3 ኢንች ከፍተኛ ንፅህና (ያልተፈተሸ) የሲሊኮን ካርቦይድ ዋፈርስ ከፊል-ኢንሱሌሽን ሲክ ንጣፎች (HPSl)

አጭር መግለጫ፡

ባለ 3 ኢንች ከፍተኛ ንፅህና ከፊል-ኢንሱሌሽን (HPSI) ሲሊከን ካርባይድ (SiC) ዋፈር ለከፍተኛ ኃይል፣ ለከፍተኛ ድግግሞሽ እና ለኦፕቶኤሌክትሮኒክስ አፕሊኬሽኖች የተመቻቸ ፕሪሚየም ደረጃ ንጣፎች ነው። እነዚህ ዋፈርዎች ባልተሸፈነ ከፍተኛ ንፅህና 4H-SiC ቁሳቁስ የተመረቱ ሲሆን እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂ ኃይል፣ ሰፊ ባንድ ክፍተት እና ልዩ ከፊል-ኢንሱሌሽን ባህሪያትን ያሳያሉ፣ ይህም ለላቀ የመሣሪያ ልማት አስፈላጊ ያደርጋቸዋል። የላቀ የመዋቅር ታማኝነት እና የገጽታ ጥራት ያላቸው፣ የHPSI SiC ንጣፎች በተለያዩ መስኮች ፈጠራን በመደገፍ በሃይል ኤሌክትሮኒክስ፣ በቴሌኮሙኒኬሽን እና በኤሮስፔስ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ለቀጣይ ትውልድ ቴክኖሎጂዎች መሠረት ሆነው ያገለግላሉ።

ኢሜይል ይላኩልን

ባህሪያት

ንብረቶች

1. አካላዊ እና መዋቅራዊ ባህሪያት
●የቁሳቁስ አይነት፡ ከፍተኛ ንፅህና (ያልተፈተነ) ሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ)
●ዲያሜትር፡ 3 ኢንች (76.2 ሚሜ)
●ውፍረት፡ 0.33-0.5 ሚሜ፣ በማመልከቻ መስፈርቶች ላይ በመመስረት ሊበጅ የሚችል።
●የክሪስታል መዋቅር፡- ባለ ስድስት ጎን ጥልፍልፍ ያለው ባለ 4H-SiC ፖሊታይፕ፣ በከፍተኛ የኤሌክትሮን ተንቀሳቃሽነት እና የሙቀት መረጋጋት የሚታወቅ።
●አቀማመጥ፡
oStandard: [0001] (C-plane), ለተለያዩ አፕሊኬሽኖች ተስማሚ።
አማራጭ፡ የመሣሪያ ንብርብሮች የተሻሻለ የኤፒታክሲያል እድገትን ለማግኘት ከዘንግ ውጪ (4° ወይም 8° ማዘንበል)።
● ጠፍጣፋነት፡- አጠቃላይ የውፍረት ልዩነት (TTV) ●የገጽታ ጥራት፡
o ዝቅተኛ ጉድለት ያለበት ጥግግት (<10/cm² ማይክሮፓይፕ ጥግግት) እንዲሆን የተወለወለ። 2. የኤሌክትሪክ ባህሪያት ● የመቋቋም ችሎታ፡ >109^99 Ω·ሴሜ፣ ሆን ተብሎ የሚወሰዱ ዶፓንቶችን በማስወገድ የሚጠበቅ።
●የዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬ፡- ከፍተኛ የቮልቴጅ ጽናት እና አነስተኛ የዲኤሌክትሪክ ኪሳራዎች ያሉት፣ ለከፍተኛ ኃይል አፕሊኬሽኖች ተስማሚ።
●የሙቀት ማስተላለፊያ፡ 3.5-4.9 W/cm·K፣ ይህም በከፍተኛ አፈጻጸም ባላቸው መሳሪያዎች ላይ ውጤታማ የሆነ የሙቀት መበታተን ያስችላል።

3. የሙቀት እና የሜካኒካል ባህሪያት
●ሰፊ የባንድ ክፍተት፡ 3.26 eV፣ በከፍተኛ ቮልቴጅ፣ በከፍተኛ ሙቀት እና በከፍተኛ የጨረር ሁኔታዎች ስር የሚሰራ ስራን ይደግፋል።
●ጠንካራነት፡ የሞህስ ሚዛን 9፣ በማቀነባበር ወቅት ለሜካኒካል ብልሽት ጠንካራነትን ያረጋግጣል።
●የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት፡ 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K፣ በሙቀት ልዩነቶች ስር የልኬት መረጋጋትን ያረጋግጣል።

