ለሴሚኮንዳክተር፣ ለፎቶኒክስ ኦፕቲካል አፕሊኬሽኖች ከፍተኛ ንፁህ የተዋሃዱ ኳርትዝ ዋፈርስ 2″4″6″8″12″
ዝርዝር ዲያግራም
የኳርትዝ ብርጭቆ አጠቃላይ እይታ
የኳርትዝ ዋፈርስ የዛሬውን ዲጂታል ዓለም የሚያንቀሳቅሱ ስፍር ቁጥር የሌላቸው ዘመናዊ መሣሪያዎች ዋና መሠረት ነው። ከስማርትፎንዎ አሰሳ ጀምሮ እስከ 5ጂ ቤዝ ጣቢያዎች ዋና መሠረት ድረስ፣ ኳርትዝ በከፍተኛ አፈጻጸም ባላቸው ኤሌክትሮኒክስ እና ፎቶኒክስ ውስጥ የሚፈለገውን መረጋጋት፣ ንፅህና እና ትክክለኛነት በጸጥታ ያቀርባል። ተለዋዋጭ ሰርኩዊቶችን የሚደግፍ፣ የMEMS ዳሳሾችን የሚያነቃ ወይም ለኳንተም ኮምፒውቲንግ መሠረት የሚፈጥር ቢሆንም፣ የኳርትዝ ልዩ ባህሪያት በኢንዱስትሪዎች ውስጥ አስፈላጊ ያደርጉታል።
“የተፈጨ ሲሊካ” ወይም “የተፈጨ ኳርትዝ” ይህም የኳርትዝ (SiO2) አሞርፎስ ምዕራፍ ነው። ከቦሮሲሊኬት ብርጭቆ ጋር ሲወዳደር የተፈጨ ሲሊካ ምንም ተጨማሪዎች የሉትም፤ ስለዚህ በንጹህ መልክው SiO2 ይገኛል። የተፈጨ ሲሊካ ከመደበኛ መስታወት ጋር ሲነጻጸር በኢንፍራሬድ እና በአልትራቫዮሌት ስፔክትረም ውስጥ ከፍተኛ ስርጭት አለው። የተፈጨ ሲሊካ የሚመረተው እጅግ በጣም ጥሩ የሆነውን SiO2 በማቅለጥ እና እንደገና በማጠናከር ነው። በሌላ በኩል ሰው ሰራሽ የተፈጨ ሲሊካ የሚሠራው እንደ SiCl4 ካሉ በሲሊኮን የበለፀጉ ኬሚካሎች ቅድመ-ቅጦች ሲሆን እነዚህም በጋዝ የተፈጨ እና ከዚያም በH2 + O2 ከባቢ አየር ውስጥ ኦክሳይድ ይደረግባቸዋል። በዚህ ሁኔታ የተፈጠረው የSiO2 አቧራ በንጣፍ ላይ ከሲሊካ ጋር ይዋሃዳል። የተፈጨው የሲሊካ ብሎኮች ወደ ዋፈር የተቆረጡ ሲሆን ከዚያም ዋፈሮቹ በመጨረሻ ይጸዳሉ።
የኳርትዝ የመስታወት ዋፈር ቁልፍ ባህሪያት እና ጥቅሞች
-
እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና (≥99.99% SiO2)
የቁሳቁስ ብክለት መቀነስ ባለባቸው እጅግ በጣም ንጹህ ሴሚኮንዳክተር እና ፎቶኒክስ ሂደቶች ተስማሚ። -
ሰፊ የሙቀት ኦፕሬቲንግ ክልል
ሳይበላሽ ወይም ሳይበላሽ ከ1100°ሴ በላይ ከሚሆን ቅዝቃዜ ጀምሮ መዋቅራዊ ታማኝነትን ይጠብቃል። -
እጅግ በጣም ጥሩ የ UV እና የ IR ስርጭት
ከጥልቅ አልትራቫዮሌት (DUV) እስከ ቅርብ-ኢንፍራሬድ (NIR) ድረስ እጅግ በጣም ጥሩ የኦፕቲካል ግልጽነትን ያቀርባል፣ ይህም ትክክለኛ የኦፕቲካል አፕሊኬሽኖችን ይደግፋል። -
ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት
የሙቀት መለዋወጥ በሚኖርበት ጊዜ የልኬት መረጋጋትን ያሻሽላል፣ ጭንቀትን ይቀንሳል እና የሂደቱን አስተማማኝነት ያሻሽላል። -
የላቀ የኬሚካል መቋቋም
ለአብዛኞቹ አሲዶች፣ አልካላይስ እና ሟሟቶች የማይበገር - ይህም ለኬሚካላዊ ኃይለኛ አካባቢዎች ተስማሚ ያደርገዋል። -
የወለል አጨራረስ ተለዋዋጭነት
እጅግ በጣም ለስላሳ፣ ነጠላ-ጎን ወይም ባለ ሁለት ጎን የተወለወለ አጨራረስ ያለው፣ ከፎቶኒክስ እና ከMEMS መስፈርቶች ጋር ተኳሃኝ ነው።
የኳርትዝ የመስታወት ዋፈር የማምረት ሂደት
የተዋሃዱ የኳርትዝ ዋፈሮች የሚመነጩት በተከታታይ ቁጥጥር የሚደረግባቸው እና ትክክለኛ ደረጃዎችን በመጠቀም ነው፡
-
የጥሬ እቃ ምርጫ
ከፍተኛ ንፁህ የተፈጥሮ ኳርትዝ ወይም ሰው ሰራሽ SiO₂ ምንጮች ምርጫ። -
ማቅለጥ እና ውህደት
