6 ኢንች ኮንዳክቲቭ ነጠላ ክሪስታል SiC በፖሊክሪስታሊን SiC ኮምፖዚት ንጣፍ ላይ ዲያሜትር 150ሚሜ P አይነት N አይነት
ቴክኒካዊ መለኪያዎች
| መጠን፡ | 6 ኢንች |
| ዲያሜትር፡ | 150 ሚሜ |
| ውፍረት፡ | 400-500 μm |
| ሞኖክሪስታሊን ሲሲ የፊልም መለኪያዎች | |
| ፖሊታይፕ፡ | 4H-SiC ወይም 6H-SiC |
| የዶፒንግ ትኩረት፡ | 1×10¹⁴ - 1×10¹⁸ ሴሜ⁻³ |
| ውፍረት፡ | 5-20 μm |
| የሉህ መቋቋም፡ | 10-1000 Ω/ስኩዌር |
| የኤሌክትሮን ተንቀሳቃሽነት፡ | 800-1200 ሴሜ²/ቪ |
| የጉድጓድ ተንቀሳቃሽነት፡ | 100-300 ሴሜ²/ቪ |
| ፖሊክሪስታሊን SiC የመጠባበቂያ ንብርብር መለኪያዎች | |
| ውፍረት፡ | 50-300 μm |
| የሙቀት ማስተላለፊያ፦ | 150-300 ዋት/ሜ·ኬ |
| ሞኖክሪስታሊን SiC የንዑስ ክፍል መለኪያዎች | |
| ፖሊታይፕ፡ | 4H-SiC ወይም 6H-SiC |
| የዶፒንግ ትኩረት፡ | 1×10¹⁴ - 1×10¹⁸ ሴሜ⁻³ |
| ውፍረት፡ | 300-500 μm |
| የእህል መጠን፡ | > 1 ሚሜ |
| የወለል ሻካራነት፡ | < 0.3 ሚሜ አርኤምኤስ |
| ሜካኒካል እና ኤሌክትሪክ ባህሪያት | |
| ጥንካሬ፡ | 9-10 ሞህስ |
| የመጭመቂያ ጥንካሬ፡ | 3-4 GPA |
| የመለጠጥ ጥንካሬ፡ | 0.3-0.5 GPA |
| የመስክ ጥንካሬ መበላሸት፡ | > 2 MV/ሴሜ |
| ጠቅላላ የመጠን መቻቻል፡ | > 10 ምራድ |
| የአንድ ክስተት ውጤት መቋቋም፡ | > 100 MeV·cm²/mg |
| የሙቀት ማስተላለፊያ፦ | 150-380 W/m·K |
| የአሠራር የሙቀት መጠን ክልል፡ | ከ -55 እስከ 600°ሴ |
ቁልፍ ባህሪያት
በፖሊክሪስታሊን SiC ኮምፖዚት ንጣፉ ላይ የሚገኘው ባለ 6 ኢንች ኮንዳክቲቭ ሞኖክሪስታሊን SiC የቁሳቁስ መዋቅር እና አፈጻጸም ልዩ ሚዛን ይሰጣል፣ ይህም ለከፍተኛ የኢንዱስትሪ አካባቢዎች ተስማሚ ያደርገዋል፡
1. ወጪ ቆጣቢነት፡- የፖሊክሪስታሊን SiC መሰረት ከሙሉ ሞኖክሪስታሊን SiC ጋር ሲነጻጸር ወጪዎችን በእጅጉ ይቀንሳል፣ ሞኖክሪስታሊን SiC አክቲቭ ንብርብር ደግሞ ለወጪ ስሜታዊ አፕሊኬሽኖች ተስማሚ የሆነ የመሣሪያ ደረጃ አፈጻጸምን ያረጋግጣል።
2. ልዩ የኤሌክትሪክ ባህሪያት፡- የሞኖክሪስታሊን SiC ንብርብር ከፍተኛ የመሸከም አቅም (>500 ሴ.ሜ²/V·s) እና ዝቅተኛ የጉድለት ጥግግት ያሳያል፣ ይህም ከፍተኛ ድግግሞሽ እና ከፍተኛ ኃይል ያለው የመሳሪያ አሠራርን ይደግፋል።
3. ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት፡- የሲሲ ውስጣዊ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም (>600°ሴ) የተዋሃደው ንጣፍ በከባድ ሁኔታዎች ውስጥ የተረጋጋ ሆኖ እንዲቆይ ያረጋግጣል፣ ይህም ለኤሌክትሪክ ተሽከርካሪዎች እና ለኢንዱስትሪ ሞተር አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ያደርገዋል።
4.6 ኢንች ደረጃውን የጠበቀ የዋፈር መጠን፡- ከባህላዊ የ4 ኢንች SiC ንጣፎች ጋር ሲነጻጸር፣ የ6 ኢንች ቅርጸት የቺፕ ምርትን ከ30% በላይ ይጨምራል፣ ይህም የአንድ አሃድ የመሳሪያ ወጪዎችን ይቀንሳል።
5. ኮንዳክቲቭ ዲዛይን፡- ቅድመ-የተቀቡ የN-type ወይም P-type ንብርብሮች በመሳሪያ ማምረቻ ውስጥ የአዮን ተከላ ደረጃዎችን ይቀንሳሉ፣ የምርት ቅልጥፍናን እና ምርትን ያሻሽላሉ።
6. የላቀ የሙቀት አስተዳደር፡- የፖሊክሪስታሊን ሲሲ መሰረት የሙቀት ማስተላለፊያ (~120 W/m·K) ከሞኖክሪስታሊን ሲሲ ጋር ይቀራረባል፣ ይህም በከፍተኛ ኃይል ባላቸው መሳሪያዎች ላይ የሙቀት ማስተላለፊያ ተግዳሮቶችን ውጤታማ በሆነ መንገድ ይቋቋማል።
እነዚህ ባህሪያት እንደ ታዳሽ ኃይል፣ የባቡር ትራንስፖርት እና ኤሮስፔስ ላሉ ኢንዱስትሪዎች ተወዳዳሪ መፍትሄ የሆነውን ባለ 6 ኢንች ኮንዳክቲቭ ሞኖክሪስታሊን ሲሲ በፖሊክሪስታሊን ሲሲ ኮምፖዚት ንጣፍ ላይ ያስቀምጧቸዋል።
ዋና ዋና አፕሊኬሽኖች
በፖሊክሪስታሊን SiC ኮምፖዚት ንጣፍ ላይ ያለው ባለ 6 ኢንች ኮንዳክቲቭ ሞኖክሪስታሊን SiC በበርካታ ከፍተኛ ፍላጎት ባላቸው መስኮች በተሳካ ሁኔታ ተግባራዊ ሆኗል፡
1. የኤሌክትሪክ ተሽከርካሪ የኃይል ማመንጫዎች፡- የኢንቨርተር ቅልጥፍናን ለማሻሻል እና የባትሪ ክልልን ለማስፋት በከፍተኛ ቮልቴጅ SiC MOSFETs እና ዳዮዶች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል (ለምሳሌ፣ ቴስላ፣ BYD ሞዴሎች)።
2. የኢንዱስትሪ ሞተር ድራይቭስ፡ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው፣ ከፍተኛ የመቀያየር ድግግሞሽ የኃይል ሞጁሎችን ያነቃል፣ በከባድ ማሽነሪዎች እና በነፋስ ተርባይኖች ውስጥ የኃይል ፍጆታን ይቀንሳል።
3. የፎቶቮልታይክ ኢንቬንተሮች፡- የሲሲ መሳሪያዎች የፀሐይ ልወጣ ቅልጥፍናን (>99%) ያሻሽላሉ፣ የተዋሃደ ንጣፍ ደግሞ የስርዓት ወጪዎችን የበለጠ ይቀንሳል።
4. የባቡር ትራንስፖርት፡- ለከፍተኛ ፍጥነት ባቡር እና ለሜትሮ ሲስተምስ የትራክሽን መቀየሪያዎች ላይ የሚተገበር ሲሆን ከፍተኛ ቮልቴጅ መቋቋም (>1700V) እና የታመቀ የቅርጽ ሁኔታዎችን ያቀርባል።