መለኪያ	የምርት ደረጃ	የምርምር ደረጃ	የውሸት ደረጃ	ዩኒት
ደረጃ	የምርት ደረጃ	የምርምር ደረጃ	የውሸት ደረጃ
ዲያሜትር	76.2 ± 0.5	76.2 ± 0.5	76.2 ± 0.5	mm
ውፍረት	500 ± 25	500 ± 25	500 ± 25	µሜ
የዋፈር አቀማመጥ	ኦን-ዘንግ፡ <0001> ± 0.5°	ኦን-ዘንግ፡ <0001> ± 2.0°	ኦን-ዘንግ፡ <0001> ± 2.0°	ዲግሪ
የማይክሮፓይፕ ጥግግት (MPD)	≤ 1	≤ 5	≤ 10	ሴሜ−2^-2−2
የኤሌክትሪክ መቋቋም ችሎታ	≥ 1E10	≥ 1E5	≥ 1E5	Ω·ሴሜ
ዶፓንት	ያልተወሰደ	ያልተወሰደ	ያልተወሰደ
ዋና ጠፍጣፋ አቀማመጥ	{1-100} ± 5.0°	{1-100} ± 5.0°	{1-100} ± 5.0°	ዲግሪ
ዋና ጠፍጣፋ ርዝመት	32.5 ± 3.0	32.5 ± 3.0	32.5 ± 3.0	mm
ሁለተኛ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት	18.0 ± 2.0	18.0 ± 2.0	18.0 ± 2.0	mm
ሁለተኛ ደረጃ ጠፍጣፋ አቀማመጥ	ከዋናው ጠፍጣፋ 90° CW ± 5.0°	ከዋናው ጠፍጣፋ 90° CW ± 5.0°	ከዋናው ጠፍጣፋ 90° CW ± 5.0°	ዲግሪ
የጠርዝ ማግለል	3	3	3	mm
ኤልቲቪ/ቲቲቪ/ቦው/ዋርፕ	3 / 10 / ±30 / 40	3 / 10 / ±30 / 40	5 / 15 / ±40 / 45	µሜ
የወለል ሻካራነት	Si-face: CMP, C-face: የተወለወለ	Si-face: CMP, C-face: የተወለወለ	Si-face: CMP, C-face: የተወለወለ
ስንጥቆች (ከፍተኛ-ኃይል ያለው ብርሃን)	ምንም	ምንም	ምንም
የሄክስ ፕሌትስ (ከፍተኛ-ግፊት ብርሃን)	ምንም	ምንም	የተጠራቀመ ቦታ 10%	%
ፖሊታይፕ አካባቢዎች (ከፍተኛ-ግፊት ብርሃን)	የተጠራቀመ ቦታ 5%	የተጠራቀመ ቦታ 20%	የተጠራቀመ ቦታ 30%	%
ጭረቶች (ከፍተኛ-ኃይለኛ ብርሃን)	≤ 5 ጭረቶች፣ ድምር ርዝመት ≤ 150	≤ 10 ጭረቶች፣ ድምር ርዝመት ≤ 200	≤ 10 ጭረቶች፣ ድምር ርዝመት ≤ 200	mm
ኤጅ ቺፕፒንግ	የለም ≥ 0.5 ሚሜ ስፋት/ጥልቀት	2 ተፈቅዷል ≤ 1 ሚሜ ስፋት/ጥልቀት	5 ተፈቅዷል ≤ 5 ሚሜ ስፋት/ጥልቀት	mm
የገጽታ ብክለት	ምንም	ምንም	ምንም

አፕሊኬሽኖች

1. የኃይል ኤሌክትሮኒክስ
የ HPSI SiC ንጣፎች ሰፊው የባንድ ክፍተት እና ከፍተኛ የሙቀት አማቂ ኃይል ቆጣቢነት በከባድ ሁኔታዎች ውስጥ ለሚሰሩ የኃይል መሳሪያዎች ተስማሚ ያደርጋቸዋል፣ ለምሳሌ፡
●ከፍተኛ-ቮልቴጅ መሳሪያዎች፡- ውጤታማ የኃይል ልወጣን ለማረጋገጥ MOSFETs፣ IGBTs እና Schottky Barrier Diodes (SBDs) ን ጨምሮ።
●የታዳሽ የኃይል ስርዓቶች፡- እንደ የፀሐይ ኃይል መቀየሪያዎች እና የንፋስ ተርባይን መቆጣጠሪያዎች።
●የኤሌክትሪክ ተሽከርካሪዎች (ኢቪዎች)፡- ቅልጥፍናን ለማሻሻል እና መጠኑን ለመቀነስ በኢንቨርተሮች፣ በቻርጀሮች እና በፓወር ትራይን ሲስተም ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል።