ኳርትዝ በኤሌክትሪክ ምድጃዎች ውስጥ በ ~2000°ሴ ውስጥ ይቀልጣል ይህም በተቆጣጠረ ከባቢ አየር ውስጥ እንዲካተት እና አረፋዎችን ለማስወገድ ይረዳል። -
የብሎክ ፎርሚንግ
የቀለጠው ሲሊካ ወደ ጠንካራ ብሎኮች ወይም ኢንጎት ይቀዘቅዛል። -
የዋፈር መቆራረጥ
ትክክለኛ የአልማዝ ወይም የሽቦ መጋዞች ኢንጎቶችን ወደ ዋፈር ባዶዎች ለመቁረጥ ያገለግላሉ። -
መዝለል እና ማጽዳት
ሁለቱም ገጽታዎች ትክክለኛ የኦፕቲካል፣ የውፍረት እና የሻካራነት መስፈርቶችን ለማሟላት ጠፍጣፋ እና የተወለወሉ ናቸው። -
ጽዳት እና ምርመራ
ዋፈርዎች በ ISO Class 100/1000 የጽዳት ክፍሎች ውስጥ ይጸዳሉ እና ጉድለቶችን እና የመጠንን ተመሳሳይነት ለማረጋገጥ ጥብቅ ቁጥጥር ይደረግባቸዋል።
የኳርትዝ የመስታወት ዋፈር ባህሪያት
| ዝርዝር መግለጫ | አሃድ | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ዲያሜትር / መጠን (ወይም ካሬ) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| መቻቻል (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| ውፍረት | mm | 0.10 ወይም ከዚያ በላይ | 0.30 ወይም ከዚያ በላይ | 0.40 ወይም ከዚያ በላይ | 0.50 ወይም ከዚያ በላይ | 0.50 ወይም ከዚያ በላይ |
| ዋና የማጣቀሻ አፓርታማ | mm | 32.5 | 57.5 | ከፊል-ኖት | ከፊል-ኖት | ከፊል-ኖት |
| ኤልቲቪ (5ሚሜ×5ሚሜ) | μሜ | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| ቲቲቪ | μሜ | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| ቦው | μሜ | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| ዋርፕ | μሜ | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5ሚሜ×5ሚሜ) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| የኤጅ ሩኒንግ | mm | ከSEMI M1.2 መደበኛ ጋር የሚስማማ / IEC62276ን ይመልከቱ | ||||
| የወለል አይነት | ነጠላ ጎን የተወለወለ/ድርብ ጎኖች የተወለወለ | |||||
| የተወለወለ የጎን ራ | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| የኋላ ጎን መስፈርቶች | μሜ | አጠቃላይ 0.2-0.7 ወይም ብጁ የተደረገ | ||||
ኳርትዝ ከሌሎች ግልጽ ቁሳቁሶች ጋር ሲነጻጸር
| ንብረት | ኳርትዝ ብርጭቆ | ቦሮሲሊኬት ብርጭቆ | ሰንፔር | መደበኛ ብርጭቆ |
|---|---|---|---|---|
| ከፍተኛ የአሠራር ሙቀት | ~1100°ሴ | ~500°ሴ | ~2000°ሴ | ~200°ሴ |
| የአልትራቫዮሌት ጨረር ማስተላለፊያ | እጅግ በጣም ጥሩ (JGS1) | ደካማ | ጥሩ | በጣም ደካማ |
| የኬሚካል መቋቋም | እጅግ በጣም ጥሩ | መካከለኛ | እጅግ በጣም ጥሩ | ደካማ |
| ንጽሕና | እጅግ በጣም ከፍተኛ | ከዝቅተኛ እስከ መካከለኛ | ከፍተኛ | ዝቅተኛ |
| የሙቀት መስፋፋት | በጣም ዝቅተኛ | መካከለኛ | ዝቅተኛ | ከፍተኛ |
| ወጪ | መካከለኛ እስከ ከፍተኛ | ዝቅተኛ | ከፍተኛ | በጣም ዝቅተኛ |
የኳርትዝ የመስታወት ዋፈር ተደጋጋሚ ጥያቄዎች
ጥያቄ 1፡ በተፈጨ ኳርትዝ እና በተፈጨ ሲሊካ መካከል ያለው ልዩነት ምንድን ነው?