5. ኤሮስፔስ፡ ለሳተላይት የኃይል ስርዓቶች እና ለአውሮፕላን ሞተር መቆጣጠሪያ ወረዳዎች ተስማሚ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠንን እና ጨረርን መቋቋም የሚችል።
በተግባራዊ ማምረቻ ውስጥ፣ በፖሊክሪስታሊን SiC ኮምፖዚት ንጣፉ ላይ ያለው ባለ 6 ኢንች ኮንዳክቲቭ ሞኖክሪስታሊን SiC ከመደበኛ የSiC መሳሪያ ሂደቶች (ለምሳሌ፣ ሊቶግራፊ፣ ቅርፊት) ጋር ሙሉ በሙሉ ተኳሃኝ ሲሆን ምንም ተጨማሪ የካፒታል ኢንቨስትመንት አያስፈልገውም።
የXKH አገልግሎቶች
XKH በፖሊክሪስታሊን SiC ኮምፖዚት ንጣፎች ላይ ለ6 ኢንች ኮንዳክቲቭ ሞኖክሪስታሊን SiC ሁሉን አቀፍ ድጋፍ ይሰጣል፣ ይህም የምርምር እና የልማት እስከ የጅምላ ምርትን ይሸፍናል፡
1. ማበጀት፡- የተለያዩ የመሳሪያ መስፈርቶችን ለማሟላት የሚስተካከል የሞኖክሪስታሊን ንብርብር ውፍረት (5–100 μm)፣ የዶፒንግ ክምችት (1e15–1e19 cm⁻³) እና የክሪስታል አቅጣጫ (4H/6H-SiC)።
2. የዋፈር ማቀነባበሪያ፡- ለፕለግ ኤንድ-ፕሌይ ውህደት ከኋላ ማቅጠኛ እና ሜታላይዜሽን አገልግሎቶች ጋር የ6 ኢንች ንጣፎች በብዛት አቅርቦት።
3. ቴክኒካዊ ማረጋገጫ፡ የቁሳቁስ ብቃትን ለማፋጠን የXRD ክሪስታሊኒቲ ትንተና፣ የሆል ተፅዕኖ ሙከራ እና የሙቀት መቋቋም መለኪያን ያካትታል።
4. ፈጣን ፕሮቶታይፒንግ፡ የምርምር ተቋማት የልማት ዑደቶችን ለማፋጠን ከ2 እስከ 4 ኢንች ናሙናዎች (ተመሳሳይ ሂደት)።
5. የውድቀት ትንተና እና ማመቻቸት፡- ለሂደት ተግዳሮቶች የቁሳቁስ ደረጃ መፍትሄዎች (ለምሳሌ፣ የኤፒታክሲያል ንብርብር ጉድለቶች)።
ተልእኳችን በፖሊክሪስታሊን SiC ኮምፖዚት ንጣፍ ላይ ባለ 6 ኢንች ኮንዳክቲቭ ሞኖክሪስታሊን SiCን ለSiC ፓወር ኤሌክትሮኒክስ ተመራጭ የወጪ አፈጻጸም መፍትሄ አድርጎ ማቋቋም ሲሆን ይህም ከፕሮቶታይፕ እስከ መጠን ምርት ድረስ ከጫፍ እስከ ጫፍ ድጋፍ ይሰጣል።
መደምደሚያ
በፖሊክሪስታሊን SiC ኮምፖዚት ንጣፉ ላይ የሚገኘው ባለ 6 ኢንች ኮንዳክቲቭ ሞኖክሪስታሊን SiC በፈጠራ ሞኖ/ፖሊክሪስታሊን ዲቃላ አወቃቀሩ አማካኝነት በአፈጻጸም እና በወጪ መካከል የውጤት ሚዛን አግኝቷል። የኤሌክትሪክ ተሽከርካሪዎች እየበዙ ሲሄዱ እና ኢንዱስትሪ 4.0 እየገፋ ሲሄድ፣ ይህ ንጣፉ ለቀጣዩ ትውልድ የኃይል ኤሌክትሮኒክስ አስተማማኝ የቁሳቁስ መሠረት ይሰጣል። XKH የSiC ቴክኖሎጂን አቅም የበለጠ ለማሰስ ትብብርን በደስታ ይቀበላል።
