እና የ48 ሰዓት በቦታው ላይ ጣልቃ ገብነት (ዓለም አቀፍ ሽፋን)።

4. የአገልግሎት መሠረተ ልማት
· የአፈጻጸም ዋስትና፡- በSLA የተደገፈ የምላሽ ጊዜን በመጠቀም ከ98% በላይ የመሳሪያዎች የስራ ሰዓት እንዲኖር የውል ቁርጠኝነት።

ቀጣይነት ያለው ማሻሻያ

የደንበኛ እርካታ ጥናቶችን በየሁለት ዓመቱ እናካሂዳለን እንዲሁም የአገልግሎት አቅርቦትን ለማሻሻል የካይዘን ተነሳሽነቶችን ተግባራዊ እናደርጋለን። የጥናትና ምርምር ቡድናችን የመስክ ግንዛቤዎችን ወደ መሳሪያ ማሻሻያዎች ይተረጉማል - 30% የሚሆኑት የጽኑዌር ማሻሻያዎች የሚመነጩት ከደንበኛ ግብረመልስ ነው።