ሁለቱም አሞርፎስ የSiO₂ ቅርጾች ቢሆኑም፣ የተፈጨ ኳርትዝ በተለምዶ ከተፈጥሮ ኳርትዝ ምንጮች የሚመጣ ሲሆን የተፈጨ ሲሊካ ደግሞ በሰው ሰራሽ መንገድ የሚመረት ነው። በተግባራዊነት፣ ተመሳሳይ አፈጻጸም ይሰጣሉ፣ ነገር ግን የተፈጨ ሲሊካ በትንሹ ከፍ ያለ ንፅህና እና ተመሳሳይነት ሊኖረው ይችላል።
ጥ 2፡ የተዋሃዱ የኳርትዝ ዋፈርዎች በከፍተኛ ቫክዩም አካባቢዎች ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ?
አዎ። በዝቅተኛ የጋዝ ማምለጫ ባህሪያቸው እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም ምክንያት፣ የተዋሃዱ የኳርትዝ ዋፈርዎች ለቫክዩም ሲስተሞች እና ለአየር በረራ አፕሊኬሽኖች በጣም ጥሩ ናቸው።
ጥያቄ 3፡ እነዚህ ዋፈሮች ለጥልቅ-UV ሌዘር አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ናቸው?
በእርግጥ። የተፈጨ ኳርትዝ እስከ ~185 nm ድረስ ከፍተኛ የማስተላለፍ ችሎታ ስላለው ለ DUV ኦፕቲክስ፣ ለሊቶግራፊ ማስኮች እና ለኤክሲመር ሌዘር ስርዓቶች ተስማሚ ያደርገዋል።
ጥያቄ 4፡ ብጁ የዋፈር ማምረቻን ይደግፋሉ?
አዎ። እንደ ልዩ የማመልከቻ መስፈርቶችዎ ላይ በመመስረት ዲያሜትር፣ ውፍረት፣ የገጽታ ጥራት፣ ጠፍጣፋ/ኖቶች እና የሌዘር ንድፍን ጨምሮ ሙሉ ብጁነትን እናቀርባለን።
ስለ እኛ
XKH በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ልማት፣ ምርት እና ልዩ የኦፕቲካል መስታወት እና አዳዲስ ክሪስታል ቁሳቁሶችን ሽያጭ ላይ ያተኩራል። ምርቶቻችን የኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ፣ የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ እና ወታደራዊ አገልግሎት ይሰጣሉ። የሳፋየር ኦፕቲካል ክፍሎችን፣ የሞባይል ስልክ ሌንስ ሽፋኖችን፣ ሴራሚክስን፣ ኤልቲ፣ ሲሊከን ካርባይድ ሲአይሲ፣ ኳርትዝ እና ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል ዋፈርስን እናቀርባለን። በሙያዊ እውቀት እና ዘመናዊ መሳሪያዎች፣ መደበኛ ባልሆነ የምርት ማቀነባበሪያ ውስጥ የላቀ ችሎታ አለን፣ እናም ግንባር ቀደም የኦፕቶኤሌክትሮኒክ ቁሶች ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ድርጅት ለመሆን እንጥራለን።











