የኤልኖአይ ዋፈር (ሊቲየም ኒዮባት በኢንሱሌተር ላይ) የቴሌኮሙኒኬሽን ዳሳሽ ከፍተኛ ኤሌክትሮ-ኦፕቲክ

የLNOI ዋፈርዎችን ማምረት በርካታ ትክክለኛ ደረጃዎችን ያካትታል፡

ደረጃ 1፡ የሂሊየም አዮን ተከላየሂሊየም አየኖች በአዮን ተከላ በመጠቀም ወደ ግዙፍ የኤልኤን ክሪስታል ውስጥ ይገባሉ። እነዚህ አየኖች በተወሰነ ጥልቀት ላይ ይቀመጣሉ፣ በመጨረሻም የፊልም መለያየትን የሚያመቻች የተዳከመ ጠፍጣፋ ይፈጥራሉ።

ደረጃ 2፡ የመሠረት ንጣፎች ምስረታየተለየ የሲሊኮን ወይም የኤልኤን ዋፈር በፒኢሲቪዲ ወይም በሙቀት ኦክሳይድ በመጠቀም በሲኦ2 ኦክሳይድ ወይም ሽፋን ይደረግበታል። የላይኛው ገጽ ለተሻለ ትስስር ጠፍጣፋ ነው።

ደረጃ 3፡ የኤልኤን ከንዑስ ክፍል ጋር ማያያዝበአዮን የተተከለው የኤልኤን ክሪስታል በቀጥታ የዋፈር ትስስር በመጠቀም ከመሠረቱ ዋፈር ጋር ይገለበጣል እና ይያያዛል። በምርምር ሁኔታዎች ውስጥ ቤንዞሳይክሎቡቴን (ቢሲቢ) ጥብቅ ባልሆኑ ሁኔታዎች ውስጥ ትስስርን ለማቃለል እንደ ማጣበቂያ ሊያገለግል ይችላል።

ደረጃ 4፡ የሙቀት ሕክምና እና የፊልም መለያየትአኒሊንግ በተተከለው ጥልቀት ላይ የአረፋ መፈጠርን ያነቃቃል፣ ይህም ቀጭን ፊልም (የላይኛው የኤልኤን ንብርብር) ከጅምላ እንዲለይ ያስችላል። ሜካኒካል ኃይል ማራገፉን ለማጠናቀቅ ጥቅም ላይ ይውላል።

ደረጃ 5፡ የገጽታ ፖሊሽንግየኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ (CMP) የላይኛውን የኤልኤን ወለል ለማለስለስ፣ የኦፕቲካል ጥራትን እና የመሳሪያውን ምርት ለማሻሻል ይተገበራል።