2. የRF እና የማይክሮዌቭ አፕሊኬሽኖች
የኤችፒኤስአይ ዋፈር ከፍተኛ የመቋቋም ችሎታ እና ዝቅተኛ ዳይኤሌክትሪክ ኪሳራ ለሬዲዮ-ፍሪኩዌንሲ (RF) እና ማይክሮዌቭ ስርዓቶች አስፈላጊ ናቸው፣ የሚከተሉትን ጨምሮ፡
●የቴሌኮሙኒኬሽን መሠረተ ልማት፡ ለ5ጂ ኔትወርኮች እና ለሳተላይት ግንኙነቶች መሰረታዊ ጣቢያዎች።
●ኤሮስፔስ እና መከላከያ፡ የራዳር ስርዓቶች፣ በደረጃ የተደረደሩ አንቴናዎች እና የአቪዮኒክስ ክፍሎች።

3. ኦፕቶኤሌክትሮኒክስ
የ4H-SiC ግልጽነት እና ሰፊ የባንድ ክፍተት በኦፕቶኤሌክትሮኒክ መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል ያስችለዋል፣ ለምሳሌ፡
●የUV ፎቶዲቴክተሮች፡- ለአካባቢ ክትትል እና ለህክምና ምርመራዎች።
●ከፍተኛ ኃይል ያላቸው LEDዎች፡- ጠንካራ-ሁኔታ የመብራት ስርዓቶችን መደገፍ።
●ሌዘር ዳዮዶች፡- ለኢንዱስትሪ እና ለህክምና አፕሊኬሽኖች።

4. ምርምር እና ልማት
የ HPSI SiC ንጣፎች በአካዳሚክ እና በኢንዱስትሪ የምርምር እና ልማት ላቦራቶሪዎች ውስጥ የላቁ የቁሳቁስ ባህሪያትን እና የመሳሪያ ማምረቻዎችን ለማሰስ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ፣ ከእነዚህም ውስጥ የሚከተሉት ይገኙበታል፡
●ኤፒታክሲያል ንብርብር እድገት፡- የጉድለት ቅነሳ እና የንብርብር ማመቻቸት ላይ የተደረጉ ጥናቶች።
●የሸካሚ ተንቀሳቃሽነት ጥናቶች፡- ከፍተኛ ንፁህ በሆኑ ቁሳቁሶች ውስጥ የኤሌክትሮንና የቀዳዳ ትራንስፖርትን መመርመር።
●ፕሮቶታይፕ፡- አዳዲስ መሳሪያዎችና ሰርኩዊቶች የመጀመሪያ እድገት።

ጥቅሞች

የላቀ ጥራት፦
ከፍተኛ ንፅህና እና ዝቅተኛ የጉድለት ጥግግት ለላቁ አፕሊኬሽኖች አስተማማኝ መድረክ ይሰጣሉ።

የሙቀት መረጋጋት;
እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ ባህሪያት መሳሪያዎች በከፍተኛ ኃይል እና የሙቀት መጠን ሁኔታዎች ውስጥ በብቃት እንዲሰሩ ያስችላቸዋል።

ሰፊ ተኳሃኝነት፦
የሚገኙ አቀማመጦች እና ብጁ የውፍረት አማራጮች ለተለያዩ የመሣሪያ መስፈርቶች ተስማሚነትን ያረጋግጣሉ።

ዘላቂነት፡
ልዩ የሆነ ጥንካሬ እና መዋቅራዊ መረጋጋት በማቀነባበር እና በአሠራር ወቅት መበስበስን እና መበላሸትን ይቀንሳል።

ሁለገብነት፡
ከታዳሽ ኃይል እስከ ኤሮስፔስ እና ቴሌኮሙኒኬሽን ድረስ ለተለያዩ ኢንዱስትሪዎች ተስማሚ።

መደምደሚያ

ባለ 3 ኢንች ከፍተኛ ንፁህ ከፊል-ኢንሱሌሽን ሲሊከን ካርባይድ ዋፈር ለከፍተኛ ኃይል፣ ለከፍተኛ ድግግሞሽ እና ለኦፕቶኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች የንፁህ ቴክኖሎጂ ከፍተኛ ደረጃን ይወክላል። እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት፣ የኤሌክትሪክ እና የሜካኒካል ባህሪያት ጥምረት በአስቸጋሪ አካባቢዎች አስተማማኝ አፈጻጸምን ያረጋግጣል። ከኃይል ኤሌክትሮኒክስ እና ከRF ስርዓቶች እስከ ኦፕቶኤሌክትሮኒክስ እና የላቀ የምርምር እና ልማት፣ እነዚህ የኤችፒኤስአይ ንፁህ ...
ለተጨማሪ መረጃ ወይም ትዕዛዝ ለመስጠት፣ እባክዎን ያግኙን። የቴክኒክ ቡድናችን ለፍላጎቶችዎ የሚስማሙ መመሪያዎችን እና የማበጀት አማራጮችን ለማቅረብ ዝግጁ ነው።